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氦质谱检漏仪基本参数
  • 品牌
  • R&D LEAK
  • 型号
  • 齐全
  • 类型
  • 氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪企业商机

氦检仪在压力容器中的常用方法:喷氦法,喷氦法是常用,比较方便的检漏方法。检漏时,用连接在装有氦气的气瓶上的喷头向怀疑有漏泄的部位喷氦气,如果有氦气从漏孔中流入压力容器装置,则装置内的氦分压就会上升,氦氦检仪上就会显示有泄漏率。是否合格要看标准漏率值是定在多少,超过标准漏率值的可视为不合格。氦罩法,这种方法使用一个检漏罩(塑料薄膜等)把被检容器包起来,先排除罩内空气,然后充入氦气或氦气的混合气体,氦检仪与被检容器内部连接,当氦检仪有漏率显示时,说明有泄漏。这个漏率称为总漏率。总漏率为各个分漏率之和;总漏率不超标准值,则各个分漏率也不超标准值;总漏率超过标准值,则检查各个点的分漏率是否超过标准值。然后再对超过标准值的漏孔进行修补,直至达到合格标准为止。氦质谱检漏仪的主要根据被检漏设备的允许漏率为依据。绍兴氦质谱检漏仪厂家推荐

氦检仪的基本原理是采集被检件中的气体将其电离,根据不同种类气体离子质荷比不同的特点,利用磁偏转分离原理将其区分开来。仪器只对示漏气体氦气有相应信号,而对其他气体没有反应,属于唯1性氦检仪器。检漏过程中,一旦出现信号,就说明有氦气通过漏孔进入被检件,从而指示出漏孔的位置与大小。而之所以选择氦气作为示漏气体,主要是因为氦质量轻,易于穿过漏孔,扩散快,对分析设备制造的要求相对简单;同时氦气在空气中含量少,本底压力小,又为惰性气体,不易发生反应等等,都为提高仪器灵敏度创造了条件。温州客制化氦质谱检漏仪哪家好氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术。

氦检仪有漏率灵敏度参数,它是仪器在出厂时经过校准的在较佳条件下所能实现的仪器灵敏度,但平常实际使用时其灵敏度是低于该参数的,称之为检漏灵敏度。然后在具体检漏过程中,氦检仪的检漏方法也较多,有喷吹法、氦罩法、检漏盒法、充压法、吸嘴法、累积检漏法、背压法、选择性抽气法、逆流氦检漏法等众多形式,可结合实际情况灵活运用。如较简单常用的喷吹法,与卤素氦检仪的真空法类似,将被检件抽真空,调整好氦检仪并与被检件连通,随后用喷头在可疑处喷吹氦气,如果存在漏洞,喷吹一定时间后,氦检仪即可发出信号。

氦质谱检漏仪的保养注意事项:1.如果仪器不是每天使用,建议每周开机检查一下,使仪器高真空系统保持真空,缩短仪器使用时的开机时间2.拆卸仪器部件(如离子源)后,安装时要避免安装部位出现泄漏,可用仪器进行自身检漏。3.适时对仪器可能出现的泄漏处(如放气阀等)进行自身检漏,发现漏点后要及时取下清洗或固紧,以免在检漏时干扰检漏工作。4.氦质谱检漏仪维修每隔一段时间保养油泵。(散热口灰尘处理,和泵油的检查更换)。5.禁止任何外来物掉在或洒在氦质谱检漏仪上,尤其是进气口中,由于氦质谱检漏仪为高精度精密仪器,其存放和使用环境要保持干净、卫生。氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。

氦检仪的工作原理:氦检仪先在质谱室中将采集的被测气体电离,再利用电磁场将不同荷质比的离子加以分离检测,从中检测出事先安排的示踪氦离子,主要由三大组件构成:真空系统、质谱室和电子学控制单元。氦检仪内部配有一台旋片式真空泵,用以维持仪器内部的高真空。质谱室是氦检仪的重点部分,它包括离子源、聚焦、质量分析器和测量部分。质谱室入口连接在涡轮分子泵的前级真空部分,分子泵对不同的气体具有不同的压缩比特性,氦气的压缩比很小,可以逆着分子泵的抽气方向流动进入质谱室。在质谱室中氦气被电离,氦离子通过质量分析器的筛选到达收集极,产生一个正比于离子数量的电流信号,该信号经过放大和处理即为泄漏率。氦检仪的实际应用方案很多,常用的三种检漏方法有负压法(抽真空),正压法(吸入法)和背压法(压氦法)。进口氦质谱检漏仪使用方法

氦检仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器。绍兴氦质谱检漏仪厂家推荐

氦质谱检漏仪的的故障和处理:1、内部的泄漏,当检漏仪内部存在泄漏时,会对检漏工作造成较大干扰,容易造成误检、误判。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的橡胶圈密封。采用喷氦法寻找漏点,更换密封件。2、本底信号不稳定,1)本底信号过高有可能是环境本底被污染,注意检查室内是否有氦气源在泄漏。将室内的门窗打开通风,降低环境本底。2)本底信号过高也有可能是因为质谱室被污染。检漏仪若经常检测含有油污、粉尘等杂质较多的被检件时,质谱室极易被污染,需返厂进行清洗,本底信号不稳定,检查电源电压是否稳定,氦质谱检漏仪应有可靠的接地。绍兴氦质谱检漏仪厂家推荐

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