(三)洁净室控管之项目
1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
2. 能防止微尘粒子之产生。
3. 温度和湿度之控制。
4. 压力之调节。
5. 有害气体之排除。
6. 结构物与隔间之气密性。
7. 静电之防制。
8. 电磁干扰预防。
9. 安全因素之考虑。
10. 节能之考量。
(四)洁净室之分类
1.乱流式
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再运行,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
检测是验证洁净室是否达标的一个指标。湖南电子厂房环境检测技术好
高效过滤器检漏步骤如下:
1、 将灰尘粒子计数器用打针用水及75%酒精擦试消毒后再经紫外线映照30分钟传入干净区。
2、 将尘埃粒子计数器水平位置放在桌上。测量塑料管端口接插在过滤器的接嘴上。
3、 打开电源。仪器进行自检、选项后,把测量塑料管从后面板上拔下。端口放置在需要测量的位置。
4、 检测时采样头离高效过滤器2—4厘米,沿高效过滤器内边框及中间缓慢扫描,每块高效过滤器至少测试出5个点,观察显示数据。测试终了后,测试完毕后,将采样塑料管端口接到尘埃粒子计数器后面板上进行自检,然后关闭电源。
结果:检测各点的悬浮粒子若超出洁净区要求的范围则有泄漏现象,需堵漏或更换。
高效过滤器检漏的目的:在洁净室中,高效过滤器是实现高洁净度空气净化的关键设备。因此,高效过滤器安装或更换后,必须对过滤器的安装连接处进行检漏,以确保洁净室的洁净度符合要求。精确检测高效过滤器的质量,可以防止高效过滤器走漏,影响出产。 广东排风柜检测哪家好无尘车间内的洁净工作台可根据产品要求或其他用途的要求,在操作台上保持高洁净度的局部净化。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
洁净室(Clean Room),亦称无尘车间、无尘室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控制,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。洁净程度和控制污染的持续稳定性,是检验洁净室质量的标准,该标准根据区域环境、净化程度等因素,分为若干等级,常用的有国际标准和国内区域行业标准,一些净化工程公司,在通行标准之外,还设有自身执行的高于国际化通行标准的净化指标,净化能力和环境适应力远超国际品牌。空气洁净度的具体高低则是用空气洁净度级别来区分的,而这种级别又是用操作时间空气的计数含尘浓度来表示。
噪声超标问题噪声超标,可能是风管太小,以致于气流速度过高,气流产生噪声,通常工作面高度气流速度应该控制在0.25m/s左右的。我们还可分析于消声系统问题,如发现未装消声器、劣质消声器、送风系统消声器配置不合理。也可能为FFU单机噪声偏高。或者是环境背景噪声影响,如工艺设备噪声、气体管道阀门泄漏、动力设施噪声源传播等。此外,我们还可以考虑可能是标准指标不合适:通常控制值单向流<65dB(A),非单向流<60dB(A)。洁净车间、洁净厂房、净化车间、净化厂房、无尘室、净化工程、洁净工程、洁净手术室、层流手术室。江苏洁净室环境检测方便客户
风机过滤单元(FFU)是一种空气自净装置,可室内吊顶安装或放置在支架上,使局部级别达到百级。湖南电子厂房环境检测技术好
洁净手术部的建筑装饰应遵循不产尘、不积尘、耐腐蚀、防潮防霉、容易清洁和负荷防火要求的总原则。
洁净手术部内地面应平整,采用耐磨、防滑、耐腐蚀、易清洗、不易起尘与不开裂的材料制作。有特殊要求的,可采用有特殊性能的涂料地面。
洁净手术部内部墙面应使用不易开裂、阻燃、易清洗与耐碰撞的材料,墙面必须平整,防潮防霉,Ⅰ、Ⅱ级洁净室墙面可用整体或装配式壁板;Ⅲ、Ⅳ级洁净室墙面也可用大块瓷砖或涂料,缝隙均应抹平。
洁净手术部内墙面下部的踢脚必须与墙面齐平或凹于墙面;踢脚必须与地面成一整体;踢脚与地面交界处的阴角必须做成R≥40mm 的圆角。其他墙体交界处的阴角宜做成小圆角。
洁净手术部内墙体转角和门的竖向侧边的阳角应为圆角。通道两侧及转角处墙上应设防撞板。
室内与空气直接接触的外露材料不得使用木材和石膏。
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B.2.1.2计数效率测量U描述符所用体系的计数效率应落在图B.1的阴影之内[1]。该阴影区为性能达标区,其中心对应的选定粒径超微粒子的计数效率为50%,粒径示为U。超微粒径U的允差为土10%,见图B.1中的1.1U和0.9U。这一计数效率允差的规定,是基于对扩散元件透过率的计算,该扩散元件对粒径大于选定超微粒径10%的粒子的透过率不低于40%,对粒径小于选定超微粒径10%的粒子的透过率不高于60%。若离散粒子计数器(DPC)或凝聚核计数器(CNC)的计数效率曲线落在图B.1阴影区之外的右侧,则不能用其测量或验证U描述符。若曲线落在阴影区之外的左侧,则可使用B.2.1.3介绍的粒径限制器来降低...