氦质谱检漏仪的灵敏度，通常指仪器的可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于较佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的漏孔漏率。所谓“较佳工作条件”是指仪器参数调整到稳定值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“可检率”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min内输出仪表的较大的波动量，能较方便地估计检漏效果。氦检仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器。江苏真空氦质谱检漏仪哪家好
氦检仪在无源器件中的检漏应用：无源器件检漏原因：光无源器件是光纤通信设备的重要组成部分，也是其它光纤应用领域不可缺少的元器件。具有高回波损耗、低插入损耗、高可靠性等特点。光无源器件对密封性的要求极高，如果存在泄漏会影响其使用性能和精度，光通信行业的漏率标准是小于5×10-8mbar.l/s，因此需要进行泄漏检测。氦质谱检漏法利用氦气作为示踪气体可精确定位，定量漏点，替代传统泡沫检漏和压差检漏，目前已普遍应用于光无源器件的检漏。光无源器件检漏方法：由于无源器件体积小，且无法抽真空或直接充入氦气，我们采用“背压法”检漏，具体做法如下。1.将被检无源器件放入真空保压罐，压力和时间根据漏率大小设定。2.取出无源器件，使用空气或氮气吹扫表面氦气。3.将无源器件放入真空测试罐，测试罐连接氦检仪。4.启动氦检仪，开始检漏。杭州小型氦质谱检漏仪原理氦检仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。
氦检仪在使用过程中需特别注意以下几点：①使用的电源电压要在额定的电压范围之内，电压过低仪器启动困难，且性能不稳定，电压过高会烧坏电源，严重时还会烧毁母板的电路板和分子泵，应连接稳压电源(UPS)。②仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中，若搬动氦检仪，容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。③氦检仪应按照说明书的要求定期进行保养，保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。④氦检仪在运行了2000h后应对前级泵进行维修和保养，运行7000h分子泵进行维护和保养。
氦检仪漏率的校准方法：一、环境条件，校准环境温度为(23±5)℃，校准过程中室温变化不超过±1℃，环境相对湿度不大于80%。校准设备周围应无明显的温差、气流和强电磁场等外部干扰。环境温度较好控制在23℃附近，因为标准漏孔的出厂标称漏率对应的环境温度一般为23℃。二、标准器的选择，标准器采用渗氦型标准漏孔，漏率标称值在(10-6～10-10)Pa·m3/s，不确定度不大于10%。精密玻璃温度计，测量范围(0～50)℃，不确定度U=0.04℃，k=2。氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术。
氦质谱检漏仪检漏时，产生测量误差的主要来源主要包括几个方面：一、氦质谱检漏仪在校准灵敏度时，标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同，即，标准漏孔与被检漏孔至检漏仪的距离相差太大，漏入氦气在途中损失不相等，这会导致经二者进入检漏仪的氦气量可比性差。二、进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等，或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算，这时也会产生漏率测量误差。三、所用标准漏孔的标称漏率有误差。四、氦质谱检漏仪输出指示与漏率的线性关系差。氦检仪的示踪气体也可以是其他元素，但通常选用氦气。宁波多功能氦质谱检漏仪报价
氦检仪整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。江苏真空氦质谱检漏仪哪家好
氦质谱检漏仪的保养注意事项：1.如果仪器不是每天使用，建议每周开机检查一下，使仪器高真空系统保持真空，缩短仪器使用时的开机时间2.拆卸仪器部件（如离子源）后，安装时要避免安装部位出现泄漏，可用仪器进行自身检漏。3.适时对仪器可能出现的泄漏处（如放气阀等）进行自身检漏，发现漏点后要及时取下清洗或固紧，以免在检漏时干扰检漏工作。4.氦质谱检漏仪维修每隔一段时间保养油泵。（散热口灰尘处理，和泵油的检查更换）。5.禁止任何外来物掉在或洒在氦质谱检漏仪上，尤其是进气口中，由于氦质谱检漏仪为高精度精密仪器，其存放和使用环境要保持干净、卫生。江苏真空氦质谱检漏仪哪家好
