11.5.1工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能。11.5.2工艺设备安装时,现场的净化空调系统应已连续运行24h以上;现场除正常照明外,应配备三相380V、单相220V和低压行灯电源。11.5.3任何用于大设备的提升、牵引或定位的**设备在进人洁净室安装现场前,应彻底清洁,并应检查有无脱屑、剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料。11.5.4设备安装时应妥善保护墙壁与地面,设备的软胶轮应予包裹,避免在地面拖磨。开洞作业不应划伤或污染所在表面。设备安装位置穿越不同洁净级别区域时,穿越处缝隙应用柔性材料填充、密封,并应装饰处理。人员在进人洁净室(区)之前按一定程序进行净化的房间。江苏尘埃粒子无尘室检测服务
4.2.1洁净室可根据电子产品生产工艺特点、空气洁净度等级和布置要求分为隧道式、开放式和微环境等,也可按气流流型分为单向流洁净室、非单向流洁净室和混合流洁净室。4.2.2电子工业洁净厂房垂直单向流洁净室的空间,应包括活动地板以下的下技术夹层、洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层。4.2.3洁净室型式的选择应综合生产工艺要求、节约能源、减少投资和降低运行费用等因素确定,各种空气洁净度等级的电子工业洁净厂房宜采用混合流洁净室。对空气洁净度净度要求严格时,宜采用微环境等型式。安徽实验室无尘室检测分析洁净室在现代工业中早已被广泛应用于半导体生产。
4.1.1洁净厂房位置的选择,应根据下列要求的经技术经济比较后确定:1应布置在大气含尘和有害气体或化学污染物浓度较低、自然环境较好的区域;2应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体或化学污染物的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰或强电磁场的区域。不能远离严重空气污染源时,则应位于全年极小频率风向下风侧;3在厂区内应布置在环境清洁、污染物少、人流和物流不穿越或少穿越的地段。
7.3.1洁净厂房中的净化空调系统可分为集中式净化空调系统和分散式净化空调系统。净化空调系统的型式应根据洁净厂房的规模、空气洁净度等级和产品生产工艺特点确定。洁净室(区)面积较小或只有局部要求净化时,宜采用分散式净化空调系统。7.3.2洁净厂房的洁净室(区)送风方式可分为集中送风、隧道送风、风机过滤器机组送风等。应根据洁净室(区)使用功能和降低能量消耗的要求,经技术经济比较,采用运行经济、节约能源的送风方式。由HEPA或ULPA与风机组合在一起,构成自身可提供动力的末端空气净化的装置。
空气由空调箱经风管与超净间内之空气过滤器(HEPA)进入超净间,并由超净间两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于超净间等级1,000-100,000级。优点:构造简单、系统建造成本,超净间之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高超净间等级。缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再***,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。设施已经建成,生产设备已经安装,并按业主及供应商同意的状态运行,但无生产人员。浙江洁净室环境无尘室检测方法
无尘室通常用于制药、电子、半导体等行业。江苏尘埃粒子无尘室检测服务
无尘室净化车间管理规范1、进入洁净室的管理,包括对洁净室工作人员进入,物料进入,各类设备的搬入以及相关的设备,管线的维护管理,应做到不得将微粒,微生物带人洁净室2、操作管理技术,对洁净室内人员用洁净工作的制作,穿着和其清洗,操作人员的移动和动作,室内设备及装修材料的选择和清扫,灭菌等,尽可能减少,防止洁净室内尘粒,微生物的产生,滞留,繁殖等3、严格各类设备,设施的维护管理,制定相应的操作规程,保证各类设备,设施按要求正常运转,包括净化系统,各类水,气,电系统。江苏尘埃粒子无尘室检测服务
E.2.1静压差的测定应在所有房间的门关闭时进行,有排风时,应在比较大排风量条件下进行,并宜从平面上极里面的房间依次向外测定相邻相通房间的压差,直至测出洁净区与非洁净区、室外环境(或向室外开口的房间)之间的压差。E.2.2对于洁净度5级或优于5级的单向流洁净室,还应测定在门开启状态下,离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。E.2.3有不可关闭的开口与邻室相通的洁净室,还应测定开口处的流速和流向。E.2.1静压差的测定应在所有房间的门关闭时进行,有排风时,应在比较大排风量条件下进行,并宜从平面上极里面的房间依次向外测定相邻相通房间的压差,直至测出洁净区与非洁净区、室外环境(或向室外开口的房...