北京超小水导激光加工刻蚀系统

涡轮叶片不 要承受高温，还要承受巨大的离心力和气动载荷，其叶身表面分布着大量形状各异的气膜孔——圆形、扇形、水滴形等，以优化气膜覆盖效果。这些异形孔的加工，对设备的灵活性和精度提出了极高要求。中科煜宸水导激光五轴联动加工设备凭借其高自由度、高精度的优势，可轻松完成各种复杂型孔的加工。中科煜宸RJ505水导激光加工机床采用五轴联动设计，激光头可在多个方向同步运动，实现激光束与材料表面的完美角度匹配。无论是带有复合角度的斜孔，还是变截面异形孔，中科煜宸水导激光都能一次装夹、准确完成。这不 大幅提高了加工效率，更保证了气膜孔的尺寸精度和位置精度，为航空发动机涡轮气动设计的优化提供了工艺保障。中科煜宸十余年深耕激光智造，铸就金属增材与激光制造全系列产品矩阵。北京超小水导激光加工刻蚀系统

在半导体制造的后道封装环节，晶圆的划片切割直接影响芯片的成品率和封装成本。随着芯片制程不断微缩、晶圆尺寸不断增大，对划片精度的要求已提升至亚微米级，对切割损伤的控制则近乎零容忍。中科煜宸水导激光加工技术凭借其无热损伤、无机械应力、切割线宽细的优势，成为高精尖晶圆划片的理想选择。中科煜宸在单晶硅水导激光加工方面拥有“双重支撑技术”、“柔性介质耦合技术”等关键技术，确保了中科煜宸水导激光在晶圆划片中的优异表现。加工后的晶圆切割边缘光滑无崩边、无微裂纹、无热影响区，芯片良率明显提升。无论是硅晶圆、碳化硅晶圆还是砷化镓晶圆，中科煜宸水导激光都能实现高质量、高效率的划片切割。苏州无热影响水导激光加工打孔模块化设计赋予高升级空间，水导激光设备可适配技术发展与需求变化。

柔性电路板（FPC）在智能手机内部承担着信号连接的关键角色，其切割质量直接影响整机可靠性。传统冲切易产生毛刺和边缘碳化，紫外激光切割则可能因热积累导致基材与铜箔分层。中科煜宸水导激光利用水流的持续冷却，在切割FPC时完全避免了热影响，切缘整齐，无碳化、无分层、无毛刺。水流同时清洗切割面，确保电路边缘洁净，绝缘性能优良。该技术还支持高密度、复杂形状FPC的快速成型，为3C产品向更轻薄、内部结构更紧凑的方向发展提供了可靠的精密加工保障。

单晶硅作为半导体产业的基础材料，其切割加工质量直接影响芯片的性能和良率。中科煜宸水导激光加工技术在单晶硅加工领域展现出明显优势。传统激光切割单晶硅时，热影响区大、边缘崩边严重、微裂纹难以避免，严重影响后续工艺。而中科煜宸水导激光技术利用水射流的持续冷却作用，将热影响区控制在极小范围内，加工边缘光滑无崩边，几乎不产生微裂纹。采用中科煜宸“基于双重支撑的单晶硅水导激光加工系统”，从底部用透明玻璃支撑单晶硅片，让加工激光顺利逸散，保护了工件完整性。这一技术不 适用于单晶硅的划片切割，还可用于晶圆减薄、通孔成型等多种工艺，为半导体制造提供了全新的精密加工解决方案。硬脆材料加工迎来突破，水导激光实现陶瓷、金刚石复杂形状精细切割无裂纹。

金刚石作为自然界超硬的材料，其精密加工一直是行业难题。中科煜宸开发的“水导激光加工金刚石盲槽工艺”，通过多角度补偿技术实现了金刚石盲槽的高质量加工。该工艺不 能优化激光入射角，减少散射效应，提升槽壁光滑度，还可避免因为单一方向加工引发的周期性纹路与缺陷。动态角度调整使激光焦点与材料表面始终匹配，有效减轻深度增加导致的能量衰减问题，确保深槽底部均匀加工。同时，多角度加工改善热分布，降低热堆积对材料性能的影响，并优化水导流场，增强加工稳定性。采用中科煜宸水导激光多角度补偿工艺加工的金刚石盲槽，槽壁光滑、无微裂纹、深径比高，完全满足精密模具和刀具的应用要求。在加工高反射性的铜、金等金属时，水导激光展现出优越的稳定性和效率，切口无氧化且毛刺极少。南京消费电子部件水导激光加工刻蚀系统

碳纤维复合材料加工告别分层毛刺，水导激光加工效率是传统方式的3倍以上。北京超小水导激光加工刻蚀系统

钨、钼、钽、铌等稀有金属合金材料具有熔点高、硬度大的特点，在航空航天、电子信息、医疗等领域有着不可替代的应用，但其加工难度极大。传统机械加工工具损耗严重、效率低下；普通激光加工则因热积累严重导致材料氧化、变形。中科煜宸水导激光加工技术为这些难加工材料提供了理想的解决方案。水射流的持续冷却有效抑制了热积累，防止了材料氧化；激光能量的高效去除保证了加工效率。无论是钨合金的精密打孔，还是钽板的异形切割，中科煜宸水导激光都能够轻松应对。中科煜宸400W大功率水导激光设备能够切割更厚的难熔材料，满足大厚度工件的加工要求。中科煜宸水导激光技术正在帮助更多企业攻克稀有金属精密加工的技术难关。北京超小水导激光加工刻蚀系统

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