洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度,使产品能够在良好的环境空间中生产制造,从而我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说,所谓的无尘,并不是100%没有一点灰尘,而是控制在极少量的单位。当然,这个标准中符合粉尘标准的颗粒物,相对于我...
查看详细 >>单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此,其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物,因此它们是主要关注的检测项目。非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此,换气次数越大,气流流型合理...
查看详细 >>洁净区是指特定区域内的环境非常干净、无菌、无尘、无异味,并拥有完备的控制系统,确保研究、生产等领域中需要无菌、温度、湿度、洁净等特殊要求的实验或工作顺利进行。洁净区通常设有空气过滤系统、灭菌设备等,这些设施能减少外界因素的污染,保证工作区内的环境质量。洁净区常用于半导体电子、医药生产、精密仪器制造等场所,需要严格控制环境条件,确保生产的产...
查看详细 >>洁净室或洁净设施温、湿度测定,通常分为两个档次:一般测试和综合测试。一个档次适用于处于空态的交竣验收测试,第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进行这项检测时,空调系统已经充分运转,各项状况已经稳定。每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器...
查看详细 >>1、凡有试运转要求的设备单机试运转应符合设备技术文件的有关规定。属于机械设备的共性要求还应符合国家相关规定和机械设备施工安装方面的有关行业标准。通常洁净室需进行单机试运转的设备有空调机组、送风增压风机箱、排风设备、净化工作台、静电自净器、洁净干燥箱、洁净储物柜等局部净化设备以及空气吹淋室、余压阀、真空吸尘清扫设备等。2、在单机试运转合格后...
查看详细 >>压差检测要求:(1)静压差的测定要求在洁净区内的所有门全部关闭情况下进行。(2)在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行,一直检测到直通室外的房间。(3)测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可,测管口面与气流流线平行。(4)所测量记录的数据应精确到1.0Pa。压差检测步骤:(1)先关闭所有的门。(2)用微差压计测量各洁净室之间、洁净...
查看详细 >>(1)将所有的门关闭,将测定用胶管口径比较好在5mm以下从墙壁上的孔洞伸入室内在离壁面不远处,垂直于气流方向设置周围无阻挡气流扰动**小。(2)静压差的测定应从平面上**里面的房间,通常也就是洁净度级别比较高的房间,与其紧邻的房间之间的压差测起依次向外测定,直至测得**靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。(3)对于洁净度...
查看详细 >>(1)检测前,被测洁净室的运行状态必须在正常状态,其温度、湿度、风量、风压及风速必须在控制的规定值内;被测试的洁净室(区)应已进行过消毒;同时,洁净室的测试状态必须符合生产工艺的要求,并在测试报告中注明其测试状态(空态、静态、动态)。(2)测试人员必须穿戴洁净服,而且一般不得超过两个人。(3)净化空调系统正常运转时间对单向流如5 级(10...
查看详细 >>1、按洁净度级别划分为1级、2级、3级、4级、5级、6级、7级、8级、9级。9级为低等级别。2、按气流组织分类,洁净室可分为三类:单向流、层流、洁净室。沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。其中与水平面垂直的单向流是垂直单向流与水平面平行的单向流是水平单向流。乱流非单向流洁净室凡不符合单向流定义的气流的洁净室。混合流洁净室:单向...
查看详细 >>洁净室或洁净设施温、湿度测定,通常分为两个档次:一般测试和综合测试。档次适用于处于空态的交竣验收测试,第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进行这项检测时,空调系统已经充分运转,各项状况已经稳定。每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器,并...
查看详细 >>洁净室竣工验收的外观检查应符合以下要求1、各种管道、自动灭火装置及净化空调设备空调器、风机、净化空调机组、高效空气过滤器和空气吹淋室等的安装应正确、牢固、严密其偏差应符合有关规定。2、高、中效空气过滤器与支撑框架的连接及风管与设备的连接处应有可靠密封。3、各类调节装置应严密、调节灵活、操作方便。4、净化空调箱、静压箱、风管系统及送、回风口...
查看详细 >>2、温湿度洁净室或洁净设施温、湿度测定,通常分为两个档次:一般测试和综合测试。***个档次适用于处于空态的交竣验收测试,第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进行这项检测时,空调系统已经充分运转,各项状况已经稳定。每个湿度控制区至少设置...
查看详细 >>