定义:气流以不均匀速度不平行流动、伴有回流或涡流的洁净室。原理:乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气,将污染空气逐渐稀释,来实现洁净的(乱流洁净室一般设计在千级以上至30万级净化级别)。特性:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)(1)自净时间:是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室,室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。 1,000级希望不超过20min(分钟) (可取15min计算) 10,000级希望不超过30min(分钟) (可取25min计算) 100,000级希望不超过40min(分钟) (可取30min计算)(2)换气次数(按上述自净时间要求设计)1,000级 43.5—55.3次/小时 (规范:50次/小时) 10,000级 23.8—28.6次/小时 (规范:25次/小时) 100,000级 14.4—19.2次/小时 (规范:15次/小时)优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。生物洁净室它与工业洁净室一样所不同的是控制参数中增加了控制室内细菌的浓度。广东口罩生产车间环境检测技术好
洁净室正压值是指门窗全部关闭状态下,室内静压大于室外静压的数值。它是通过净化系统送风量大于回风量和排风量的方法来达到。为了保证洁净室正压值,送风、回风和排风机比较好联锁,系统开启时先启动送风机,再启动回风机和排风机;系统关闭时先关排风机,再关回风机和送风机,以防止洁净室在系统开启和关闭时受到污染。维持洁净室正压所需的风量主要根据维护结构密闭性好坏来确定。我国洁净室建设初期由于围护结构密闭性较差,要维持≥5Pa的正压就要2~6次/h送风量;目前维护结构密闭性已大为提高,维持同样的正压只要1~2次/h送风量;维持≥1OPa也只要2~3次/h送风量!山东口罩生产车间环境检测服务至上洁净度高于100级的单向流层流洁净室在开门状态下在出入口处的室内侧0.6m处不应超过室内级别上限的浓度。
洁净室制造竣工验收的调试工作1、凡有试运转要求的设备单机试运转应符合设备技术文件的有关规定。属于机械设备的共性要求还应符合国家相关规定和机械设备施工安装方面的有关行业标准。通常洁净室需进行单机试运转的设备有空调机组、送风增压风机箱、排风设备、净化工作台、静电自净器、洁净干燥箱、洁净储物柜等局部净化设备以及空气吹淋室、余压阀、真空吸尘清扫设备等。2、在单机试运转合格后需对送风系统、回风系统、排风系统的风量、风压调节装置进行设定与调整使各系统的风量分配达到设计要求。这个阶段检测的目的主要是服务于空调净化系统的调节与平衡往往需要反复进行多次。此项检测主要由承包商负责建设方的维护管理人员宜于跟进以便熟悉系统。在此基础上再进行包括冷、热源在内的系统联合试运转时间一般不少于8h。要求系统中各项设备部件包括净化空调系统、自动调节装置等的联动运转与协调过程中应动作正确无异常现象。
单向流洁净室的原理和特性
⑴定义
单向流洁净室是:气流以均匀的截面速度,沿着平行流线以单一方向在整个室截面上通过的洁净室。
⑵原理
单向流洁净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用,迅速把室内污染排出。
要保证活塞作用的实现,*重要一点是高效过滤器必须满布。当然,过滤器是有边框的,顶棚也有边框,不可能*地满布过滤器。满布比来衡量过滤器的满布程度:
正常情况下满布比达到80%。垂直单向流满布比不应小于60%,水平单向流应小于40%,否则就是局部单向流了。
⑶特征指标
①流线平行度(流线平行性)
流线平行的作用性是保证尘源散发的尘粒不作垂直于流向的传播。要求流线之间既要平行(在0.5m距离内线间夹角不能小于15°),又要求流线尽可能垂直于送风面(其倾角*小不能小于65°)。
②乱流度(速度不均匀度)
速度均匀的作用是保证流线之间质点的横向交换*小。乱流度是为了说明速度场的集中或离散程度而定义的。 洁净区是空气悬浮粒子浓度受控的限定空间,建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
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对于来流的洁净度,对通过高效以上过滤器送风的单向流洁净室来说是不成问题的。广东口罩生产车间环境检测技术好
洁净室里人员的要求
洁净室工作的人员要定期接受污染控制理论培训。他们通过气闸,空气淋浴器和/或更衣室进出洁净室,他们必须穿专门设计的衣服,包裹住皮肤和身体自然产生的污染物。
根据洁净室的分类或功能,工作人员的着装可能只需实验服和头套简单防护,也可能完全包裹的不暴露任何皮肤的全身防护。
洁净服是用来防止颗粒和或微生物从穿着者的身体释放和污染环境。洁净服本身不得释放颗粒或纤维,以防止污染环境。这种类型的人员污染可以降低半导体和制药工业中的产品性能,并且它可以导致例如医疗保健行业中的医务人员和患者之间的交叉污染。
洁净防护装备包括防护服、靴子,鞋子,围裙,胡须套,圆帽,口罩,工装/实验服,长袍,手套和指套,袖套和鞋、靴套。所用洁净服的类型应反映洁净室和产品类别。低级别的洁净室可能需要特殊的鞋,鞋底完全光滑,不会站上灰尘或污垢。但是考虑到安全原因,鞋底又不能造成滑倒的危险。进入洁净室通常都需要穿洁净服。10,000级洁净室可以使用简单的实验服,头套和鞋套。对于100级洁净室,需要全身包裹,带拉链的防护服、护目镜、口罩、手套和靴套。
此外还要控制洁净室内人员的数量,平均4~6m2/人,操作要轻缓,避免大幅度和快速移动。 广东口罩生产车间环境检测技术好
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B.2.1.2计数效率测量U描述符所用体系的计数效率应落在图B.1的阴影之内[1]。该阴影区为性能达标区,其中心对应的选定粒径超微粒子的计数效率为50%,粒径示为U。超微粒径U的允差为土10%,见图B.1中的1.1U和0.9U。这一计数效率允差的规定,是基于对扩散元件透过率的计算,该扩散元件对粒径大于选定超微粒径10%的粒子的透过率不低于40%,对粒径小于选定超微粒径10%的粒子的透过率不高于60%。若离散粒子计数器(DPC)或凝聚核计数器(CNC)的计数效率曲线落在图B.1阴影区之外的右侧,则不能用其测量或验证U描述符。若曲线落在阴影区之外的左侧,则可使用B.2.1.3介绍的粒径限制器来降低...