光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位,其成本约占IC制造工艺的20-30%,光刻胶去胶效果太弱影响生产效率,去胶效果太强容易造成基底损伤,影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶,成本低效率高,但随着技术不断选代更新,越来越多IC制造商开始采用干法式去胶,干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺,它不需要浸泡化学溶剂,也不用烘干,去胶过程更容易控制,避免过多算上基底,提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶,其原理同等离子清洗类似,主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶,由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物,在射频或微波作用下,氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应,生成一氧化碳,二氧化碳和水等,再通过泵被真空抽走,完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的,主要的气体为氧气、氩气等,通过射频产生氧离子,轰击清洗物件,以获得表面光滑的较大化,并且结果是亲水性增大。射频等离子清洗机以其高效、环保清洗的特点,成为了半导体、微电子、航空航天等行业的关键设备。四川sindin等离子清洗机设备
汽车外饰件由各种材料组成:从定制的金属坯件到SMC复合材料和玻璃纤维增强塑料(GFRP)再到复合塑料。这些原材料具有极为不同的表面性质。利用等离子体预处理可以取得稳定的材料结合和具有牢固粘接力的高质量面层。具体应用如下:在对由 PP/EPDM 复合物制成的保险杠进行喷漆之前的表面活化;对由 SMC 制成的翼子板进行等离子表面处理;嵌装玻璃之前对陶瓷涂层进行等离子体超精细清洗;对铝制框架进行等离子体超精细清洗以便对玻璃天窗进行防水粘接。辽宁plasma等离子清洗机联系方式利用等离子体反应特性能够高效去除表面污染层,包括有机物、无机物、氧化物等,同时不会对表面造成损伤。
随着汽车行业标准的逐渐提高,消费者购车时对车辆的外观、内饰、智能化的要求也随之提高。新的需求推动了新技术和新材料的应用,目前,等离子处理技术正被积极应用在汽车内外饰行业中,该技术通过高密度的等离子体对材料表面进行表面清洗活化和改性处理,提升材料的表面性能,从而提高内外饰件粘接、贴合、植绒等工艺段质量,汽车内外饰件品质与技术的双重飞跃。汽车大尺寸内饰塑胶件普遍呈弯曲、凹凸等非平面造型,火焰法处理与常压等离子均处理时会存在无法处理到的死角,使用大腔体真空等离子可高效、均匀进行表面活化处理,提高润湿性,从而提高粘接强度,不同规格的内饰件可定制相应尺寸的腔体。
等离子清洗机在隐形眼睛中清洗的应用:目前使用的隐形眼镜是用有机玻璃(聚甲基丙烯酸甲酪)制成的,它具有折射率高、硬度合适、生物亲和性好等优点,但它存在亲水性差的缺点,长期佩戴会造成眼睛不适,另外它对氧气的通透性较差,易造成佩戴时引起眼睛发炎等问题。研究发现使用等离子体清洗技术不仅可以去除隐形眼镜表面的污垢,而且利用乙炔、氮气和水形成的等离子体聚合物镀在隐形眼镜的表面形成--个薄膜,可以改善它的亲水性、保湿性和透气性。用等离子体清洗不仅可将隐形眼镜上的各种污垢清洗干净,而且具有对材料性能影响小,可在较长一段时间里有效减少被污染可能的优点。摄像头模组需在DB前、WB前、HM前、封装前进行真空等离子清洗,活化材料表面,提高亲水性和黏附性能。
塑料是以高分子聚合物为主要成分,添加不同辅料,如增塑剂、稳定剂、润滑剂及色素等的材料,满足塑料是以高分子聚合物为主要成分,人们日常生活的多样化和各领域的需求。因此需要对塑料表面的性质如亲水疏水性、导电性以及生物相容性等进行改进,对塑料表面进行改性处理。等离子体是物质的第四态,是由克鲁克斯在1879年发现,并在1928年由Langmuir将“plasma”一词引入物理学中,用于表示放电管中存在的物质。根据其温度分布不同,等离子体通常可分为高温等离子体和低温等离子体(LTP),低温等离子体的气体温度要远远低于电子温度,使其在材料表面处理领域具有极大的竞争力。低温等离子体等离子体的一种,主要成分为电中性气体分子或原子,含有高能电子、正、负离子及活性自由基等,可用于破坏化学键并形成新键,实现材料的改性处理。并且,其电子温度较高,而气体温度则可低至室温,在实现对等离子体表面处理要求的同时,不会影响材料基底的性质,适合于要求在低温条件下处理的生物医用材料。低温等离子体可在常温常压下产生,实现条件简单、消耗能量小、对环境和仪器系统要求低,易于实现工业化生产及应用。大气射流型等离子清洗机具有清洗效率高、可实现在线式生产、环保等优点。北京晟鼎等离子清洗机售后服务
等离子在气流的推动下到达被处理物体的表面,从而实现对物体的表面进行活化改性。四川sindin等离子清洗机设备
在微电子封装领域,Plasma封装等离子清洗机发挥着至关重要的作用。随着集成电路技术的不断发展,芯片尺寸不断缩小,对封装过程中的表面清洁度要求也越来越高。传统的湿法清洗方法难以彻底去除芯片表面的微小颗粒和有机物残留,而Plasma封装等离子清洗机则能够在分子级别上实现表面的深度清洁,有效去除这些污染物,提高封装的可靠性和稳定性。此外,等离子体还能对芯片表面进行改性,提高其与封装材料的粘附力,降低封装过程中的失效风险。因此,Plasma封装等离子清洗机已成为微电子封装生产线上的必备设备。四川sindin等离子清洗机设备