1.气流速度及其均匀性的检测:该检测是清洁空间效应其他基本检测的前提。其检测的目的是,确定单向洁净空间工作区域内的平均气流及其均匀性。2.系统或空间风量检测。3.室内清洁度检测:清洁度检测是指在清洁环境中,可达到的空气清洁度水平。可以使用颗粒计数器识别。4.自洁时间检测:确定自洁时间,以了解洁净室污染时恢复原始清洁度的能力。5.气流模式的检测。6.噪声检测。7.光强检测:光强检测的目的是确定洁净室内的光强水平和光强的均匀性。8.振动检测:振动检测的目的是检测洁净室的振动幅度。9.温湿度检测:温湿度检测的目的是将温度和湿度调节到一定限度。其内容包括无尘室供气温度检测、代表性测点气温检测、无尘室中心气温检测、敏感元件气温检测、相对室内温度检测和回风温度检测。高效过滤器(HEPA)的完整性测试对于保证空气过滤效果至关重要。河北排风柜检测技术好
单向流洁净室的流动状态从雷诺数看是湍流,所以所谓层流洁净室中的层流和流体力学中的层流是完全不同的概念。因此,层流洁净室一词是不恰当的,国外的一些标准和文章也指出了这一点。例如,英国标准BS-5295曾将所谓的层流洁净室定义为单向流洁净室。层流在括号中表示。原联邦德国标准VDl-2083使用“非湍流置换流”一词,并在注释中指出层流的概念只是为了区分比层流更早出现的湍流(turbulent)流洁净室整理房间。在当时使用的成语中,“层流系统”的确切含义不是分层流,而是湍流的置换流。本章提到的概念是湍流的渐进流。在流体力学中,这种流动状态也可以称为平行流动或单向流动。1977年,我国在《清洁空气技术措施》中选择了“平行流”一词,并指出习惯上在该词后称其为“层流”。江苏实验室环境检测规范性强采用非接触式检测技术,减少对洁净室的潜在污染。
(1)净化处理原则:能用局部净化的场合,就尽可能不用净化;或低级别的净化高级别的局部净化相结合。避免把需要净化的环境分割成较小的空间,这样做虽然有利于控制污染,但这也造成平面复杂化、增加造价、作业程序不易改变、人员流动不方便,以及小房间造成人们心理上的不快。(2)由于气流分布的不均匀和尘粒分布等不均匀性,洁净室的微粒实际上是不均匀分布的,较为典型的三区不均匀分布模型,即分为主流区、涡流区和回风口区。主流区含区含尘浓度可比室平均浓度低30%到一半。建议把工艺布置在主流区内。(3)主要工艺可尽量布置于送风管上风段,上风段相对来说,洁净程度比下风段要好表2为某10万级洁净车间内沿一条送风管走向设置的六个测点检测结果(空态下),测点l~6由上风段依次向下,可以看出,各点尘粒数有较大区别当然,其中也有送风管上各送风口风量没有较好调节的原因,但这种较大区别的可能还是不可忽视。
洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度,使产品能够在良好的环境空间中生产制造,从而我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说,所谓的无尘,并不是100%没有一点灰尘,而是控制在极少量的单位。当然,这个标准中符合粉尘标准的颗粒物,相对于我们常见的粉尘来说是非常小的,但是对于光学结构来说,哪怕是一点点的粉尘也会产生非常大的负面影响气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留的粒子。
、温湿度标准规定:洁净区的温度和相对湿度与药品生产工艺要求相适应。无特殊要求时,洁净区温度为18℃~26℃,相对湿度控制在45%~65%。有特殊要求车间根据工艺控制。温度观察:检查温湿度计是否完整,视线正对温湿度计水平读取显示的数据,需要记录的应立即填入表格中。湿度观察:视线正对湿度表,准确读数。需记录的应立即填入表格中。需要加水的湿度计,在观察前应检查在蓄水腔内是否有水,无水则需加入适量水,再观察湿度。洁净区的温湿度每天至少记录两次,上午一次,下午一次。设备计量人员每年至少组织校验一次监控系统的仪器设备。洁净室检测结果的准确性直接影响到产品质量的稳定性。辽宁洁净室检测
洁净气流应尽可能把工作部位围罩起来,使污染物在扩散之前便流向回风口。河北排风柜检测技术好
洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气,以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此,测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此,其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物,因此它们是主要关注的检测项目。非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此,换气次数越大,气流流型合理,稀释效果越***,洁净度也相应提高。所以非单相流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数,是主要关注的气流测试项目。为了获得可重复的读数,记录各测点风速的时间平均值。换气次数:根据洁净室总风量除以法净室的容积求得河北排风柜检测技术好
B.2.1.2计数效率测量U描述符所用体系的计数效率应落在图B.1的阴影之内[1]。该阴影区为性能达标区,其中心对应的选定粒径超微粒子的计数效率为50%,粒径示为U。超微粒径U的允差为土10%,见图B.1中的1.1U和0.9U。这一计数效率允差的规定,是基于对扩散元件透过率的计算,该扩散元件对粒径大于选定超微粒径10%的粒子的透过率不低于40%,对粒径小于选定超微粒径10%的粒子的透过率不高于60%。若离散粒子计数器(DPC)或凝聚核计数器(CNC)的计数效率曲线落在图B.1阴影区之外的右侧,则不能用其测量或验证U描述符。若曲线落在阴影区之外的左侧,则可使用B.2.1.3介绍的粒径限制器来降低...