x-y工作台的维护与保养:无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台,x-y向工作台都是其很重心的部分。有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是x-y工作台的故障,而工作台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的,所以对工作台的维护与保养就显得尤为重要。现在只对自动探针测试台x-y工作台的维护与保养作一介绍。平面电机x-y步进工作台的维护与保养:平面电机由定子和动子组成,它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开,定子是基础平台,动子和定子间有一层气垫,动子浮于气垫上,而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台,由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损,使用寿命长。上海勤确科技有限公司敢于承担、克难攻坚。四川手动探针台供应商

手动探针台规格描述(以实验室常见的仪准ADVANCED八寸,六寸探针台为例):探针台载物台平整度:5μm探针台右侧标配显微镜升降机构,可抬高显微镜,便于更换镜头和换待测物探针台左侧标配升降器,可快速升降台面8mm,并具备锁定功能探针台右下方标配精调旋转轮,可微调控制台面升降范围25mm(客户有特殊需求,可以增大范围),精度1μm6英寸或者8英寸载物盘可选,卡盘平整度:5μm,采用真空吸附方式,中心孔径250μm-1mm定制卡盘可0-360度旋转,旋转角度可微调,微调精度为0.1度,标配角度锁定旋钮大螺母可控制载物盘X-Y方向的移动,移动范围为150mmor200mm,移动精度为1μm载物台具备快速导入导出功能。河北高温探针台机构尽管随着探针压力的增强,接触电阻逐渐降低,终它会达到两金属的标称接触电阻值。

探针台可以固定晶圆或芯片,并精确定位待测物。手动探针台的使用者将探针臂和探针安装到操纵器中,并使用显微镜将探针尖锐端放置到待测物上的正确位置。一旦所有探针尖锐端都被设置在正确的位置,就可以对待测物进行测试。对于带有多个芯片的晶圆,使用者可以抬起压盘,压盘将探针头与芯片分开,然后将工作台移到下一个芯片上,使用显微镜找到精确的位置,压板降低后下一个芯片可以进行测试。半自动和全自动探针台系统使用机械化工作台和机器视觉来自动化这个移动过程,提高了探针台生产率。
手动探针台应用领域:Failureanalysis集成电路失效分析;Waferlevelreliability晶元可靠性认证;Devicecharacterization元器件特性量测;Processmodeling塑性过程测试(材料特性分析);ICProcessmonitoring制成监控;PackagepartprobingIC封装阶段打线品质测试;Flatpanelprobing液晶面板的特性测试;PCboardprobingPC主板的电性测试;ESD&TDRtestingESD和TDR测试;Microwaveprobing微波量测(高频);Solar太阳能领域检测分析;LED、OLED、LCD领域检测分析。上海勤确科技有限公司追求客户的数量远不是我们的目的。

探针台是半导体(包括集成电路、分立器件、光电器件、传感器)行业重要的检测装备之一,其普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台用于晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测试环节,负责晶圆的输送与定位,使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。在半导体器件与集成电路制造工艺中,从单晶硅棒的制取到终器件制造的完成需经过复杂的工序,可分为前道工序与后道工序,探针台是检测半导体芯片的电参数、光参数的关键设备。经过检测,探针台将参数特性不符合要求的芯片记录下来,在进入后序工序前予以剔除,降低器件的制造成本。探针台主要应用于半导体行业以及光电行业的测试。黑龙江温控探针台价格
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半自动型:chuck尺寸800mm/600mm;X,Y电动移动行程200mm/150mm;chuck粗调升降9mm,微调升降16mm;可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜;针座摆放个数6~8颗;显微镜X-Y-Z移动范围2"x2"x2";可搭配Probecard测试;适用领域:8寸/6寸Wafer、IC测试之产品。电动型:chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不锈钢或镀金);X,Y电动移动行程300mmx300mm;chuck粗调升降9mm,微调升降16mm,微调精度土1u;可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜;针座摆放个数8~12颗;显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“;材质:花岗岩台面+不锈钢;可搭配Probecard测试;适用领域:12寸Wafer、IC测试之产品。四川手动探针台供应商