探针台如何工作:探针台可以固定晶圆或芯片,并精确定位待测物。手动探针台的使用者将探针臂和探针安装到操纵器中,并使用显微镜将探针尖锐端放置到待测物上的正确位置。一旦所有探针尖锐端都被设置在正确的位置,就可以对待测物进行测试。对于带有多个芯片的晶圆,使用者可以抬起压盘,压盘将探针头与芯片分开,然后将工作台移到下一个芯片上,使用显微镜找到精确的位置,压板降低后下一个芯片可以进行测试。半自动和全自动探针台系统使用机械化工作台和机器视觉来自动化这个移动过程,提高了探针台生产率。上海勤确科技有限公司与广大客户携手共创碧水蓝天。上海自动探针台机构
以往如果需要测试电子元器件或系统的基本电性能(如电流、电压、阻抗等)或工作状态,测试人员一般会采用表笔去点测。随着电子技术的不断发展,对于精密微小(纳米级)的微电子器件,表笔点到被测位置就显得无能为力了。于是一种高精度探针座应运而生,利用高精度微探针将被测原件的内部讯号引导出来,便于其电性测试设备(不属于本机器)对此测试、分析。探针台执行机构由探针座和探针杆两部分组成.在探针座有X-Y-Z三向调节旋钮,控制固定在针座上的探针杆做三向移动,移动范围12mm,移动精度可以达到0.7微米。这样可以把探针很好的点到待测点上(说明探针是耗材,一般客户自己准备),探针探测到的信号可以通过探针杆上的电缆传输到与其连接的测试机上,从而得到电性能的参数。对于重复测试同种器件,多个点位的推荐使用探针台安装探卡进行测试。江苏手动探针台上海勤确科技有限公司以“真诚服务,用户满意”为服务宗旨。
铼钨探针的针尖尖部经过特殊工艺加工而成,针锥精度高,具有厉害度和弹性模量,产品更耐磨、更耐腐蚀,表面光滑无伤,光洁度可达到Ra0.25以下,几乎为镜面。铼钨探针有不同的针尖类型,即不同的尖部形状,例如,针尖带平台,针尖完全尖以及针尖为圆弧;探针直径为0.05-1.2mm,长度为15-300mm,尖部为0.08-100μm。铼钨探针主要应用于半导体、LED、LCD等行业,应用于探针卡、探针台、芯片测试、晶圆测试和LED芯片测试等领域。上海勤确科技有限公司。
手动探针台的使用方式:1.将样品载入真空卡盘,开启真空阀门控制开关,使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。2.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。3.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。4.显微镜切换为高倍率物镜,在大倍率下找到待测点,再微调显微镜聚焦和样品x-y,将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。5.确保针尖和被测点接触良好后,则可以通过连接的测试设备开始测试。常见故障的排除当您使用本仪器时,可能会碰到一些问题,下表列举了常见的故障及解决方法。手动探针台技术参数。探针尖磨损和污染都会对测试结果造成极大的负面影响。
针尖有铝粉:测大电流时,针尖上要引起多AL粉,使电流测不稳,所以需要经常用洒精清洗探针并用氮气吹干,同时测试时边测边吹氮气,以减少针尖上的AL粉。针尖有墨迹:测试时打点器没有调整好,尼龙丝碰到针尖上,针尖上沾上墨迹,然后针尖与压点接触时,压点窗口上墨迹沾污,使片子与AL层接触不良,参数通不过,还有对后续封装压焊有影响,使芯片与封装后成品管脚焊接质量差,所以平时装打点器时,不要把打点器装得太前或太后和太高或太低,而应该使尼龙丝与硅片留有一定距离,然后靠表面涨力使墨水打到管芯中心,如已经沾上墨迹,要立即用酒精擦干净,并用氮气吹干。探针台是半导体(包括集成电路、分立器件、光电器件、传感器)行业重要的检测装备之一。山西自动探针台配件厂家
一般,信号路径电阻被用来替代接触电阻,而且它在众多情况下更加相关。上海自动探针台机构
手动探针台规格描述(以实验室常见的仪准ADVANCED八寸,六寸探针台为例):探针台载物台平整度:5μm探针台右侧标配显微镜升降机构,可抬高显微镜,便于更换镜头和换待测物探针台左侧标配升降器,可快速升降台面8mm,并具备锁定功能探针台右下方标配精调旋转轮,可微调控制台面升降范围25mm(客户有特殊需求,可以增大范围),精度1μm6英寸或者8英寸载物盘可选,卡盘平整度:5μm,采用真空吸附方式,中心孔径250μm-1mm定制卡盘可0-360度旋转,旋转角度可微调,微调精度为0.1度,标配角度锁定旋钮大螺母可控制载物盘X-Y方向的移动,移动范围为150mmor200mm,移动精度为1μm载物台具备快速导入导出功能。上海自动探针台机构