1近年来,在大规模集成电路生产(前工序)用洁净厂房、TFT-LCD生产用洁净厂房的建造、设计中,基本上采用多层的布置方式,在洁净生产层吊顶格栅以上的上技术夹层常常作为送风静压箱,洁净空气通过FFU向洁净生产层送风,实际上,洁净生产层与上技术夹层是相通的;而洁净生产层的下部是活动地板及其支撑件和钢筋混凝土多孔板,在活动地板等以下是作为回风静压箱的下技术夹层,在下技术夹层常常还设置一些公用动力设备、辅助生产设备和公用动力管线等,洁净生产层的回风通过活动地板、多孔板回至下技术夹层,实际上,下技术夹层与洁净生产层是相通的,所以可以认为:电子工厂洁净厂房垂直单向流洁净室的空间包括活动地板以下的下技术夹层,洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层。工业洁净室--以无生命的微粒作为控制对象。江苏无尘室3Q验证洁净室检测价格

7.4.5干表冷器的设置应符合下列要求:1安装位置、外形尺寸应根据洁净厂房的平面和空间布置确定;2迎面风速、结构形式应根据洁净室(区)冷负荷、风机过滤器机组所提供的机外余压确定;3冷冻水进水温度,宜高于洁净室(区)内空气的**温度;4应设置排水设施。7.4.6净化空调系统空气处理机组的选用和布置,应符合下列要求:1应有良好的气密性,漏风率不得大于1%;2整体结构应有足够的强度和刚度,内表面应平整、光滑,外表面不应结露;3布置应整齐,并应便于运行和维修;当多套空气处理机组为同一洁净室(区)服务时,宜选用相同规格的空气处理机组;送风机宜采取变频调速措施。送风机可按净化空调系统的总风量和总阻力值进行选择。计算系统总阻力时,中效(高中效)、高效(亚高效、超高效)空气过滤器的阻力宜按其初阻力的1.5~2.0倍取值;5应设置排水装置。北京医疗净化车间洁净室检测技术好可燃气体管道、氧气管道的末端或极高点均应设置放散管。

6.1.5设有上技术夹层、下技术夹层的洁净厂房的建筑平面、空间布局和构造,应满足产品生产工艺、自动化运输和公用动力设施安装和维修的要求。6.1.6设有技术夹层、技术夹道的洁净厂房,技术夹层、技术夹道的建筑设计应满足各种风管和各种动力管线安装和维修的要求。穿越楼层的竖向管线需暗敷时,宜设置技术竖井。技术竖井的形式、尺寸和构造应满足风管、管线的安装、检修和防火要求。6.1.7对兼有一般生产区和洁净室(区)的综合性厂房,厂房的平面布局和构造处理,宜避免人流、物流运输及防火方面对洁净生产环境带来不利影响。
8.2.1洁净厂房内的给水系统应根据各种用途(包括工艺冷却水)对水质、水温、水压、水量的要求确定,宜按生产、生活、消防分别设置的给水系统。8.2.2当设有危险化学品储存和分配室时,应根据化学品的物理化学性能和人身安全的要求,设置紧急淋浴器和洗眼器,其给水管道应环形敷设布置。8.2.3给水管道的管材及附件的选择,应符合下列要求:1给水系统的管材和附件的选用,应满足生产工艺和系统工作参数的要求;2埋地管道应耐腐蚀,并应具有承受相应地面荷载的能力;3生产设备循环冷却水给水和回水管道,应按生产工艺和水质要求,采用不锈钢管、钢塑管、塑料管等,不宜采用焊接钢管;4阀门及附件应采用与管材相同的材质。工业管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。

10.3.1洁净厂房内的干燥压缩空气系统应根据各类产品生产工艺要求、供气量和供气品质等因素确定,并应符合下列规定:1供气规模应按产品生产所需供气量和计入必要损耗量确定,并应设有一定的备用供气量;2供气品质应根据生产工艺对含水量、含油量、微粒粒径及其浓度等要求确定;3供气系统可集中设置在洁净厂房内的供气站或洁净厂房外的综合动力站;4应选用能耗少、噪声低的设备,宜选用无油润滑空气压缩机,5含水量要求严格时,宜选用加热再生吸附干燥装置。在生产工艺平面区划时尽可能把相同级别的洁净房间布置在一起。江苏无尘室3Q验证洁净室检测价格
洁净室绝不仅于“洁净”,而必须是一个对冷热、噪声、照度、静电、微振都有相当要求的多功能的综合体。江苏无尘室3Q验证洁净室检测价格
6.3.4洁净厂房技术夹层的墙壁和顶棚应满足使用功能要求,且表面应平整、光滑。位于地下的技术层或技术夹层应采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5当洁净厂房设置外窗时,应采用双层固定窗,并应有良好的气密性,同时应采取防结露措施。6.3.6洁净室(区)门窗、墙壁、顶棚、地面、楼面的设计应符合下列要求:1应满足使用功能的要求,构造和施工缝隙应采取密闭措施;2顶棚以上的技术层或技术夹层宜设检修通道,3洁净室(区)不宜设窗台;4当地面采用活动地板时,活动地板材质和支撑方式应根据电子产品生产工艺要求选择。6.3.7用于电子产品生产的洁净室(区)的墙板和顶棚,宜采用轻质壁板构造。江苏无尘室3Q验证洁净室检测价格
1.洁净室换气次数检测的重要性及方法换气次数是衡量洁净室空气洁净度维持能力的关键指标。足够的换气次数能够及时排出室内产生的污染物,引入洁净空气,保证洁净室内的空气品质。换气次数的检测方法主要有风速法和示踪气体法。风速法是通过测量送风口的风速和送风口的面积,结合洁净室的体积来计算换气次数。在实际操作中,需在多个送风口均匀布置风速测点,使用风速仪进行精确测量。为确保测量的准确性,要注意风速仪的校准和测量时间的选择,避免因气流波动导致测量误差。示踪气体法则是向洁净室内释放一定量的示踪气体,如六氟化硫,然后通过检测示踪气体浓度的衰减情况来计算换气次数。该方法适用于一些难以通过风速法准确测量的特殊洁净室...