UV膜残胶导致芯片贴装失效。中清航科研发酶解清洗液,在50℃下选择性分解胶层分子链,30秒清理99.9%残胶且不损伤铝焊盘,替代高污染溶剂清洗。针对3D NAND多层堆叠结构,中清航科采用红外视觉穿透定位+自适应焦距激光,实现128层晶圆的同步切割。垂直对齐精度±1.2μm,层间偏移误差<0.3μm。中清航科绿色方案整合电絮凝+反渗透技术,将切割废水中的硅粉、金属离子分离回收,净化水重复利用率达98%,符合半导体厂零液体排放(ZLD)标准。

8 英寸晶圆在功率半导体、MEMS 等领域仍占据重要市场份额,中清航科针对这类成熟制程开发的切割设备,兼顾效率与性价比。设备采用双主轴并行切割设计,每小时可加工 40 片 8 英寸晶圆,且通过优化机械结构降低振动噪声至 65 分贝以下,为车间创造更友好的工作环境,深受中小半导体企业的青睐。晶圆切割工艺的数字化转型是智能制造的重要组成部分。中清航科的切割设备内置工业物联网模块,可实时采集切割压力、温度、速度等 100 余项工艺参数,通过边缘计算节点进行实时分析,生成工艺优化建议。客户可通过云端平台查看生产报表与趋势分析,实现基于数据的精细化管理。宁波碳化硅半导体晶圆切割代工厂切割冷却液在线净化装置中清航科研发,杂质浓度自动控制<1ppm。

在碳化硅晶圆切割领域,由于材料硬度高达莫氏 9 级,传统切割方式面临效率低下的问题。中清航科创新采用超高压水射流与激光复合切割技术,利用水射流的冷却作用抑制激光切割产生的热影响区,同时借助激光的预热作用降低材料强度,使碳化硅晶圆的切割效率提升 3 倍,热影响区控制在 10μm 以内。晶圆切割设备的可靠性是大规模生产的基础保障。中清航科对中心部件进行严格的可靠性测试,其中激光振荡器经过 10 万小时连续运行验证,机械导轨的寿命测试达到 200 万次往复运动无故障。设备平均无故障时间(MTBF)突破 1000 小时,远超行业 800 小时的平均水平,为客户提供稳定可靠的生产保障。
中清航科兆声波清洗技术结合纳米气泡喷淋,去除切割道深槽内的微颗粒。流体仿真设计使清洗液均匀覆盖15:1深宽比结构,残留物<5ppb,电镜检测达标率100%。中清航科推出刀片/激光器租赁服务:通过云平台监控耗材使用状态,按实际切割长度计费。客户CAPEX(资本支出)降低40%,并享受技术升级,实现轻资产运营。中清航科VirtualCut软件构建切割过程3D物理模型,输入材料参数即可预测崩边尺寸、应力分布。虚拟调试功能将新工艺验证周期从3周压缩至72小时,加速客户产品上市。中清航科绿色切割方案:冷却液循环利用率达95%,激光系统能耗降低30%(对比行业均值)。碳足迹追踪平台量化每片晶圆加工排放,助力客户达成ESG目标,已获ISO 14064认证。中清航科联合高校成立切割技术研究院,突破纳米级切割瓶颈。

晶圆切割是半导体封装的中心环节,传统刀片切割通过金刚石砂轮实现材料分离。中清航科研发的超薄刀片(厚度15-20μm)结合主动冷却系统,将切割道宽度压缩至30μm以内,崩边控制在5μm以下。我们的高刚性主轴技术可适配8/12英寸晶圆,切割速度提升40%,为LED、MEMS器件提供经济高效的解决方案。针对超薄晶圆(<50μm)易碎裂难题,中清航科激光隐形切割系统采用红外脉冲激光在晶圆内部形成改性层,通过扩张膜实现无应力分离。该技术消除机械切割导致的微裂纹,良率提升至99.3%,尤其适用于存储芯片、CIS等器件,助力客户降低材料损耗成本。中清航科推出切割机租赁服务,降低客户初期投入成本。淮安半导体晶圆切割宽度
晶圆切割培训课程中清航科每月开放,已认证工程师超800名。连云港碳化硅半导体晶圆切割代工厂
对于高价值的晶圆产品,切割过程中的追溯性尤为重要。中清航科的切割设备内置二维码追溯系统,每片晶圆进入设备后都会生成单独的二维码标识,全程记录切割时间、操作人员、工艺参数、检测结果等信息,可通过扫码快速查询全流程数据,为质量追溯与问题分析提供完整依据。在晶圆切割的边缘处理方面,中清航科突破传统工艺限制,开发出激光倒角技术。可在切割的同时完成晶圆边缘的圆弧处理,倒角半径可精确控制在 5-50μm 范围内,有效减少边缘应力集中,提高晶圆的机械强度。该技术特别适用于需要多次搬运与清洗的晶圆加工流程。连云港碳化硅半导体晶圆切割代工厂