非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承，由于工作在平面度较好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性，特别适用于高精度检测以及超精加工领域。
对射式非接触式同轴激光位移传感器测量•直线电机高精度龙门运动机构•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架•比较大扫描速度1m/s•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式•直观简单的2D或3D数据呈现方式•适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准 光谱共焦传感器，就选马波斯测量科技，用户的信赖之选，欢迎您的来电！3D 视觉测量传感器品牌
优势
•￭非接触三维表面轮廓测量•
￭噪音小，测量重复性好•
￭纳米级分辨率：Z轴分辨率比较高可达0.1nm•
￭测量的点云数多：一个面**多可以达到500万个点•
￭点间距小，XY分辨率高•
￭多种视野范围可供选择，快速切换物镜变换视野•
￭测量速度快，可实现在线测量
技术特点
1.干涉条纹扫描测量表面位置信息的理论根据是被测表面上各点深度不同所形成的干涉光强不同。2.产生干涉情况下，波长与可测量的深度数据相对应。3.在白光干涉中，干涉图样是由各色光形成的单色干涉图样形成的。被测表面上各点的深度不同，根据光的波动性与同调性，所对应的干涉光强中各频谱成分的强度不同，各色光的干涉级次不同。有助于更加准确的得到表面的位置信息 上海Marposs 传感器精度马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器，欢迎您的来电哦！
光强信号指示灯显示当前光强是否超过5%。当测量样品未在量程范围内，此时不存在测量信号，该指示灯为熄灭状态。当光强信号大于5%，信号灯点亮为绿色，表明测量数据质量较高。当光强信号小于5%时，信号灯则会显示为橙色预警，提示用户当面光强信号较弱，测量数据效果不佳。此时应该当信号灯点亮为红色时，表明当前光强信号为100%。测量数据的质量存在不确定性，因此可以尝试一下方法解决：
量程预警信号灯当前样品是否在测量范围内，当样品不在量程范围内时，该信号灯为熄灭状态。当样品位于量程的15%-85%区间时，该信号灯点亮为绿色。而当样品位于量程的15%以下或85%以上时，该信号灯则显示为橙色，此时测量的数据仍是有效的，只不过需要警惕样品超出量程范围。
光谱共焦线传感器由180个点组成，可以测量距离 厚度 粗糙度 形状 高分辨率 各种材料适用于各种行业。
适用于各种材料金属(抛光或粗糙),玻璃,陶瓷,塑料,碳,硅…同轴性无阴影影响精度&分辨率亚微米级精度，Z轴纳米级分辨率被动式(低温、易爆环境)测量区域外的热源和电源大角度镜面可达45°速度比点传感器快180倍
光谱共焦视觉检测相机，AOI彩色共焦线相机检测系统：自动光学检测，可以测量尺寸 高分辨率 各种材料适用于各种行业。
工业 4.0
100%在线自动测量与质量控制柔性系统，高速可达12m/s3D形状/轮廓测量多达6轴汽车挡风玻璃HUD多点厚度测量*需4秒
高分辨率的直角坐标机械手：±0.05mm3到5轴3D形状和/或多点厚度测量：±0.05mm重复性适用任何反射表面
3D系统致力于粗糙度，3D形貌测量3个高分辨率电动轴(X；Y；Z)：±0.001mm3大尺寸选择：100x100mm2；200x200mm2；300x300m2…可与STIL传感器配套使用，并集成了点、线、相机的3D软件系统
亚微米级轴向分辨率薄涂层和空气间隙测量：小于1微米 适用于在线应用高灵敏度和高精度可提供卡钳结构或测量设备可结合马波斯Quick-SPC软件进行数据处理。
光谱共焦位移传感器原理介绍
一束白光点光源，通过色散透镜发生光谱色散，形成不同波长的单色光，每个波长的都有一个完美聚焦点且对应一个相对高度距离值（测量范围）。测量时所有波段的光射到物体表面被原路反射到半透半反射镜并重新聚焦，只有在被测物体上完美聚焦S‘点的波段的光才会通过共焦点小孔S“并被光谱仪感测到，其他波长的光被挡在小孔之外，通过计算进入小孔的光谱波长换算出相对距离。
面白光干涉传感器
白光干涉测量**于非接触式快速测量，精密零部件之重点部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、面形轮廓及台阶段差尺寸，其测量精度可以达到纳米级！目前，在3D测量领域，白光干涉仪是精度比较高的测量仪器之一 马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司，有想法的可以来电咨询！吉林非接触式传感器测量速度
光谱共焦传感器，就选马波斯测量科技，欢迎客户来电！3D 视觉测量传感器品牌
航空航天属于高精尖技术领域，技术对安全性要求极高，因此航空航天部件的制造生产中对产品工艺和质量的要求是极为苛刻的。这是司逖光谱共焦传感器在飞机多层玻璃厚度检测方面的运用:
飞机多层玻璃厚度测量
光谱共焦传感器信号灯
为了方便用户实时了解传感器的运行状态，光谱共焦传感器的面板上共有六组信号灯，分别从电源、USB连接、测量头连接、测量状态等四个方面呈现传感器的实际情况。电源、USB连接和测量头连接以LED信号指示灯显示，在传感器开启电源后，上述三个LED信号灯为绿色，表明传感器已可以准备正常工作。 3D 视觉测量传感器品牌
马波斯（上海）测量设备科技有限公司位于宜山路2000号利丰广场,Block栋,C102单元，交通便利，环境优美，是一家贸易型企业。马波斯工业测量是一家有限责任公司企业，一直“以人为本，服务于社会”的经营理念;“诚守信誉，持续发展”的质量方针。公司业务涵盖机床领域检测系统，标准与非标尺寸检测，泄漏与装配测试，工业电脑与软件，价格合理，品质有保证，深受广大客户的欢迎。马波斯工业测量将以真诚的服务、创新的理念、***的产品，为彼此赢得全新的未来！
