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相对湿度在40%至60%的范围同样也是人类感觉舒适的适度范围。湿度过高会使人觉得气闷，而湿度低于30%则会让人感觉干燥，皮肤皲裂，呼吸道不适以及情感上的不快。高湿度实际上减小了洁净室表面的静电荷积累──这是人们希望的结果。较低的湿度比较适合电荷的积累并成为潜在的具有破坏性的静电释放源。当相对湿度超过50%时，静电荷开始迅速消散，但是当相对湿度小于30%时，它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中，半导体洁净室一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。洁净室检测过程中，应注重节能降耗，实现绿色生产。北京实验室环境检测认真负责

（七）室内噪声1、仪器设备和环境仪器，设备测噪声仪器为带信频程分析仪的声级计。环境温度常温或设计温度下。2、抽样对有噪声设计要求的各个场所分别测定。3、技术要求室内噪声级应符合《洁净厂房设计规范》GB50073-2001的规定。在空态情况下，非单相流洁净室不应大于60dBA；单向流、混合流洁净室不应大于65dBA；洁净室的噪声频谱限制各频带的声压级值不应大于《洁净厂房设计规范》GB50073-2001表4.4.2的规定。4、操作过程及判定（1）测噪声仪器为带信频程分析仪的声级计一般只测A声级的数值。必要时测倍频程声压级。（2）洁净室面积在15m点采样，除房间两对角线相交的室中心位置外，另在房间四角对角线上对称的选取4点。（3）执行标准的编号及标准实施日期。（4）被测试的洁净室或洁净区的地址、采样点的特定编号及坐标图。（5）被测洁净室或洁净区的空气洁净度等级、被测粒径或沉降菌、浮游菌、被测洁净室所处的状态、气流流型和静压差、被测洁净室的温湿度、噪声。（6）测试用的仪器的编号和标定征书测试方法细则及测试中的特殊情况.（7）测试结果包括在采样点坐标图上注明所测的粒子浓度或沉降菌、浮游菌的菌落数。（8）对异常测试值进行说明及数据处理。广东洁净室环境检测技术好空气洁净度是洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度，通常空气中含尘浓度高则空气洁净度低。

洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度，使产品能够在良好的环境空间中生产制造，从而我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说，所谓的无尘，并不是100%没有一点灰尘，而是控制在极少量的单位。当然，这个标准中符合粉尘标准的颗粒物，相对于我们常见的粉尘来说是非常小的，但是对于光学结构来说，哪怕是一点点的粉尘也会产生非常大的负面影响

抽样高效过滤器本体在进入现场前，生产厂家应按规定进行性能试验，并提供合格证。在单向流洁净室对安装的高效空气过滤器应该逐台进行检漏，乱流洁净室对于7级或更低级别的洁净室，只要洁净室达到了所要求的空气洁净度级别，就可以不进行检漏。技术要求检漏的结果要符合条件：由受检过滤器下风侧测到的漏泄浓度换算成透过率，对于高效过滤器应不大于过滤器出厂合格率的2倍，对于超高效过滤器应不大于出厂合格透过率的3倍。操作过程及判定过滤器的检漏是指安装完成的空气过滤器的检漏适用于空态或静态的洁净室。对于安装于送、排风末端的高效过滤器，应用扫描法进行过滤安装边框和全断面检漏，扫描法有检漏仪法光度计法和采样量为1L/min的粒子计数器法两种。采用非接触式检测技术，减少对洁净室的潜在污染。

洁净室或洁净设施温、湿度测定，通常分为两个档次：一般测试和综合测试。一个档次适用于处于空态的交竣验收测试，第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进行这项检测时，空调系统已经充分运转，各项状况已经稳定。每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器，并且给传感器充分的稳定时间。所做测量应适合实际使用的目的，待传感器稳定之后才开始测量，测量时间不少于5分钟。有足够的风量，既为了稀释空气的含尘浓度，又保证有稳定的气流流型。辽宁实验室环境检测服务至上

安装验证和操作验证完成并进行确认工作后即进行性能验证。北京实验室环境检测认真负责

B.4.3.2送风口处测量的送风量为了排除送风口局部气流的扰动和气流喷射的影响，建议采用风罩测量末端过滤器或送风散流器的总送风量。可使用配有流量计的风量罩直接测量，也可用风罩出风的风速乘以有效面积求出送风量。风罩的上开口应完全罩住过滤器或散流器；为了避免旁通漏风造成的读数不准，风罩的上沿应密封靠紧平坦的表面。若采用带流量计的风量罩，则可在风罩的出风端口直接测量各个末端过滤器或送风散流器的风量。。。。。。。北京实验室环境检测认真负责