中清航科注重与科研机构的合作创新，与国内多所高校共建半导体切割技术联合实验室。围绕晶圆切割的前沿技术开展研究，如原子层切割、超高频激光切割等，已申请发明专利50余项，其中“一种基于飞秒激光的晶圆超精细切割方法”获得国家发明专利金奖，推动行业技术进步。晶圆切割设备的软件系统是其智能化的中心，中清航科自主开发了切割控制软件，具备友好的人机交互界面与强大的功能。支持多种格式的晶圆版图文件导入，可自动生成切割路径，同时提供离线编程功能，可在不影响设备运行的情况下完成新程序的编制与模拟，提高设备利用率。采用中清航科激光隐形切割技术，晶圆分片效率提升40%以上。江苏碳化硅线晶圆切割划片厂
随着半导体市场需求的快速变化，产品迭代周期不断缩短，这对晶圆切割的快速响应能力提出更高要求。中清航科建立了快速工艺开发团队，承诺在收到客户新样品后72小时内完成切割工艺验证，并提供工艺报告与样品测试数据，帮助客户加速新产品研发进程，抢占市场先机。晶圆切割设备的操作安全性至关重要，中清航科严格遵循SEMIS2安全标准，在设备设计中融入多重安全保护机制。包括激光安全联锁、急停按钮、防护门检测、过载保护等，同时配备安全警示系统，实时显示设备运行状态与潜在风险，确保操作人员的人身安全与设备的安全运行。江苏碳化硅线晶圆切割划片厂针对碳化硅晶圆，中清航科激光改质切割技术突破硬度限制。
面向磁传感器制造，中清航科开发超导磁悬浮切割台。晶圆在强磁场（0.5T）下悬浮，消除机械接触应力，切割后磁畴结构畸变率<0.3%，灵敏度波动控制在±0.5%。中清航科电化学回收装置从切割废水中提取金/铜/锡等金属，纯度达99.95%。单条产线年回收贵金属价值超$80万，回收水符合SEMIF78标准，实现零废液排放。针对HJT电池脆弱电极层，中清航科采用热激光控制技术（LCT）。红外激光精确加热切割区至200℃，降低材料脆性，电池效率损失<0.1%，碎片率控制在0.2%以内。
为满足汽车电子追溯要求，中清航科在切割机集成区块链模块。每片晶圆生成单独工艺参数数字指纹（含切割速度、温度、振动数据），直通客户MES系统，实现零缺陷溯源。面向下一代功率器件，中清航科开发等离子体辅助切割（PAC）。利用微波激发氧等离子体软化切割区材料，同步机械分离，切割效率较传统方案提升5倍，成本降低60%。边缘失效区（EdgeExclusionZone）浪费高达3%晶圆面积。中清航科高精度边缘定位系统通过AI识别有效电路边界，定制化切除轮廓，使8英寸晶圆可用面积增加2.1%，年省材料成本数百万。中清航科切割机远程诊断系统，故障排除时间缩短70%。
晶圆切割/裂片是芯片制造过程中的重要工序，属于先进封装(advancedpackaging)的后端工艺(back-end)之一，该工序可以将晶圆分割成单个芯片，用于随后的芯片键合。随着技术的不断发展，对高性能和更小型电子器件的需求增加，晶圆切割/裂片精度及效率控制日益不可或缺。晶圆切割的重要性在于它能够在不损坏嵌入其中的精细结构和电路的情况下分离单个芯片，成功与否取决于分离出来的芯片的质量和产量，以及整个过程的效率。为了实现这些目标，目前已经开发了多种切割技术，每种技术都有其独特的优点和缺点。中清航科多轴联动切割头，适应曲面晶圆±15°倾角加工。扬州半导体晶圆切割刀片
中清航科推出切割废料回收服务，晶圆利用率提升至99.1%。江苏碳化硅线晶圆切割划片厂
随着Chiplet技术的兴起，晶圆切割需要更高的位置精度以保证后续的异构集成。中清航科开发的纳米级定位切割系统，采用气浮导轨与光栅尺闭环控制，定位精度达到±0.1μm，配合双频激光干涉仪进行实时校准，确保切割道位置与设计图纸的偏差不超过0.5μm，为Chiplet的高精度互联奠定基础。中清航科深谙半导体设备的定制化需求，可为客户提供从工艺验证到设备交付的全流程服务。其技术团队会深入了解客户的晶圆规格、材料特性与产能要求，定制专属切割方案，如针对特殊异形Die的切割路径优化、大尺寸晶圆的分片切割策略等，已成功为多家头部半导体企业完成定制化项目交付。江苏碳化硅线晶圆切割划片厂
