10.2.3气体纯化装置的设置,应符合下列要求:1气体纯化装置应根据气源和产品生产工艺对气体纯度、容许杂质含量要求选择;2气体纯化装置宜设置在气体纯化间(站)内。当洁净厂房设有气体入口室时,气体纯化间宜与气体入口室合建;3各类气体纯化装置宜设置在同一气体纯化间(站)内。若有特殊要求时,也可根据具体要求分别设置在各自的气体纯化间内;4气体终端纯化装置宜设置在邻近用气点处。10.2.4进入洁净厂房的气体管道控制阀门、气体过滤器、调压装置、压力表、流量计、在线分析仪等,宜集中设置在气体入口室。中效或高中效空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段。上海温湿度洁净室检测

5.1.3主体结构要具备同建筑处理及其室内装备和装修水平相适应的等级水平。若室内装备与装修水平高,而主体结构为临时的,就会形成严重的浪费。本条规定着重于使洁净厂房在耐久性、装修与装备水平、耐火能力等几个方面相互协调,使投资长期发挥作用。此外,温度或沉陷不但可能影响安全,而且还会破坏建筑装修的完整性及围护结构的气密性,故须对主体结构采取相应措施。5.1.5对兼有一般生产和洁净生产的综合性厂房,在考虑其平面布局和构造处理时,应合理组织人流、物流运输及消防疏散线路,避免一般生产对洁净生产带来不利的影响。当防火方面与洁净生产要求有***时,应采取措施,在确保消防疏散的前提下,减少对洁净生产的不利影响。江苏洁净气体3Q验证洁净室检测方法单向流洁净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用,迅速把室内污染排出。

C.3已装过滤系统气溶胶光度计扫描检漏规程C.3.1进行已装过滤系统扫描检漏前,应已完成风速合格性检测。C.3.2过滤器上风向气溶胶适当粒径范围[质量中值粒径(MMD)一般为0.5μm~0.7μm,几何标准差可高达1.7];浓度为10mg/m~100mg/m。浓度低于20mg/m时检漏的灵敏度欠佳;高于80mg/m,长时间检测会过度污染过滤器。注入气溶胶与送风应均匀混合,上风向气溶胶浓度随时间的变化不应超过平均测量值的士15%。C.3.3按规定的扫描速度,移动采样探头往复扫描。采样头往复扫描速度为15/Wp,cm/s(Wp为垂直于扫描方向的采样口宽度。扫描速度为5cm/s。注:当使用3cm×3cm正方形采样头扫描时,扫描的覆盖面之间略有重叠。C.3.4采样口的风速接近过滤器出风面的风速(接近“等动力采样”)。采样探头距过滤器出风面和框架结构约3cm。C.3.5扫描应遍及过滤器的整个出风面、过滤器的周边、过滤器边框与安装构架之间的密封处及安装构架的结合点。C.3.6验收限值:当读数大于上风向气溶胶浓度的0.01%时,就认为存在渗漏。供需双方也可商定其他验收限值。扫描时任何显示大于或等于渗漏限值处,采样头应停留持续测量一段时间,光度计获得比较大读数时采样头的位置应判定为渗漏位置。
D.3.10自净时间检测,应符合下列规定:1自净时间的检测,宜用于非单向流洁净室。2自净时间的检测,宜采用大气尘或烟雾发生器等人工尘源为基准,并宜以粒子计数器进行检测,同时应符合下列要求.1)以大气尘为基准时,则必须将洁净室停止运行相当时间,在室内含尘浓度已接近于大气浓度时,测出洁净室内靠近回风口处的含尘浓度(N。)。然后开机,定时读数(一般可设置每间隔6s读数一次),直到回风口处的含尘浓度回复到原来的稳定状态,记录下所需的时间(t)。2)以人工尘源为基准时,应将烟雾发生器放置在离地面1.8m以上室中心,发烟1~2min后停止,等待1min,测出洁净室内靠近回风口处的含尘浓度(N。)。然后开机,方法同上。3由初始浓度(No)、室内达到稳定的浓度(N)、实际换气次数(n),可得到计算自净时间(to),与实测自净时间(t)进行对比,如果t≤12to,为合格。4自净时间检测方法除上述方法外,还有微粒浓度变化率评估法等。自净时间检测方法应洽商确定。管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施。

7.4.5干表冷器的设置应符合下列要求:1安装位置、外形尺寸应根据洁净厂房的平面和空间布置确定;2迎面风速、结构形式应根据洁净室(区)冷负荷、风机过滤器机组所提供的机外余压确定;3冷冻水进水温度,宜高于洁净室(区)内空气的**温度;4应设置排水设施。7.4.6净化空调系统空气处理机组的选用和布置,应符合下列要求:1应有良好的气密性,漏风率不得大于1%;2整体结构应有足够的强度和刚度,内表面应平整、光滑,外表面不应结露;3布置应整齐,并应便于运行和维修;当多套空气处理机组为同一洁净室(区)服务时,宜选用相同规格的空气处理机组;送风机宜采取变频调速措施。送风机可按净化空调系统的总风量和总阻力值进行选择。计算系统总阻力时,中效(高中效)、高效(亚高效、超高效)空气过滤器的阻力宜按其初阻力的1.5~2.0倍取值;5应设置排水装置。无菌操作间应根据检验品种的需要,保持对邻室的相对正压或相对负压,以防止外界污染空气的流入。上海压缩空气检测洁净室检测分析
负压洁净室联锁程序应与上述正压洁净室相反。上海温湿度洁净室检测
4.1.2洁净厂房内当布置有精密设备和精密仪器仪表,若它们有防微振要求时,为解决防微振问题,在厂址选择或已建工厂内的洁净厂房场地选择过程中,需要对周围振源的振动影响作出评价,以确定该厂址或场地是否适宜建设。周围振源对精密设备、精密仪器仪表的振动影响,是若干单个振源振动的叠加结果。这种叠加,目前还没有系统的参考数据及实用的计算方法。因此,应立足于实测。过去有的工厂,由于建厂前没有对周围各类振源的振动影响进行实测,建成后发现对精密设备、精密仪器仪表影响很大,有的甚至难以工作,给生产、试验带来很大困难,这说明实测振源振动影响是非常必要的。上海温湿度洁净室检测
1.洁净室换气次数检测的重要性及方法换气次数是衡量洁净室空气洁净度维持能力的关键指标。足够的换气次数能够及时排出室内产生的污染物,引入洁净空气,保证洁净室内的空气品质。换气次数的检测方法主要有风速法和示踪气体法。风速法是通过测量送风口的风速和送风口的面积,结合洁净室的体积来计算换气次数。在实际操作中,需在多个送风口均匀布置风速测点,使用风速仪进行精确测量。为确保测量的准确性,要注意风速仪的校准和测量时间的选择,避免因气流波动导致测量误差。示踪气体法则是向洁净室内释放一定量的示踪气体,如六氟化硫,然后通过检测示踪气体浓度的衰减情况来计算换气次数。该方法适用于一些难以通过风速法准确测量的特殊洁净室...