气垫式隔振支架是利用气垫的原理,将光学平台架在气垫上以达到隔振的效果。特点是:隔振效果好。但是造价较高,使用和维护繁琐。针对维护繁琐的情况又出现了自平衡(主动隔振)系统。原理是利用各种传感器提供的平台平衡状况,通过控制系统调节各个隔振支撑的气压来达到平衡的目的。光学平台重要的两个参数是平台本身的平面度与隔振性能。平面度是主要是由材料、加工精度及加工工艺决定,三者缺一不可。由于光学系统对环境振动极为敏感,刚性平台在3个转动自由度上的振动干扰会对发射光束的精确定向产生较为严重的破坏作用,直接影响到光束定向辐射的有效性,所以隔振性能也是决定光学平台质量好坏的一个重要指标。为什么要用隔振光学平台?行业必备之神器,光学气浮隔振平台。天津拼接光学平台
平台阻尼需要进行各种测试,对其厚度/面积的比值进行优化。更大面积的平台(边长至少为10英尺或3米)具有厚度为12.2英寸(310毫米)的标准厚度,这样可以提高稳定性。对于更小面积的平台,厚度可以是8.3英寸(210毫米)或12.2英寸(310毫米),也可定制更大尺寸。光学平台普遍使用的振动响应传递函数为柔量。在恒定(静态)力的情况下,柔量可以定义为线性或角度错位与所施加外力的比值。在动态变化力(振动)的情况下,柔量则可以定义为受激振幅(角度或线性错位)与振动力振幅的比值。平台的任意挠度都可以通过安装在平台表面的部件相对位置变化表现出来。因此,根据定义,柔量值越小,光学平台就越接近设计的首要目标:将挠度小化。柔量是与频率相关的,其测量单位为没单位力的错位量(米/牛顿)。江西仪器架光学平台仪器仪器设备的微振动直接影响精密仪器设备的测量精度。
光学平台普遍运用于光学、电子、精密机械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和无损检测等领域,以及其他机械行业的精密试验仪器、设备振动隔离的关键装置中。随着先进的设备和工艺的发展,使纳米量级的测量成为可能。例如,变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度,目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域,已生产出线宽在亚微米量级的集成电路,提出测量准确率小于50纳米的精度要求。这样的应用对系统中不同元件相关配合精度和稳定性提出了极高的要求。
光学实验平台普遍使用的振动响应传递函数为柔量。在恒定(静态)力的情况下,柔量可以定义为线性或角度错位与所施加外力的比值。在动态变化力(振动)的情况下,柔量则可以定义为受激振幅(角度或线性错位)与振动力振幅的比值。平台的任意挠度都可以通过安装在平台表面的部件相对位置变化表现出来。因此,根据定义,柔量值越小,光学平台就越接近设计的首要目标:将挠度小化。柔量是与频率相关的,其测量单位为没单位力的错位量(米/牛顿)。光学平台光路的稳定性主要受桌面长轴方向上点对点的相对运动影响。
使用脉冲锤对平台或面包板的表面施加一个已测量的外力,并将一个传感器贴合在平台或面包板表面对合成振动进行测量。探测器发出的信号通过分析仪进行读取,并用于产生频率响应谱(即柔量曲线)。在光学平台的研发过程中,对平台表面上很多点的柔量曲线进行记录;但是,平台四个角上的柔量往往都是大的。因此公司发布的柔量曲线和数据都是通过平传感器在台四个角上测得的,因此说明了不理想情况下的数据结果。产品都需经过单独测试,并附带一份单独的测试数据报告和柔量曲线。上海勤确科技有限公司拥有业内专业人士和高技术人才。江西仪器架光学平台仪器
目前来说,有主动与被动两大类。而被动又有橡胶与气浮两大类。天津拼接光学平台
光学平台的硬重比对于其共振频率有着重要的影响。较高的硬重比可以提高平台的共振频率,从而降低其在外界影响下的振动。而且在外力作用下,具有较高硬重比的平台可以在小的重量下产生小的变形,增加系统内部的刚性。内部采用蜂窝状支撑结构的光学平台可以充分的提高硬重比,达到提高系统性能的目的。将系统组装成动态的刚性结构可以保证系统内部的相对稳定性,且可以降低在外界的影响下产生共振的几率,提高系统的稳定性。随着时间的延续,不规则温度变化会造成渐渐的结构弯曲。减小温度效应的关键在于控制环境减少温度变化。例如,避免在平台下放置散热设备,隔绝热源设备和硬件,如光源、火焰等。天津拼接光学平台