在真空镀膜机腔体内，真空计测量是一项关键技术，它涉及使用专为这一目的设计的仪器和装置，即真空计，来测定特定空间内的真空度。真空测量分为***真空计和相对真空计。***真空计直接测量物理参数以确定气体压强，如U型压力计和压缩式真空计，它们不受气体成分影响，测量准确度高，但在极低气体压强下直接测量变得困难。相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比得出压强值，如放电真空计、热传导真空计和电离真空计等。这类真空计的测量准确度稍逊于***真空计，且结果可能受气体种类影响。在实际应用中，特别是在非校准场合，相对真空计更为常见。电容薄膜真空计是一种绝压、全压测量的真空计。EDKORS真空计平台
半导体管特性图示仪校准仪校准规范》征求意见稿发布 半导体管特性图示仪校准仪是校准半导体管特性图示仪的**校准仪器。目前主要有两种类型：阶梯归一化图示仪校准仪和阶梯采样测量图示仪校准仪。9月29日，全国无线电计量技术委员会发布了《半导体管特性图示仪校准仪校准规范》征求意见稿，并向全国的计量机构、科研院所等单位征求意见。该规范根据一系列计量准则制定，对仪器的术语、校准规范、校准方法等进行规范，有助于该仪器测量过程中规范使用，真空计保证测量数据的准确性。优势真空计配件真空计测量范围压力测量中，除极少数直接测量外，绝大多数是间接测量。
冷阴极真空计（ColdCathodeGauge，如潘宁计）原理：基于高压电场与磁场协同作用下的气体放电效应。结构包含两个阴极和一个阳极，外加轴向磁场。高压电场使阴极发射电子，电子在磁场中螺旋运动，增加与气体分子的碰撞概率，导致电离。电离产生的正离子被阴极捕获，形成离子电流，其大小与气体分子密度成正比。特点：量程：通常为10−6Torr至10−3Torr，适合中高真空。优点：无加热元件，结构简单、寿命长。对振动不敏感（适合航天等恶劣环境）。局限性：低真空下响应慢（需足够残余气体维持放电）。测量结果可能受磁场均匀性影响。本质区别总结类型**物理效应信号来源适用量程对气体种类敏感性皮拉尼计热传导效应金属丝电阻变化低真空至中真空高（需校准）热阴极电离计气体电离效应离子电流高真空至超高真空低（可忽略）冷阴极计（潘宁）高压电场+磁场放电效应离子电流中高真空低。
真空计用于测量真空度或低于大气压的稀薄气体的气压，是一种使用***的仪表。真空计的种类有很多，适用范围也各有不同。掌握常见的真空计种类有利于正确选择真空计类型。真空计可分为***真空计和相对真空计两大类。一、***真空计能从液柱高度、比重等本身测得的物理量直接计算出气体压力的真空计。***真空计测量精度较高，主要用作基准量具。原理：在U字形的玻璃管中充以工作液(低蒸气压的油、汞)。管的一端与待测压力的真空容器相连，另一端是封死的或开口与大气相通。根据两边管中的压差所造成的液柱差可测出被测真空系统的压力。测量范围：粗真空(105～102帕)、低真空(102～10-1帕)2.压缩式真空计(麦克劳真空计)原理：把待测压强气体的一部分进行隔离并加以压缩，直到压强增大到可以直接测量的程度。 真空计(Vacuum gauge)是测量低于一个大气压力的气体或蒸气压力的仪器。
《（自动）核酸提取仪校准规范》征求意见稿发布 真空计核酸提取仪，是应用配套的核酸提取试剂来自动完成样本核酸的提取工作的仪器。随着生物分子工作领域的飞速发展，相关分离纯化工作量也逐渐增加，对核酸提取仪的应用也更加***。基于此，全国生物计量技术委员会发布了《（自动）核酸提取仪校准规范》征求意见稿，并面向全国的并面向全国的计量技术机构、科研院所以及相关的行业企业征求意见。作为***发布的规范，它主要适用于（自动）核酸提取仪的校准。真空计是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化气压的测量。在科研和工业生产中使用。煤安矿用真空计专卖店
掌握常见的真空计种类有利于正确选择真空计类型。EDKORS真空计平台
热传导真空计是一种测量低真空的真空计，顾名思义，就是利用热量变化来测量真空的仪器。它的原理就是将一根金属丝通电加热，由于气体分子的运动会带走一部分热量，因此达到热平衡时温度越高，就说明气体导走的热量越少，气体分子密度越小，也就是压强越低，真空度越高。电离真空计是目前采用**广的真空计，是一种测量高真空的真空计，只有在真空抽到一定量级时才可以打开。它的工作原理为：具有足够能量的电子与气体分子碰撞，使气体分子电离，产生正离子和电子；电子在运动过程中与分子碰撞的次数正比于分子数密度，也即压强P，因此产生的正离子数就正比于压强P，可以通过测量正离子的多少来标定真空度的高低。EDKORS真空计平台
