光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位,其成本约占IC制造工艺的20-30%,光刻胶去胶效果太弱影响生产效率,去胶效果太强容易造成基底损伤,影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶,成本低效率高,但随着技术不断选代更新,越来越多IC制造商开始采用干法式去胶,干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺,它不需要浸泡化学溶剂,也不用烘干,去胶过程更容易控制,避免过多算上基底,提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶,其原理同等离子清洗类似,主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶,由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物,在射频或微波作用下,氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应,生成一氧化碳,二氧化碳和水等,再通过泵被真空抽走,完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的,主要的气体为氧气、氩气等,通过射频产生氧离子,轰击清洗物件,以获得表面光滑的较大化,并且结果是亲水性增大。等离子技术是一新兴的领域,该领域结合等离子物理、等离子化学和气固相界面的化学反应。重庆plasma封装等离子清洗机
塑料是以高分子聚合物为主要成分,添加不同辅料,如增塑剂、稳定剂、润滑剂及色素等的材料,满足塑料是以高分子聚合物为主要成分,人们日常生活的多样化和各领域的需求。因此需要对塑料表面的性质如亲水疏水性、导电性以及生物相容性等进行改进,对塑料表面进行改性处理。等离子体是物质的第四态,是由克鲁克斯在1879年发现,并在1928年由Langmuir将“plasma”一词引入物理学中,用于表示放电管中存在的物质。根据其温度分布不同,等离子体通常可分为高温等离子体和低温等离子体(LTP),低温等离子体的气体温度要远远低于电子温度,使其在材料表面处理领域具有极大的竞争力。低温等离子体等离子体的一种,主要成分为电中性气体分子或原子,含有高能电子、正、负离子及活性自由基等,可用于破坏化学键并形成新键,实现材料的改性处理。并且,其电子温度较高,而气体温度则可低至室温,在实现对等离子体表面处理要求的同时,不会影响材料基底的性质,适合于要求在低温条件下处理的生物医用材料。低温等离子体可在常温常压下产生,实现条件简单、消耗能量小、对环境和仪器系统要求低,易于实现工业化生产及应用。天津sindin等离子清洗机服务电话摄像头模组需在DB前、WB前、HM前、封装前进行真空等离子清洗,活化材料表面,提高亲水性和黏附性能。
汽车内外饰件普遍呈弯曲、凹凸等非平面造型,在喷漆、粘接、涂覆工艺前,可使用等离子设备对汽车内饰件、仪表板、储物盒、天窗导轨、车灯等内外饰件进行表面活化,确保后续工艺质量。等离子表面处理具有处理效果均匀。无明火室温处理,材料不易烫坏变形、环保无污染和适用范围广等优点,在汽车产业中也起着不可或缺的作用。①塑料内饰件粘接前经等离子处理可实现表面活化,改善表面润湿性,确保粘接质量。②大尺寸弯曲、凹凸非平面的内饰件可使用真空等离子清洗机高效、均匀地进行表面活化处理,不同规格的内饰件可定制相应尺寸的腔体。
等离子清洗机正朝着更高效、更智能、更环保的方向发展。一方面,随着材料科学的深入研究,对材料表面性能的要求越来越高,等离子清洗机需要不断优化气体种类、工艺参数和清洗机制,以实现对材料表面更精细、更复杂的处理。另一方面,随着智能制造和物联网技术的兴起,等离子清洗机将逐渐实现自动化、智能化控制,通过集成传感器、控制器和数据分析软件等先进技术,实现对清洗过程的实时监控、故障诊断和远程操作。此外,环保法规的日益严格也促使等离子清洗机向更加绿色、可持续的方向发展,如采用低碳环保的气体、开发能量回收系统等。未来,等离子清洗机有望在更多领域得到应用,如新能源材料制备、环境保护技术、生物医学工程等,为科技进步和社会发展做出更大的贡献。同时,随着技术的不断成熟和成本的进一步降低,等离子清洗机也将更加普及,成为工业生产中不可或缺的重要设备。plasma等离子清洗机增加材料之间的粘接性。
片式真空等离子清洗机针对半导体行业,DB/WB工艺、RDL工艺、Molding工艺、FlipChip(FC)倒装工艺等,能够大幅提高其表面润湿性,保证后续工艺质量,从而提高封装工艺的可靠性。设备优势:1.一体式电极板结构设计,等离子体密度高,均匀性好,处理效果佳2.双工位处理平台,四轨道同时上料,有效提升产能3.可兼容多种弹匣尺寸,可自动调节宽度,提升效率并具备弹匣有无或装满报警提示功能4.工控系统控制,一键式操作,自动化程度高。行业应用:1.金属键合前处理:去除金属焊盘上的有机污染物,提高焊接工艺的强度和可靠性2.LED行业:点银胶、固晶、引线键合前、LED封装等工序中可提高粘和强度,减少气泡,提高发光率3.PCB/FPC行业:金属键合前、塑封前、底部填充前处理、光刻胶去除、基板表面活化、镀膜,去除静电及有机污染物通过等离子表面活化改善其润湿性,可改善塑料表面上用油墨进行涂漆或印刷的力度。江西plasma等离子清洗机有哪些
等离子体可以实现清洁、改性、刻蚀等目的。重庆plasma封装等离子清洗机
复合材料边框的耐腐蚀能力较差,容易导致边框在长期使用过程中发生断裂或变形,影响光伏组件的整体结构稳定性和使用寿命。为了有效解决这一问题,可以使用等离子处理,活化复合材料边框表面,提高其表面能,从而提高密封胶点胶质量。经plasma等离子处理后能够在复合材料表面形成极性基团,提高其表面自由能,从而有助于增强其表面附着力,使其更容易与密封胶等粘合剂结合,显著提高密封胶的附着力,避免脱落等问题,从而确保光伏组件的密封性能,提高整体光伏系统的稳定性和可靠性。重庆plasma封装等离子清洗机