氦检仪怎么选择适合的检漏方法?氦检仪的实际应用方案很多,常用的三种检漏方法有负压法(抽真空),正压法(吸入法)和背压法(压氦法),可以发现有不同的叫法,这是根据不同的检测方式命名的。采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。根据不同的检漏目的,常用基础的有3种检漏方法。负压法(喷氦法)。对被检工件抽真空。可对被检工件外可疑漏点喷氦,也可将工件罩起来对氦罩内喷氦。可根据工件容积大小选配辅助泵或不加辅助泵。可检测工件的具体漏点和准确漏率。检测精度高。适用行业:镀膜行业,真空炉,真空配件,真空阀门,压力容器,真空系统等。氦质谱检漏仪的关键部件均为进口,性能稳定可靠。杭州进口氦质谱检漏仪售后服务
氦检仪在真空度校验中有什么应用?氦是一种惰性气体,不会对设备产生腐蚀,不与真空器件起化学反应,无毒,也不会污染环境,因此使用起来也十分安全。对容器环境和质谱环境干扰较小,常作为泄漏气体使用。在接有氦检仪(即调整到只对氦气反应的工作状态的气体剖析仪)的被检容器上喷射该气体,如果容器有漏孔,分析仪就会发出响声,从而知道漏孔的位置和漏气量。氦质谱检测泄漏技术是真空检测领域中不可缺少的一项技术,由于其检测效率高、简便易行、仪器反应灵敏、准确度高、不受其它气体干扰等特点,在电阻炉检测泄漏中被普遍应用。常州模块式氦质谱检漏仪技术指导氦检仪是真空检漏技术中灵敏度较高,用得较普遍的氦检仪器。
氦质谱检漏仪性能试验方法:1、反应时间、消除时间及其测定,反应时间是指仪器节流阀完全开启,本底讯号为零(或补偿到零)时,由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的时间,记为τR。消除时间是指输出仪表讯号稳定到固定值后,停止送氦,其讯号下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的时间,记为τC。2、工作真空、极限真空及入口处抽速,质谱室极限真空,尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用氦质谱检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。
氦检仪开机如何操作?1、将总电源转到“前级泵”,低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa,开抽速阀,开漏孔开关,表头示值也应能抽到原来位置,再关抽速阀。2、将总电源转到“扩散泵”,灯亮,扩散泵开始加热。3、等20分钟左右,扩散泵排气管应热,开冷规开关,“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。4、开抽速阀,过几分钟后开冷规,表头指针应从左打向右,再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规,可等一会儿再开),当真空示值超过1×10-2Pa后,可启动灯丝,灯亮,“发射电流”有指示,开、关漏孔检查氦检仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda),灵敏度达要求后关漏孔。将工件用外接泵抽上真空后,开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间,对工件喷氦检漏。检漏完,关节流阀。氦质谱检漏仪的漏孔漏率是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。
氦质谱检漏仪的优点体现在以下几个方面:(1)便携式:很多小型便携式检漏仪不但灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。(2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。(3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。(4)全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。氦检仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体,所以安全可靠。安徽智能氦质谱检漏仪单位
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氦质谱检漏仪是对比性测试仪器,其工作原理是对进入质谱室的氦气分子电离,轰击靶心产生电离,并放大,通过电流大小的判断氦气分子的多少!进入质谱室氦气分子的比例(分流比),还有电气参数的不同,电流相同,漏率可能不同;或漏率不同,电流相同;所有检漏仪本身并不知道放大后的电流对应的漏率是多少,需要参照物,这个参照物就是标准漏孔。氦质谱检漏仪自身保养小知识:(1)前级真空泵的定期换油及深度保养;(2)电磁阀组的超声清洗;(3)质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的定期保养维护。杭州进口氦质谱检漏仪售后服务
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