上海半导体废气处理解决方案

热力燃烧法，热力燃烧是指把废气温度提高到可燃气态污染物的温度，使其进行全氧化分解的过程。优点：适用于可燃有机物质含量较低的废气的净化处理，燃烧净化处理技术中热效率很高，设备使用寿命长，抗老化，耐腐蚀。缺点：设备较大，运输不便；设备价格高，运行成本高；对于含硫、卤素有机物废气处理效果较差。催化燃烧法，催化燃烧是在催化剂的作用下，将废气中的有害可燃组分完全氧化为二氧化碳和水的过程。优点：催化燃烧器净化率高、工作温度低、能量消耗少、对可燃组分浓度和热值限制少，操作简便和安全性好。缺点：有的气体燃烧条件苛刻，需高温、高空和高水蒸气分压，因此催化剂必须具备较高的活性、高热稳定性和较高的水热稳定性，以及一定的抗中毒能力。废气处理不仅是环保问题，也是企业社会责任和公民道德的重要体现。上海半导体废气处理解决方案

变压吸附分离与净化技术，变压吸附分离与净化技术是利用气体组分可吸附在固体材料上的特性，在有机废气与分离净化装置中，气体的压力会出现一定的变化，通过这种压力变化来处理有机废气。PSA 技术主要应用的是物理法，通过物理法来实现有机废气的净化，使用材料主要是沸石分子筛。沸石分子筛，在吸附选择性和吸附量两方面有一定优势。在一定温度和压力下，这种沸石分子筛可以吸附有机废气中的有机成分，然后把剩余气体输送到下个环节中。在吸附有机废气后，通过一定工序将其转化，保持并提高吸附剂的再生能力，进而可让吸附剂再次投入使用，然后重复上步骤工序，循环反复，直到有机废气得到净化。辽宁碱洗废气处理废气处理设备的智能化和自动化是未来发展的趋势，能够提高处理效率和精度。

浓缩转轮/焚烧炉RotorConcentrator/Oxidizer，浓缩转轮/焚烧炉系统吸附大风量低浓度挥发性有机化合物(VOCs)。再把脱附后小风量高浓度废气导入焚烧炉予以分解净化。大风量低浓度的VOCs废气，通过一个由沸石为吸附材料的转轮，VOCs经被转轮吸附区的沸石所吸附后净化的气体经烟囱排到大气，再于脱附区中用180℃~200℃的小量热空气，将VOCs予以脱附。如此一高浓度小风量的脱附废气在导入焚烧炉中予以分解为二氧化碳及水气，净化的气体经烟囱排到大气。这一浓缩的工艺较大程度上地降低燃料费用。

膜分离法是利用有机废气中各组分在透过半透膜时的透过速率不同而使各组分分离的工 艺，常用有渗透汽化膜和蒸气渗透膜两种。渗透汽化膜是有机废气透过一种具有选择性的 薄膜时，由于有机废气中各组分分子间的亲和力不同，因而透过速率不同，从而有机废气 中各组分得以分离。有机废气经热泵回收部分高浓度挥发性有机物后，可降低有机废气中 挥发性有机物的浓度，再透过渗透汽化膜将其余有机物进行浓缩回收，常用有亲水性聚氧 烯类聚合物，如聚丙烯酸、聚酰亚胺和聚砜类聚合物，如聚醚砜、聚偏氟乙烯等。蒸气渗透 膜是有机废气中各组分通过多孔性半透膜时，低沸点组分通过渗透而冷凝为蒸气被回收，高 沸点组分被富集，从而使有机废气中各组分得以分离。该方法适用于处理低浓度的有机废 气，可回收有机物。废气处理设备在各行业中广泛应用，如化工、制药、电子等。

生物处理法，从处理的基本原理上讲，采用生物处理方法处理有机废气，是使用微生物的生理过程把有机废气中的有害物质转化为简单的无机物，比如CO2、H2O和其它简单无机物等。这是一种无害的有机废气处理方式。一般情况下，一个完整的生物处理有机废气过程包括3个基本步骤：a) 有机废气中的有机污染物首先与水接触，在水中可以迅速溶解;b) 在液膜中溶解的有机物，在液态浓度低的情况下，可以逐步扩散到生物膜中，进而被附着在生物膜上的微生物吸收;c) 被微生物吸收的有机废气，在其自身生理代谢过程中，将会被降解，较终转化为对环境没有损害的化合物质。废气处理技术的发展需求倡导绿色环保理念和资源节约利用。上海VOC废气处理解决方案

废气处理设备的运行维护和及时清洁保养对系统的稳定运行至关重要。上海半导体废气处理解决方案

吸附法，1)直接活性炭吸附法，这种方法设备比较简单、投资较小，它是将涂装线排除的有机废气，经过活性炭的进行吸附，吸附率在90%以上。此方法活性炭达到饱和后无法进行再生，需要对其进行定期更换，方可保证净化效果。更换时会导致装卸、运输等过程中造成二次污染，活性炭成本比较高且饱和活性炭需要专门处理机构处理，处理费用较高，因此其直接活性炭吸附的运行成本相当高。2)吸附—回收法，该法利用过热蒸汽反吹吸附饱和的吸附剂进行脱附再生，蒸汽与脱附出来的有机气体经冷凝、分离，可回收有机液体。该法净化效率较高，但要求提供必要的蒸汽量。另外有机溶剂与水的分离不很彻底，得到的混合液体品质不高，组份较为复杂，这些有机液体无法直接用到生产中，要再采用蒸馏、精馏、萃取等多道程序处理。上海半导体废气处理解决方案