LFS-2传感器测量两个轴的水平加速度,直至频率为约0.2Hz传感器直接放置在地板上,并用于前馈回路中与标准AVI/LP系统结合使用,可在非常低的情况下提高隔振效果频率。LFS-2可以改装为现有的AVI-LP系统。下表显示了在AVI/LP上测得的水平隔离度(透射率)有和没有LFS的系统。将传感器连接到AVI/系统?传感器LFS-2具有单独的电源,该电源通过D-Sub25插座连接到LFS-2控制单元。用D-Sub25将电源连接到传感器电缆。每个AVI元素必须连接到背面的D-Sub15插座之一传感器的LFS的实际位置并不重要,但必须放置它在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上部D-Sub15插座连接到传感器。传感器可以移动到任何所需位置。半导体设备隔振台技术原理
AVI单元和传感器的方向隔离单元和LFS传感器必须正确安装,这一点很重要!LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI的开关输出以任意4个矩形方向(即平行或成直角)放置的元素。不允许其他方向。为确保连接正确,请按照下列步骤操作:面向LFS传感器的蓝色LED站立。将弟一个AVI元素连接到以下任意一个后面板上的12个D-Sub15插座。用笔滑动开关在位置A和D之间。所有AVI元素必须连接到LFS单元上的插槽。正确的开关位置对于获得良好的性能至关重要隔离。隔振台厂家测振传感器不断监测振动,制动器根据这些信号产生反向力,以保持蕞佳隔振状态。
我们是岱美仪器。岱美拿到采购HERZAN公司隔振台的订单,客户是某杰出电脑硬盘盘基片制造商,此高性能的防震台有助于FIB公司推出的Nova600获得更好的分辨率。订单于2008年九月完成。此高性能的防震台由世界杰出的防震专业厂家HEZAN公司提供。AVI系列的防震台设计于结构紧凑,模块化的系统。它是理想的可以加装或整合到一个你已有的仪器设备系统以获得更好性能,它还可以提供在一定大小的范围内和增加额外的模块用来支持你想得到即使是蕞大的负荷。主动隔振范围从1Hz到200Hz,被动隔振超过200Hz,广泛应用于光刻类仪器、光谱分析类仪器、高精密测量系统、超高真空扫描探针显微和电镜及透射电子显微镜等系统。
AVI-600系列(负载:1200kg)型号:AVI-600SLP,AVI-600MLP,AVI-600XLP形状:控制器与防振单元分离型主动控制范围:被动隔振范围200Hz以上确认防振状态:使用控制器背面的BNC连接器,外部连接,前面的8个LED指示防振状态单位尺寸:288×396×288×720×318×856×控制器尺寸;448x286x143毫米承重:1200kg(相等)单位重量:约20kg,约26kg,联络我们电源电压:95-240VAC,50-60赫兹耗电量:正常27W工作温度范围:5℃〜40℃工作湿度范围:10〜90%(5〜30℃)・10〜60%(30〜40℃)可选零件(1)装载板,石板,铸铁板*另行咨询。选装(2)高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。
TS特点:◎在全部的6个自由度范围内,从0.7Hz到100Hz,TS系列产品提供优良的主动隔振性能。◎当仪器装载时,高度调整会自动进行。◎即使当负载偏离中心时,自动调平功能也能保持水准。当高重心的仪器被加载时,给予稳定性。◎通过按下前方的按钮,系统可以锁定或者解锁。锁定功能可以防止在系统重新加载或传输中发生损坏。◎前方的显示屏展示了在X,Y和Z方向的实际振动水平。◎主动隔振也可以通过使用可选的远程控制箱来从外部启用或禁用传感器LFS-3有一个单独的电源,通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。安徽隔振台有哪些应用
Table Stable Ltd:主动隔振以及高 分辨率,高对比度光谱学的全球领到者。半导体设备隔振台技术原理
AVI-400系列(负载:蕞多800kg)型号:AVI-400SLP,AVI-400MLP,AVI-400XLP系统形状:控制器与防振单元分离型主动控制范围:被动隔振范围200Hz以上确认防振状态:使用控制器背面的BNC连接器,外部连接,前面的8个LED指示防振状态尺寸:190×396×190×720×220×856×控制器尺寸:241×287×142毫米承重*800kg单位重量:约13kg;约19公斤,联络我们电源电压:95-240VAC,50-60赫兹耗电量:通常为18W工作温度范围:5℃〜40℃工作湿度范围10〜90%(5〜30℃)・10〜60%(30〜40℃)可选零件(1)装载板,石板,铸铁板*另行咨询选装(2)高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。半导体设备隔振台技术原理