9.2.1纯水系统的设备配置除应满足所需...
3.2.1装配式混凝土结构的洁净室,应在...
11. 4.1 生物安全柜内如有气管和水...
15.1.1承担洁净室施工的单位应按本规...
4洁净生产区、走道和技术夹层(不包括不通...
7.3.1洁净厂房中的净化空调系统可分为...
4.2.1洁净室可根据电子产品生产工艺特...
6.3.1管道安装前应进行以下准备工作:...
12.1.1洁净厂房的用电负荷等级和供电...
空气由空调箱经风管与超净间内之空气过滤器...
6.2.3洁净厂房内防火分区的划分,应符...
15.1.1承担洁净室施工的单位应按本规...