绍兴真空氦质谱检漏仪定制

氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1优于200Pa时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的可检漏率为10-10Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20Pa时，入口阀2关闭，入口阀3打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的可检漏率为10-12Pa·m3/s。氦检仪同时拥有两种检漏模式，真空模式及正压模式，可根据客户不同需求，选择不同的检漏方法。绍兴真空氦质谱检漏仪定制

影响氦质谱检漏仪检测精度的原因是什么？稳定时间对检测的影响，在充气的时候，压缩空气会因为受压状态而进入一个密闭容器后，引起一系列的热力学-动力学变化。即当一定体积的压缩空气迅速移至一密闭容器后，其压力会发生降低，若此时进行测量，则这种压力的变化会被视作一个由泄漏所引起的压力变化，影响测量结果的准确性。这种“冲气效应”受充气压力、测试容积及测试件材料影响。当充气压力或测试容积增加时，这种充气引起的压力降低随之变得明显。解决这个问题的办法之一是在充气与测量之间增加一段稳定时间来消除这种影响。浙江客制化氦质谱检漏仪氦检模块氦检仪为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到只对氦气反应的工作状态)的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。

氦质谱检漏仪操作注意事项：1、产品放入加压罐中加压时，不能直接拆除加压罐。必须先把加压罐里面的气体排出才能打开。由于加压罐中压力比空气中的压力大以防造成一定的伤害因此在加压过程中不能让不相干的人员靠近并在加压罐上方贴一个警告标识。2、氦气减压阀连接气瓶接口处要锁紧不能有松动情况。以防气体冲击带来伤害。3、产品半检漏时，按压住的组件不能挪动或者强行扳开。以防气体冲击带来伤害。4、在进行重氟油检漏时，产品不能直接放进油箱中，而应把油箱中的托盘拿出，把产品放在其上在慢慢放入油中。以防止油飞溅烫伤。高灵敏度氦检仪的噪声来源大体上可以分为两种，一个是离子流接收放大机输出电路的噪声，另一个是本底噪声。

氦检仪机械泵故障及处理：1、机械泵不动作，检查项目有：氦检仪电源电压是否正常，开关是否打开，绕组是否断路或接地，电机是否过热(泵冷却后是否能启动)。2、机械泵声音异常，检查油位是否合适，油质是否变坏，油温是否<10℃，油雾过滤器的出口有无气体排出(如果无气体排出，更换油雾过滤器)。氦检仪质谱室故障及处理：1、灯丝无法正常启动，在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，则需要更换离子源。若灯丝指示灯闪烁，检查离子源航空插座与接线柱是否开路，若开路，需要更换灯丝，若不开路，检查其接线柱与其他接头是否导通，消除短路现象。2、本底信号处于杂乱无章的波动状态且大小远远超过氦检仪故障自身的本底噪声，需要考虑放大器是否故障。质谱室出现故障一般用户无法解决，只需对故障进行定位，交由维修处理。氦质谱检漏仪的保养项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。温州便携式氦质谱检漏仪工作原理

氦质谱检漏仪的电流相同，漏率可能不同；或漏率不同，电流相同。绍兴真空氦质谱检漏仪定制

氦质谱检漏仪特点：1.检测时间和周期非常短，可以达到5s以内；2.检测的介质比较常用，只需压缩空气即可；3.不会受到主观因素判断的影响；4.检测的数据精确；5.自动生成数据保存，可追溯数据来源。氢质谱检漏仪能为不同的应用提供不同的测试方法，含有涡轮分子泵、内置机械泵、外置机械泵、光谱、仪管、阀组、检漏仪电子元件和操作页面，以及可选功能组件。氨质谱检漏仪在许多领域里得到普遍的应用，例如，在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、卫星、飞机等这些都要用到真空检漏技术。绍兴真空氦质谱检漏仪定制

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