TS-300
TS系列产品中比较大的系列,比TS-140 / TS-150更大。
在公制(M6 x 25mm)或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。
频率
负载范围TS-300
负载范围TS-300LT
尺寸图
0,7-1000赫兹
0-300公斤
0-120公斤
600
x 800 x 120毫米
TS-300结合了久经考验的技术***性和优雅且用户友好的设计
TS-300的隔离始于0.7 Hz,超过10Hz时迅速增加至40dB
缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多
TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性
TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式
精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平
遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭” AVI系列可以在非常宽的频率范围内为激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。主动减振台隔振台大型半导体设备防震台应用
AVI600-S
AVI 600-S的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元,比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量,可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI
600-S适应用户特定的应用,可以使用不同长度的紧凑型装置。
AVI 600-S的隔离始于1,2 Hz,超过10HZ以上迅速增加至35 db
减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能
AVI 600-S系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性
AVI 600-S的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式
AVI 600-S紧凑型设备不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单,友好的处理概念-从而避免在设备上放置沉重的设备(例如SEM)时进行任何复杂的操作。
技术指标:
频率: 1.2-200 Hz
负载范围: 0-1200公斤
(单个): 600公斤 被动隔振频率隔振台学校会用吗实际测量的振动结果:AVI 主动隔振频率范围在 1.0Hz 到 200Hz之间。
LFS-3传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上,与标准AVI/LP系统结合使用在前馈回路中,以提高极低频时的隔振性能。LFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。下面的图显示了在AVI/LP系统上测量的垂直和水平隔离(可传输性),其具有和不具有LFS。用AVI-200 S/LP进行测量,增益设置为128(V)和150(H)。
输入电压:115/230V
AC,50-60Hz 功耗:比较大20瓦
频率范围:0.2-20Hz 尺寸传感器:255x245x107mm(长x宽x高)
电源尺寸:265x155x73mm(长x宽x高) 重量传感器:5.9kg
供电重量:1.6kg 应用:室内
防护等级:IP 20 温度范围 :5°C-40°C
相对湿度:10–90%(5–30°C)
水平X轴方向上的振动传递衰减,在承重时10hz的频率以上时,比较大可以达到-40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。
水平Y轴方向上的振动传递衰减,在承重时10hz的频率以上时,比较大可以达到-40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。
AVI系列产品在振动加速度上的隔振效果。
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。或者访问我们的官网。
LFS和AVI元件所在的支承面必须尽可能坚硬,以便在附近移动时不会明显倾斜。
AVI200-S
AVI 200-S的基本配置包括两个单个承载模块和一个控制单元,比较大可以负载400公斤。通过增加隔离模块的数量,可以轻松承受更高的负载。为了使AVI200-M适应用户特定的应用,可以按特殊顺序提供不同长度的单个模块。
AVI 200-M的隔离始于1,2 Hz,超过10HZ以上迅速增加至35 db
减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能
AVI 200-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性
AVI 200-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式
AVI 200-M隔振模块不需要任何大型工具即可安装。我们努力提供一种简单,友好的概念-避免在安装出现中比较复杂的过程
技术指标:
频率: 1.2-200 Hz
负载范围: 0-400千克(0-200千克单个元件) AVI 200-XL系统固有的刚性使得其有出色的方向性和位置稳定性。AVI隔振台优惠价格
***使用AVI系统时,将前面板隔离开关设置为关闭(黑色旋钮熄灭)。主动减振台隔振台大型半导体设备防震台应用
TS主动隔振台在3D空间的6个自由度中主动式隔振 从0.7 Hz 到100 Hz
在21世纪纳米技术(即先进的半导体**相关的信息技术,基因疗法等生命科学相关技术,原子或分子处理如MEMS和工程技术等新材料生产), 振动、噪声、电磁领域、热、湿度、干扰等是测量环境的抑 制因素。
在纳米技术中,为了获得可靠的结果,使用充气被动隔振台无法隔离低频振动,此时需要主动隔离。先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。它将有助于发展目前的技术和测量、创新和发展未知的技术。
装载设备:
扫描电子显微镜,如 AFM3D表面分析仪,激光显微镜,激光干涉仪,液体表面张力测量系统,显微硬度测量仪,
医疗检测设备等 主动减振台隔振台大型半导体设备防震台应用
岱美仪器技术服务(上海)有限公司坐落在金高路2216弄35号6幢306-308室,是一家专业的磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其相关配套服务,国际贸易、转口贸易,商务信息咨询服务 公司。目前我公司在职员工达到11~50人人,是一个有活力有能力有创新精神的高效团队。公司业务范围主要包括:[ "半导体工艺设备", "半导体测量设备", "光刻机 键合机", "膜厚测量仪" ]等。公司奉行顾客至上、质量为首、的经营宗旨,深受客户好评。公司凭着雄厚的技术力量、饱满的工作态度、扎实的工作作风、良好的职业道德,树立了优良的[ "半导体工艺设备", "半导体测量设备", "光刻机 键合机", "膜厚测量仪" ]形象,赢得了社会各界的信任和认可。