氦检仪有漏率灵敏度参数，它是仪器在出厂时经过校准的在较佳条件下所能实现的仪器灵敏度，但平常实际使用时其灵敏度是低于该参数的，称之为检漏灵敏度。然后在具体检漏过程中，氦检仪的检漏方法也较多，有喷吹法、氦罩法、检漏盒法、充压法、吸嘴法、累积检漏法、背压法、选择性抽气法、逆流氦检漏法等众多形式，可结合实际情况灵活运用。如较简单常用的喷吹法，与卤素氦检仪的真空法类似，将被检件抽真空，调整好氦检仪并与被检件连通，随后用喷头在可疑处喷吹氦气，如果存在漏洞，喷吹一定时间后，氦检仪即可发出信号。氦检仪在电厂检漏领域被普遍使用。合肥推车式氦质谱检漏仪
氦检仪开机如何操作？1、将总电源转到“前级泵”，低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa，开抽速阀，开漏孔开关，表头示值也应能抽到原来位置，再关抽速阀。2、将总电源转到“扩散泵”，灯亮，扩散泵开始加热。3、等20分钟左右，扩散泵排气管应热，开冷规开关，“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。4、开抽速阀，过几分钟后开冷规，表头指针应从左打向右，再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规，可等一会儿再开)，当真空示值超过1×10-2Pa后，可启动灯丝，灯亮，“发射电流”有指示，开、关漏孔检查氦检仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda)，灵敏度达要求后关漏孔。将工件用外接泵抽上真空后，开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间，对工件喷氦检漏。检漏完，关节流阀。安徽小型氦质谱检漏仪技术指导氦质谱检漏仪是真空检漏技术中灵敏度较高，用得比较多的检漏仪器。
氦检仪的示踪气体也可以是其他元素，但通常选用氦气，因为氦气具有以下特性：①氦气在空气中的含量极少，只占约二十万分之一，这样氦气的本底值就小，有利于发现极微量的氦气;②氦分子小、质量轻、易扩散、易穿越漏孔，易于检测也易于清理;③氦离子荷质比小，易于进行质谱分析;④氦气是惰性气体，化学性质稳定，不会腐蚀和损伤任何设备;⑤氦气无毒，不凝结，极难容于水。氦质谱检漏技术用于火力发电厂的检漏工作,具有操作方便、灵敏度高和无损伤性等优点,特别是可以在正常运行中准确快捷地对机组进行检漏,减少停机带来的经济损失。
氦检仪在无源器件中的检漏应用：无源器件检漏原因：光无源器件是光纤通信设备的重要组成部分，也是其它光纤应用领域不可缺少的元器件。具有高回波损耗、低插入损耗、高可靠性等特点。光无源器件对密封性的要求极高，如果存在泄漏会影响其使用性能和精度，光通信行业的漏率标准是小于5×10-8mbar.l/s，因此需要进行泄漏检测。氦质谱检漏法利用氦气作为示踪气体可精确定位，定量漏点，替代传统泡沫检漏和压差检漏，目前已普遍应用于光无源器件的检漏。光无源器件检漏方法：由于无源器件体积小，且无法抽真空或直接充入氦气，我们采用“背压法”检漏，具体做法如下。1.将被检无源器件放入真空保压罐，压力和时间根据漏率大小设定。2.取出无源器件，使用空气或氮气吹扫表面氦气。3.将无源器件放入真空测试罐，测试罐连接氦检仪。4.启动氦检仪，开始检漏。由于氦质谱检漏仪仪为高精度精密仪器，其存放和使用环境要保持干净、卫生。
提高氦质谱检漏仪灵敏度方法：1、尽量开大节流阀。2、尽量减小外接泵对工件的分流或采用不分流检漏(当工件抽上真空后，关闭工件与外接泵之间的阀门)。3、将工件用塑料袋包扎，袋内再充入氦气，(但此法不能测出具体漏点)。4、使用液氮，全开节流阀，采用不分流检漏，必要时可将抽速阀关小。氦质谱检漏仪日常维护：1、定期更换灯丝，清洗冷规。2、定期更换机械泵油，适时对机械泵加油。3、如加液氮，需定期清洗冷阱。4、拆卸氦质谱检漏仪部件后，安装时要避免安装处出现泄漏。5、适时对氦质谱检漏仪可能出现的泄漏处(如放气阀)进行清洗，排除漏点。氦检仪成功应用于调节阀中的气路管道检漏,经过检漏后的调节阀普遍应用于电厂、生物制药、化工等行业。南京推车式氦质谱检漏仪报价
氨质谱检漏仪在许多领域里得到普遍的应用。合肥推车式氦质谱检漏仪
影响氦检仪灵敏度的因素有哪些？氦检仪检漏时，产生测量误差的主要来源主要包括8个方面：第1，氦检仪在校准灵敏度时，标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同，即，标准漏孔与被检漏孔至氦检仪的距离相差太大，漏入氦气在途中损失不相等，这会导致经二者进入氦检仪的氦气量可比性差。第二，进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等，或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算，这时也会产生漏率测量误差。第三，所用标准漏孔的标称漏率有误差。第四，氦检仪输出指示与漏率的线性关系差。第五，校准灵敏度或用比较法确定漏孔漏率时，所用标准漏孔与被检漏孔的气流特性不同。第六，氦检仪的性能不稳定。第七，氦气纯度不稳定或存在误差。第八，之后也就是检漏操作人员的因素，包括素质、责任心、技术水平以及工作经验等。氦检仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度高，用得普遍的氦检仪器。合肥推车式氦质谱检漏仪
