氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到只对氦气反应的工作状态)的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。氦质谱检漏仪灵敏度降低怎么维护？南京小型氦质谱检漏仪生产厂家
使用氦检仪需注意哪些问题？响应时间与清理时间:正常运行的仪器响应时间与清理时间不应大于3s。氦检仪的响应时间会影响检漏工作的速度:检漏时喷有在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍,该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间,即为两次喷氦的较小间隔时间,当然真空系统越庞大,该间隔时间也越长。根据经验,两次喷氦的较小间隔时间控制在30s,如果第1次喷氦后30s内氦检仪还没有反应,则可进行第二次喷氦。仪器的清理时间在理论上与响应时间相同,但由于仪器零件对氦的吸附和脱附作用的影响,清理时间一般要更长些。另外,喷氦量的多少也影响清理时间的长短,喷氦时喷头移动速率合理,可以缩短仪器的清理时间,提高检漏效率。南京小型氦质谱检漏仪生产厂家不同型号的氦检仪其真空系统有较大的差别。
氦质谱检漏仪常见的几种检漏法：1、负压法检漏，负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口，连续向可疑的漏孔喷射示踪气体，示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。根据产品的不同，需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具。2、压氦法检漏，压氦法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中，然后连至检漏仪将其抽空，示踪气体通过漏孔泄漏出来，经检漏仪检测总泄漏量。一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。
氦质谱检漏仪原理：氦质谱检漏仪是基于质谱法原理，以氦气作为检漏的仪器。质谱仪由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离计、气体萃取系统和电气部分组成。质谱法室中灯丝发射的电子在室内来回振荡，与室内气体碰撞，氦气泄漏进入室内，电离成正离子，正离子在加速电场的作用下进入人体磁场，当洛伦兹力效应偏转时，电弧形成，加速电压的变化使不同质量的离子通过磁场和接收槽到达接收极而被探测到。氦气喷射法和氦气吸收法是电阻炉氦质谱检漏仪常用的两种检漏方法。氦质谱检漏仪正朝着高灵敏度、便携式、自动化、宽量程、无油系统等先进方向发展。氦检仪普遍应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。
氦检仪具有性能稳定、灵敏度高的特点。灵敏度、反应时间、清零时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦检仪的主要性能指标。检测气体使用氦气的主要原因如下：(1)对人体和自然环境没有毒害；(2)不能燃烧，作业安全；(3)惰性气体，和被检测对象不会发生化学反应；(4)分子直径和质量小，容易穿过微小缝隙，便于检漏；(5)通常环境下保持气体状态，不会堵住微漏孔；(6)真空腔体自身放出的气体中几乎不包含氦气；(7)氦气在空气中的存在量只为5ppm，容易定点查清漏气位置。由于氦气比空气轻很多，向真空腔体喷氦气检漏时要从上往下依次操作，否则不利于判定漏点所在。当腔体构造复杂，或漏率极小时，可针对重点部位用塑料袋套住，然后向塑料袋内部充入氦气，实现对特定重点部位的检漏。掌握和了解氦质谱检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。宁波分体式氦质谱检漏仪特点
由于氦质谱检漏仪仪为高精度精密仪器，其存放和使用环境要保持干净、卫生。南京小型氦质谱检漏仪生产厂家
随着汽车工业的快速发展，汽车空调工业对使用氦质谱检漏仪,氦检仪,检漏仪进行氦检的需求越来越大，对氦质谱检漏仪,氦检仪,检漏仪的氦检性能指标的要求也越来越高。针对汽车空调蒸发器、冷凝器、压缩机、储液罐和管路等零部件的检漏要求和特点，上海睿德励柯仪器仪表有限公司做了如下设计：独特的氦质谱检漏仪,氦检仪,检漏仪气路设计，提高了对氦的抽速，缩短了清氦本底时间，有效防止氦污染。氦检仪是一种对比性测试仪器，其工作原理是电离进入质谱室的氦分子，轰击靶心，放大，通过电流分析氦分子的数量！进入质谱室的氦分子比例（分离比），电气参数不同，电流相同，泄漏率可能不同；或泄漏率不同，电流相同；所有泄漏检测仪本身不知道放大电流对应的泄漏率，需要参照物，这个参照物就是标准漏孔。氦质谱检漏仪,氦检仪,检漏仪检漏口配置：定制精密过滤设备，能有效防止杂物颗粒或铜粉进入仪器。多模式功能输入、导出，便于连接各种自动化机械。机械与电路有效分离，避免温度、磁场等相互影响，使检漏仪运行更加平稳可靠。蕞小可测漏率低，灵敏度高，检验量程达到12级。降低成本。南京小型氦质谱检漏仪生产厂家
