提高氦质谱检漏仪灵敏度方法:1、尽量开大节流阀。2、尽量减小外接泵对工件的分流或采用不分流检漏(当工件抽上真空后,关闭工件与外接泵之间的阀门)。3、将工件用塑料袋包扎,袋内再充入氦气,(但此法不能测出具体漏点)。4、使用液氮,全开节流阀,采用不分流检漏,必要时可将抽速阀关小。氦质谱检漏仪日常维护:1、定期更换灯丝,清洗冷规。2、定期更换机械泵油,适时对机械泵加油。3、如加液氮,需定期清洗冷阱。4、拆卸氦质谱检漏仪部件后,安装时要避免安装处出现泄漏。5、适时对氦质谱检漏仪可能出现的泄漏处(如放气阀)进行清洗,排除漏点。氦检仪本底漏率值是什么?杭州自动氦质谱检漏仪使用方法
氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空,当真空度P1优于200Pa时,打开入口阀1、2,关闭抽空阀,氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来,此时检漏仪的可检漏率为10-10Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空,当P1降至20Pa时,入口阀2关闭,入口阀3打开,分子泵的高抽速用于抽空试件,检漏仪的反应时间缩短,此时检漏仪的可检漏率为10-12Pa·m3/s。江苏台式氦质谱检漏仪氦检模块影响氦质谱检漏仪检测精度的原因是什么?
选择氦检仪时主要考虑以下问题:(1)仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能,就不适合正压法检漏;有些仪器没有报废漏率的设置功能,不宜作为批量产品筛选检漏用;流水线上要求一定的检漏速度,此时应选择有多工位的氦检仪。(2)仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦检仪的灵敏度是不一样的,如果检漏要求的灵敏度较高,就要认真选择。(3)被检件如果害怕油的污染,就应选择无油真空系统的氦检仪。(4)被检件容积如果较大,必须选用预抽泵抽速大的氦检仪,否则就要外加预抽泵。(5)如果被检对象不固定,体积时大时小,灵敏度要求时高时低,就要选择功能较全、灵敏度较高、检漏范围宽的氦检仪。(6)如果检漏地点不固定,需要经常搬运仪器时,就要选择小型便携式仪器。(7)在满足上述检漏基本要求的基础上,还要综合考虑仪器的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。
氦质谱检漏仪在使用时需注意哪些问题?1、氦质谱检漏仪实际的检漏灵敏度比理论计算值低,一是由于所喷出的氦气流是散开的,故掺有一定数量的空气,使氦气的浓度有所降低。二是喷出的气流的方向不可能完全对准漏孔的方向,此外、在凹缺处所存在的空气会使得进入漏孔的氦气浓度降低。2、检漏次序:从被检件物体的上方至下方,由近处向远离检漏仪处逐点进行喷氦检查。3、检出的大漏孔要经修补后再去找小漏孔。4、当存在两个相距很近的可疑的漏孔点时,应先把一个点盖住,再对另一点进行喷氦。5、当喷在某一点时,如果,检漏仪上的显示有变化,其上升速度很慢且显示值不稳定表示邻近其它地方有很大漏孔。氦检仪的捡漏方法有哪些?
氦质谱检漏仪性能试验方法:1、反应时间、消除时间及其测定,反应时间是指仪器节流阀完全开启,本底讯号为零(或补偿到零)时,由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的时间,记为τR。消除时间是指输出仪表讯号稳定到固定值后,停止送氦,其讯号下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的时间,记为τC。2、工作真空、极限真空及入口处抽速,质谱室极限真空,尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用氦质谱检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。氦质谱检漏仪是真空检漏技术中灵敏度较高,用得比较多的检漏仪器。无锡智能氦质谱检漏仪使用方法
氦质谱检漏仪不会受到主观因素判断的影响。杭州自动氦质谱检漏仪使用方法
氦质谱检漏仪常见的几种检漏法:1、负压法检漏,负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口,连续向可疑的漏孔喷射示踪气体,示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。根据产品的不同,需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具。2、压氦法检漏,压氦法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中,然后连至检漏仪将其抽空,示踪气体通过漏孔泄漏出来,经检漏仪检测总泄漏量。一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。杭州自动氦质谱检漏仪使用方法
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