单向流洁净室的原理和特性
⑴定义
单向流洁净室是:气流以均匀的截面速度,沿着平行流线以单一方向在整个室截面上通过的洁净室。
⑵原理
单向流洁净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用,迅速把室内污染排出。
要保证活塞作用的实现,*重要一点是高效过滤器必须满布。当然,过滤器是有边框的,顶棚也有边框,不可能*地满布过滤器。满布比来衡量过滤器的满布程度:
正常情况下满布比达到80%。垂直单向流满布比不应小于60%,水平单向流应小于40%,否则就是局部单向流了。
⑶特征指标
①流线平行度(流线平行性)
流线平行的作用性是保证尘源散发的尘粒不作垂直于流向的传播。要求流线之间既要平行(在0.5m距离内线间夹角不能小于15°),又要求流线尽可能垂直于送风面(其倾角*小不能小于65°)。
②乱流度(速度不均匀度)
速度均匀的作用是保证流线之间质点的横向交换*小。乱流度是为了说明速度场的集中或离散程度而定义的。 各类调节装置应严密、调节灵活、操作方便。辽宁实验室检测优化价格
《电子工业洁净厂房设计规范》(GB50472-2008)。本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室,检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时,应由里向外按顺序检测。3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1um(0.5μm)的粒子,其浓度应大于3.5x10pc/m。微粒仪距离滤器表面20~30mm处等速采样,并以5~20mm/s速度移动。4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO14644基本相同。5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度,且距吊顶、墙和地面不少于300mm。6)噪声的检测。每100m2设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m,距墙大于3m。7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度,宜距地面0.85m,每25m2设1个检测点。山东洁净室环境检测技术好设备及仪器方面:先进的设备和技术,可确保测试结果准确。
沉降菌测定法:沉降菌指落在地面或物体表面的灰尘中携带的细菌。在无菌操作台开启的状态下,取内径90毫米的无菌培养皿若干,无菌操作分别注入融化并冷却至45℃的营养琼脂培养基越15毫升,倒置于30~35℃培养箱培养48小时,证明无菌后备用。将已铺有营养琼脂培养基的培养皿放在指定区域距地面约1米的规定处(一般每10平方米放置一个平皿),在空气中暴露30分钟,采集沉降菌,盖好平皿盖儿,置30-35℃培养箱内培养48小时,取出计数,车间内应为操作状态。检测沉降菌数量,每碟小于或等于10个,便能达到10万级净化车间标准。
用风罩法测量风量①用风量罩测定各风口风速时,其相应的出风风速为Vs=As。Vs------各终端过滤器或送风散流器的平均送风风速m/s;Qs------各终端过滤器或送风散流器的送风量m3/s;As------送风口出风面积m2。②单向流-层流洁净室单向流洁净室采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量,其中垂直单向流层流洁净室的测定截面取距地面0.8m的水平截面,水平单向流层流洁净室取距送风面0.5m的垂直截面,截面上测点间距不应大于2m,测点数应不少于10个,均匀布置仪器用热球风速仪。③测定风管内风量对于风口上风侧有较长的支管段,且已经或可以打孔时,可以用风管法确定风量,测定断面距局部阻力部件距离在局部阻力部件后不少于5倍管径或5倍大边长度。对于矩形风管,将测定截面分成若干个相等的小截面,每个小截面尽可能接近正方形边长,不大于200mm测点,设于小截面中心,但整个截面上的测点数不宜少于3个。对于圆形风管,应该按等面积圆环法划分测定截面和确定测点数。具体可按综合效能普通通风空调风管法测量风量的方法进行。运行确认是要证明厂房、设施和设备的稳定、可靠的运行并符合设计的标准。
洁净室里人员的要求
洁净室工作的人员要定期接受污染控制理论培训。他们通过气闸,空气淋浴器和/或更衣室进出洁净室,他们必须穿专门设计的衣服,包裹住皮肤和身体自然产生的污染物。
根据洁净室的分类或功能,工作人员的着装可能只需实验服和头套简单防护,也可能完全包裹的不暴露任何皮肤的全身防护。
洁净服是用来防止颗粒和或微生物从穿着者的身体释放和污染环境。洁净服本身不得释放颗粒或纤维,以防止污染环境。这种类型的人员污染可以降低半导体和制药工业中的产品性能,并且它可以导致例如医疗保健行业中的医务人员和患者之间的交叉污染。
洁净防护装备包括防护服、靴子,鞋子,围裙,胡须套,圆帽,口罩,工装/实验服,长袍,手套和指套,袖套和鞋、靴套。所用洁净服的类型应反映洁净室和产品类别。低级别的洁净室可能需要特殊的鞋,鞋底完全光滑,不会站上灰尘或污垢。但是考虑到安全原因,鞋底又不能造成滑倒的危险。进入洁净室通常都需要穿洁净服。10,000级洁净室可以使用简单的实验服,头套和鞋套。对于100级洁净室,需要全身包裹,带拉链的防护服、护目镜、口罩、手套和靴套。
此外还要控制洁净室内人员的数量,平均4~6m2/人,操作要轻缓,避免大幅度和快速移动。 一般空调有的只有粗效一级过滤,要求较高的是粗效中效二级过滤处理。北京口罩生产车间环境检测哪家好
一般空调系统对系统的气密性渗气量虽有要求。辽宁实验室检测优化价格
定义:气流以不均匀速度不平行流动、伴有回流或涡流的洁净室。原理:乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气,将污染空气逐渐稀释,来实现洁净的(乱流洁净室一般设计在千级以上至30万级净化级别)。特性:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)(1)自净时间:是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室,室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。 1,000级希望不超过20min(分钟) (可取15min计算) 10,000级希望不超过30min(分钟) (可取25min计算) 100,000级希望不超过40min(分钟) (可取30min计算)(2)换气次数(按上述自净时间要求设计)1,000级 43.5—55.3次/小时 (规范:50次/小时) 10,000级 23.8—28.6次/小时 (规范:25次/小时) 100,000级 14.4—19.2次/小时 (规范:15次/小时)优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。辽宁实验室检测优化价格
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洁净室**主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。蔚亚科技第三方检测专业可行,性价比佳。江西国内检测哪家好、温湿度标准规定:洁净区的温度和相对湿度与药品生产工艺...