本实用新型涉及一种氢气纯化装置。背景技术：随着集成电路等行业的高速发展，在集成电路成品制作工艺过程中对使用气体纯度的要求越来越高，杂质要求小于1ppb。目前的氢气纯化技术多采用前端催化后端干燥吸附的技术，前端催化工艺可使杂质反应生成二氧化碳和水，后端深度吸附工艺吸附脱除二氧化碳和水等杂质。此技术虽然在一定程度上脱除杂质烃类、一氧化碳、二氧化碳和水，但脱除深度已经不能满足生产使用需求。技术实现要素：本实用新型针对以上问题的提出，而研究设计一种氢气纯化装置。本实用新型采用的技术手段如下：一种氢气纯化装置，包括常温吸附反应器和高温吸气反应器，所述常温吸附反应器的入口与原料气入口相连，所述常温吸附反应器的出口连接加热器后与高温吸气反应器相连，所述高温吸气反应器的出口与产品气出口相连，所述高温吸气反应器的出口与产品气出口之间的管路上设有***冷却器，所述常温吸附反应器的出口与再生气入口通过再生气排入管相连，所述再生气排入管上设有***加热器，所述常温吸附反应器的入口通过放空阀与放空口相连，所述常温吸附反应器的入口与放空口之间的管路上设有第二冷却器。进一步地，所述高温吸气反应器的出口与保护气入口相连。根据氢气来源不同，加氢站可分为外供氢加氢站和站内制氢供氢加氢站。陕西氢气销售大全
并以抽气管路连通真空泵，抽气管路上设有抽气阀门；密封金属腔体还连接有质谱仪。所述的储氢气瓶氢渗透率测定装置，其中：所述进气管路上设有进气阀门，所述真空泵还通过抽吸管路连通至供气单向阀与进气阀门之间的进气管路，所述抽吸管路上设有抽吸阀门。所述的储氢气瓶氢渗透率测定装置，其中：所述密封金属腔体还连接有压力表。所述的储氢气瓶氢渗透率测定装置，其中：所述密封金属腔体还连接有自动放散阀。所述的储氢气瓶氢渗透率测定装置，其中：所述自动放散阀连接至尾气收集装置。所述的储氢气瓶氢渗透率测定装置，其中：所述质谱仪连接至尾气收集装置。所述的储氢气瓶氢渗透率测定装置，其中：所述质谱仪采用四级杆质谱仪，由进样系统，离子源，质量分离系统，检测器，数据处理系统以及真空系统组成。一种储氢气瓶氢渗透率测定方法，其特征在于，采用前述储氢气瓶氢渗透率测定装置，包括如下步骤：将充装到试验压力、气密性试验合格的储氢气瓶放置于密封金属腔体内；关闭供气阀门，打开真空泵，对密封金属腔体及其连接的管路进行抽真空，然后关闭抽气阀门；打开供气阀门，使氮气经由气体质量流量计进入密封金属腔体内；经过足够的渗透时间。陕西氢气销售大全氢能发展潜力越来越被国际认可，欧美日韩等地区和国家积极制定支持氢能投资政策。
风冷比冷却水在使用期时费用更低，并且维护方便可实现不停产气维护。常温下，原料氢气从原料气入口1通过入口阀进入常温吸附反应器，将原料氢气中的氧气、一氧化碳、二氧化碳、水和烃类等杂质脱除，***常温吸附反应器7和第二常温吸附反应器8一备一用，常温吸附反应器中的脱氧剂将原料氢气中的氧气、水和二氧化碳脱除至10ppb以下，镍催化剂继续将剩余的氧气、水和二氧化碳脱除至1ppb以下，同时将一氧化碳和非甲烷烃脱除至1ppb以下，其中一个常温吸附反应器吸附饱和后切换再生，再生温度为200-250℃。镍催化剂的成本远高于脱氧剂的成本，脱氧剂对氧、水和二氧化碳的吸附容量大于镍催化剂，本实施例的原料气首先经过脱氧剂的纯化，将原料气中ppm级的杂质脱除至10ppb，之后再经过镍催化剂，镍催化剂只需装填用于脱除10ppb杂质所需的吸附量即可，因此可以减少高成本的镍催化剂的装填量，降低纯化成本，而且再生次数减少，阀门动作减少，延长设备的使用寿命。经过低温吸附工序的氢气通过阀门后进入换热器9后进入高温吸气反应器10，将氢气中的甲烷、氮气等杂质脱除，提纯后的氢气经过冷却器送至产品气出口6。高温吸气反应器的工作温度为350-400℃。
氢气是可燃性气体，在空气燃烧时会产生热量。氢气燃烧实际上是氢气和氧气反应产生水的化学过程，氢气和氧气分子反应需要的条件并不高，只需574度就可以点燃。满足这种温度容易的就是静电火花，当然有明火就更没有问题了。氢气和氧气即使发生化学反应，不一定会发生燃烧，燃烧需要化学反应连续进行，简单说就是氢气氧气反应产生热量可引起更多氢气氧气反应，周围其他氢气氧气分子发生反应再继续引起更大范围的反应。能维持这种反应持续进行的重要前提是氢气和氧气的浓度都不能太小。发生燃烧不一定会导致破坏性后果，因为燃烧产生危害主要决定于燃烧产生的能量大小和产生速度，尤其是能量大小更重要。根据这一特点，只要把密闭条件下混合气体积控制足够小，就能降低破坏性后果。这就好比打火机，虽然里面是可以燃烧和的可燃气体，但体积小不足以产生危害。也可以对管路进行技术处理，控制和避免燃烧反应发生的条件，例如采用单向阀门和安全阀的设计，让意外的燃爆不产生人体和环境的破坏。也有人采用对整机进行防爆设计，但这似乎是形式大于实质。氢气是相对分子质量小的物质，主要用作还原剂。
由于物流的原因，任何特定行业在现场生产和使用氢气十分常见。但也有通过数千英里运输氢气的情况，运费十分昂贵。管道输送氢气是常见的方法，但也有一些是通过卡车、铁路和驳船运输的。随着氢气逐渐成为一种国际性商品，航母也被作为一种重要的媒介被引入。氢气管道是储存和运输大量氢气的价廉和有效的解决方案。但美国目前安装的氢气管道只有1600英里。尽管这1600英里的管道网络目前已经是很大，但美国还需进一步扩大这一网络，以有效提升氢气经济规模。众多参与方提出，与其费力建造新的管道，还不如将氢气注入天然气管网作为一种替代方案。美国目前拥有30万英里的输气管道（包括离岸输气）。但使用天然气网络也面临着一些挑战。在某些情况下，需要对管道进行改造，使之能输送高混合氢。另外也需要考虑评估和升级管道的渗透性，因为氢气更容易泄漏，并且需要压缩。氢气还是一种理想的燃料。氢气的资源非常丰富，水就是氢的仓库。四川本地氢气销售
压气态储氢是目前成熟、成本的储氢方式，是现阶段主要应用的储氢技术。陕西氢气销售大全
来自外部的气源氩气作为再生气通过第二再生气控制阀16进入第二常温吸附反应器8内，再经过第二冷却器ⅱ12、第二放空阀20和放空口3流向安装于室外的高位放空处。与此同时，***加热器ⅱ启动加热，目的是将再生气加热到再生工艺所需的温度，再生温度为200-250℃。加热吹扫过程持续6-8小时。过程中，高温的再生气将第二常温吸附反应器8在纯化阶段吸附的水汽带出床层并且通过放空口3高位放空。第二冷却器ⅱ12的作用是将高温的再生气通过风冷的方式冷却到接近常温之后再放空，这样可以保护常温使用的第二放空阀20并且降低了放空管路到室外高位放空处之间的管道的高温烫伤风险。再生压力为常压。(3)加氢再生初始状态为加热吹扫状态。氢气来自产品气出口，加氢阀门14打开，氢气通过产品气出口管上分出的加氢管路，并通过加氢管路上的单向阀c、减压器d和限流孔板e进入再生气排入管，在再生气中加入一定量的高纯氢气，氢气作为镍催化剂床层和脱氧剂床层的还原气对第二常温吸附反应器8进行再生，过程持续时间2-4小时。氢气加入量为再生气量的3％，过程压力为常压。(4)加热吹扫初始状态为加氢再生状态。加氢阀门14关闭。陕西氢气销售大全
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