氦质谱检漏仪调氦峰步骤:1、调氦峰方法:开漏孔开关,单方向(从75~165V或从165~75V)调加速电压“V”,使氦质谱检漏仪放大器输出表指示值出现一个Zda值,然后关漏孔开关,如表头指示值变小,说明氦质谱检漏仪接收到氦信号,即找到氦峰;如表头指示值不变,说明不是氦峰,则继续调“V”,直到找到氦峰(出现氦的“V”一般在85~150V之间)。2、调氦峰分辨不好:①氦和重离子分辨差。②氦和轻离子分辨差。3、调氦峰信号小:①灯丝没正对电离盒上的电子入口。②灯丝离电离盒太远。③分辨不好。氦质谱检漏仪的漏孔漏率是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。嘉兴便携式氦质谱检漏仪使用方法
氦检仪机械泵故障及处理:1、机械泵不动作,检查项目有:氦检仪电源电压是否正常,开关是否打开,绕组是否断路或接地,电机是否过热(泵冷却后是否能启动)。2、机械泵声音异常,检查油位是否合适,油质是否变坏,油温是否<10℃,油雾过滤器的出口有无气体排出(如果无气体排出,更换油雾过滤器)。氦检仪质谱室故障及处理:1、灯丝无法正常启动,在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后,若灯丝仍无法发射离子流,则需要更换离子源。若灯丝指示灯闪烁,检查离子源航空插座与接线柱是否开路,若开路,需要更换灯丝,若不开路,检查其接线柱与其他接头是否导通,消除短路现象。2、本底信号处于杂乱无章的波动状态且大小远远超过氦检仪故障自身的本底噪声,需要考虑放大器是否故障。质谱室出现故障一般用户无法解决,只需对故障进行定位,交由维修处理。嘉兴自动氦质谱检漏仪品牌氦质谱检漏仪应每隔一段时间保养油泵。
如何正确选择氦检仪?(1)仪器的功能是否能满足检漏的要求,如有些仪器没有逆流检漏功能,就不合适正压法检漏:有些仪器没有报废漏率的设置功能,就不宜作为批量产品筛选检漏用;流水线上要求一定的检漏速度,因此应选择有双工位的氦检仪。(2)仪器的灵敏度是否能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦检仪的灵敏度是不一样的,如果检漏要求的灵敏度较高,就要认真选择。(3)被检件如果害怕油的污染,被应选择无油真空系统的氦检仪。(4)被检件容积如果较大,必须选用预抽泵抽速答的氦检仪,否则要另配预抽泵就比较麻烦。(5)如果被检对象不固定,体积时大时小,灵敏度要求时高时低,就要选择功能较全,灵敏度较高,检漏范围宽的氦检仪。(6)如果检漏地点不固定,需要经常搬运仪器时,就要选择小型便携式仪器。(7)在满足检漏基本要求的基础上,还要综合考虑仪器的价格是否低、操作是否建议、维修是够方便等方面的问题。
氦检仪应用领域:工业:真空炉、镀膜系统、压力容器、超高真空工程。高能物理:加速器、束线、同步辐射光源。科研领域:空间模拟系统、试验装置、微电子、表面分析系统。半导体及电子:工艺设备、气路、气路传输设备、电子元器件、封装。汽车制冷:蒸发器、空调、管路。核工业:核电阀门、核容器。航空航天:空间模拟器、航天器、管路。电厂:管道、蒸汽发生器、热交换器、冷凝器。氦检仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比,具有检测灵敏度高、速度快和适用范围宽,此外氦检仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体,所以安全可靠。氦检仪具有性能稳定、灵敏度高的特点。
氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到只对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气,氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。氦质谱检漏仪的关键部件均为进口,性能稳定可靠。宁波台式氦质谱检漏仪多少钱一台
氦质谱检漏仪适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。嘉兴便携式氦质谱检漏仪使用方法
氦检仪的捡漏方法:正压法(吸入法)。可分为真空箱法和正压法两张模式,工件内充氦气,吸抢检测可根据工件漏率选择性充入一定比例混合氦气可检测工件的具体漏点。检测精度高。适用行业:特种阀门,高压管道,制冷管路,汽轮机组等。因为空气中含有5ppm的氦气,正压法检漏灵敏度相对负压法要低。氦检仪正压法有二种方式,即移动嗅探式和氦罩累积式。前者只能定性检测大漏,后者则可定量检测微漏。氦质谱检漏正压氦罩法注意事项:氦罩要专门设计,一般用金属制作(塑料布在长时间累积中渗透量太大)。如果累积时间短,也可用0.10~0.15mm的塑料布制作。检测时氦罩应尽量小,以便提高氦的压升率。氦罩要密封。探测口要方便检测。检漏过程中,仪器灵敏度和吸头在校准后不得进行调整,否则要重新进行校准。吸头不应一直插在检测口内,以免影响累积信号。在低温探测时,环境湿度应尽量降低,被检件应先加高压示漏气体而后降温,以免小孔阻塞。嘉兴便携式氦质谱检漏仪使用方法
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