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美国MKS控制器产品技术数据①比较大工作出口压力:200托②比较大允许出口压差:50托(Q1和Q2之间)③正常工作压差:<150托(对于10000/10000,<450托)(N2)④证明压力:1000磅/平方英寸⑤爆破压力:1500磅/平方英寸⑥输入流量范围:每个通道的5到100%满量程额定值(N2等效)⑦比率控制范围:1:1到20:1和20:1到1:1⑧比率精度:比率设定点的2%⑨典型精度:比率设定点的0.3%⑩比率重复性和再现性:通道满量程的0.02%⑪零温度系数:0.05%满量程/°C⑫跨度温度系数:0.08%读数/°C⑬热身时间:30分钟⑭工作温度:10至40°C6、美国MKS控制器产品部分型号①美国MKS控制器DELTA™IV4②美国MKS控制器DELTA™II③美国MKS控制器DLT2A2④美国MKS控制器DLT2B⑤美国MKS控制器DLT2A1⑥美国MKS控制器DLT3B⑦美国MKS控制器DLTNA3德国COAX电磁阀 RMQ20(548778)流量控制阀RMQ32德国COAX电磁阀 518455 RMQ 32 95 32 111/2DC 63 RM10PC,RM15PC,RM20.

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