广东洁净室环境检测规范性强

洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度，使产品能够在良好的环境空间中生产制造，从而我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说，所谓的无尘，并不是100%没有一点灰尘，而是控制在极少量的单位。当然，这个标准中符合粉尘标准的颗粒物，相对于我们常见的粉尘来说是非常小的，但是对于光学结构来说，哪怕是一点点的粉尘也会产生非常大的负面影响。洁净气流应尽可能把工作部位围罩起来，使污染物在扩散之前便流向回风口。广东洁净室环境检测规范性强

洁净室或洁净设施温、湿度测定，通常分为两个档次：一般测试和综合测试。档次适用于处于空态的交竣验收测试，第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进行这项检测时，空调系统已经充分运转，各项状况已经稳定。每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器，并且给传感器充分的稳定时间。所做测量应适合实际使用的目的，待传感器稳定之后才开始测量，测量时间不少于5分钟。浙江电子厂房环境检测诚信推荐静电控制检测对于电子制造业的洁净室尤为重要。

洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气，以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此，测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此，其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物，因此它们是主要关注的检测项目。非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此，换气次数越大，气流流型合理，稀释效果越***，洁净度也相应提高。所以非单相流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数，是主要关注的气流测试项目。为了获得可重复的读数，记录各测点风速的时间平均值。换气次数：根据洁净室总风量除以法净室的容积求得

1.送风量与排风量如果是紊流洁净室，那么就要测量其送风量与排风量。若为单向流洁净室，则要测量其风速。2.各区之间的气流控制为证明各区之间气流运动方向正确，也就是从洁净区向洁净度差的区域流动，必须检测：2.1各区间的压差正确；2.2门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向正确，即从洁净区向洁净程度差的区域流动。3.过滤器检漏对高效过滤器及其外框要进行检验，以保证悬浮污染物不会穿过：3.1损坏了的过滤器；3.2过滤器与其外框间的缝隙；3.3过滤器装置的其他部位而侵入室内。4.隔离检漏这项测试是为了证明悬浮污染物不穿过建筑材料侵入洁净室。温湿度波动范围的控制对于某些敏感产品的生产至关重要。

温湿度计测量温湿度：电子温湿度计因其方便、可靠、便于距离测量，在洁净室检测、监测中使用。常见的有电容式和电阻式传感器，辅以相应电学仪器，即可测定空气的相对湿度。电阻式湿度传感器常见的有氧化镍金属氧化物烧结而成的多孔状陶瓷体，或高氯酸锂—聚氯乙烯等高分子材料制成。它们都是利用了在不同湿空气中，由于吸湿量变化而引起的电阻值变化原理制成的湿度传感器。氧化镍陶瓷湿度传感器因其使用寿命长，工作稳定性好，使用较普遍。电容式传感器：电容式湿度传感器基本上是一个电容器，在高分子薄膜上的电极是很薄的金属微孔蒸发膜，水分子可以通过两端的电极被高分子薄膜吸附或释放，随着水分子的吸附与释放，高分子薄膜的介电系数将发生相应变化。因为介电系数随空气中的相对湿度变化而变化，因此，只要测定其电容值即可得到被测空气的相对湿度。净室被习惯 地应用在对环境污染特别敏感的行业。安徽洁净室环境检测诚信推荐

使用激光尘埃粒子计数器可以精确测量空气中的微粒浓度。广东洁净室环境检测规范性强

4、悬浮粒子-微粒计数农度A、室内测试人员必须穿洁净服，不得超过2人，应位于测试点下风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时动作要轻，应减少人员对室内洁净度的干扰。B、设备要在校准期内使用。C、检测前和检测后设备“清零”D、在单向流区域，所选择的采样探头应接近等动力采样，进入采样探头的风速与被采空气的风速偏差不应超过20%。若无法做到这一点，将采样口正对气流的主方向。非单向流的采样点，采样口应竖直向上。E、采样口至粒子计数器传感器的连接管应尽量短。采样点一般离地面0.8-1.2m左右，要均匀科学布点，而且要避开回风口。对任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目都不得少于2个，总采样数可根据面积开2次根求得。广东洁净室环境检测规范性强