E.5.1无恒温恒湿要求的温湿度检测应符合下列要求:1室内空气温度和相对湿度测定之前,空调净化系统应已连续运行至少8h。2温度的检测可采用玻璃温度计、数字式温湿度计;湿度的检测可采用通风式干湿球温度计、数字式温湿度计、电容式湿度检测仪或露点传感器等。根据温湿度的波动范围,应选择足够精度的测试仪表。温度检测仪表的极小刻度不宜高于0.4℃,湿度检测仪表的极小刻度不宜高于2%。测点为房间中间一点,应在温湿度读数稳定后记录。测完室内温湿度后,还应同时测出室外温湿度。由HEPA或ULPA与风机组合在一起,构成自身可提供动力的末端空气净化的装置。江苏洁净传递窗无尘室检测报告
12.2.1排烟管道的安装试验应符合本规范第5章的有关规定。12.2.2排烟管道的隔热层应采用厚度不小于40mm的不燃绝热材料。12.2.3砖、混凝土风道的制作应保证管道的气密性,灰缝应饱满,内表面水泥砂浆面层应平整。12.2.4送风口、排烟口的固定应可靠,表面应平整、无变形、调节灵活。排烟口距可燃物或可燃构件的距离不应小于1.5m。排烟口安装时不应影响防倒灌设施正常发挥作用。排烟口应安装板式排烟口,不应漏风。12.2.5排烟风机的安装应符合下列规定:1当**排烟风机设在混凝土或钢架基础上时可不设减振装置;若需设置减振装置,则不应使用橡胶减振装置。2排烟风机宜安装在该系统比较高排烟口之上,并宜安在机房内,机房与相邻部位隔墙应符合防火要求。浙江半导体净化车间无尘室检测人员在进人洁净室(区)之前按一定程序进行净化的房间。
1一级防静电工作区的地面、墙面和柱面应采用导静电型。导静电型地面、墙面、柱面的表面电阻、对地电阻应为2.5X10↵~1X10°2,摩擦起电电压不应大于100V,静电半衰期不应大于0.1s;2二级防静电工作区的地面、墙面、柱面、顶棚、门和软帘应采用静电耗散型。静电耗散型地面、墙面、柱面和顶棚、门的表面电阻、对地电阻应为1X10°~1X109Ω,摩擦起电电压不应大于200V,静电半衰期不应大于1s,但软帘的摩擦起电电压不应大于300V;3三级防静电工作区的地面、墙面和柱面宜根据生产工艺要求采用静电耗散型材料或低起电材料,顶棚、门等宜采用低起电材料。选用静电耗散型材料的地面、墙面和柱面,应符合本条第2 款的要求;选用低起电材料的地面、墙面、柱面、顶棚、门等的摩擦起电电压不应大于1000V。
11.2.1有风机的净化设备当其风机底座与箱体软连接时,搬运时应将底座架起固定,就位后放下。11.2.2净化设备安装应在建筑内部装饰和净化空调系统施工安装完成,并进行***清扫、擦拭干净之后进行,但与围护结构相连的设备或其排风、排水管道必须与围护结构同时施工时,与围护结构应圆弧过渡,曲率半径不应小于 30mm,连接缝应采用密封措施,做到严密清洁。11.2.1有风机的净化设备当其风机底座与箱体软连接时,搬运时应将底座架起固定,就位后放下。11.2.2净化设备安装应在建筑内部装饰和净化空调系统施工安装完成,并进行***清扫、擦拭干净之后进行,但与围护结构相连的设备或其排风、排水管道必须与围护结构同时施工时,与围护结构应圆弧过渡,曲率半径不应小于 30mm,连接缝应采用密封措施,做到严密清洁。指洁净室内离地面高度0.8~15m(除工艺特殊要求外)的区域。
E.2.1静压差的测定应在所有房间的门关闭时进行,有排风时,应在比较大排风量条件下进行,并宜从平面上极里面的房间依次向外测定相邻相通房间的压差,直至测出洁净区与非洁净区、室外环境(或向室外开口的房间)之间的压差。E.2.2对于洁净度5级或优于5级的单向流洁净室,还应测定在门开启状态下,离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。E.2.3有不可关闭的开口与邻室相通的洁净室,还应测定开口处的流速和流向。E.2.1静压差的测定应在所有房间的门关闭时进行,有排风时,应在比较大排风量条件下进行,并宜从平面上极里面的房间依次向外测定相邻相通房间的压差,直至测出洁净区与非洁净区、室外环境(或向室外开口的房间)之间的压差。E.2.2对于洁净度5级或优于5级的单向流洁净室,还应测定在门开启状态下,离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。E.2.3有不可关闭的开口与邻室相通的洁净室,还应测定开口处的流速和流向。指洁净室(区)在净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下,洁净室(区)内没有生产人员的状态。浙江噪音无尘室检测方法
物料在进入洁净室(区)之前按一定程序进行净化的房间。江苏洁净传递窗无尘室检测报告
12.1.1洁净厂房的用电负荷等级和供电要求,应根据电子产品生产工艺及设备要求和现行国家标准《供配电系统设计规范》GB50052的有关规定确定。12.1.2洁净厂房低压配电电压等级应符合生产工艺设备用电要求。带电导体系统的型式宜采用单相二线制、三相三线制、三相四线制。系统接地型式宜采用TN-S或TN-C-S系统。12.1.3电子产品生产用主要工艺设备,应由变压器或低压馈电线路供电。对电源连续性有特殊要求的生产设备、动力设备,宜设置不间断电源或备用发电装置等。在洁净室(区)内宜设置的检修电源。12.1.4洁净厂房的净化空调系统(含制冷机),应由变电所专线供电。江苏洁净传递窗无尘室检测报告
3.1.1电子工业洁净厂房生产环境的设计应根据生产工艺的要求控制微粒和对产品质量有害的杂质,同时还应提出温度、湿度、压差、噪声、振动、静电防护、照度等参数要求。3.1.2生产环境设计应根据产品品种及生产工艺要求,对电子产品生产过程需用的包括化学品、常用气体和特种气体、纯水等各种介质的质量进行控制。3.1.3洁净室(区)内产品生产过程所使用的工具、器具和物料储运装置,其制作的材质和清洁方式应按生产工艺要求选择。3.1.1电子工业洁净厂房生产环境的设计应根据生产工艺的要求控制微粒和对产品质量有害的杂质,同时还应提出温度、湿度、压差、噪声、振动、静电防护、照度等参数要求。3.1.2生产环境设计应根据...