干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
干式真空泵的主要特点是:清洁环保:工作腔内无其他杂质,可获得清洁真空;真空度高:间隙设计和压缩方式良好。北京NEODRY 15E干式真空泵中国授权代理商

日本KASHIYAMA SDE90X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE90X |
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MAX排气速度(L/min) |
1300 |
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达到压力(Pa) |
1.3 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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消费电力(KW) |
1.3KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
370×557×690 |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDE90X主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 广州SDE1220干式真空泵维修浚和(上海)仪器有限公司KASHIYAMA干式真空泵现货促销中。

日本KASHIYAMA NEODRY 30E 技术参数以及配置清单
一、 NEODRY 30E技术参数:
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式样 |
NEODRY 30E |
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MAX排气速度(L/min) |
500 |
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达到压力(Pa) |
1 |
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电源电压 |
单相AC200-220V |
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外型尺寸WHL [mm] |
210×250×450 |
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吸气口 |
KF40 |
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噪声 |
≤60DB |
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排气口 |
KF25 |
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质量【kg】 |
25kg |
二、NEODRY30E 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
NEODRY 30E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选 |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
4 |
气振阀(选配) |
|
未包含 |
|
5 |
消音器(选配) |
|
未包含 |
|
6 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
日本KASHIYAMA MU20N18X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU20N18X |
|
MAX排气速度(L/min) |
30000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
1.0KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
1000×450×950 |
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质量【kg】 |
410kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU20N18X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
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未包含 |
设备原产地:日本 干式真空泵的无油环保特点成为了干式真空泵的主要卖点。

螺杆干式真空泵特征:
①可靠性高。螺杆式干式真空泵零部件少,没有易损件,因此它运转可靠,寿命长。
②操作维护方便。
③动力平衡性好。螺杆式干式真空泵没有不平衡的惯性力,机器可平稳地高速运行。
④适应性强。螺杆式干式真空泵具有强制输气的特点,在宽广的压力范围内能保持较高的抽速,排气量几乎不受排气压力的影响.
⑤多相混输。由于螺杆式干式真空泵转子齿面间留有微小间隙,因而可抽除腐蚀性、有毒、含有粉尘、可凝性蒸汽等多种气体。 浚和(上海)仪器有限公司就带您了解一下干式真空泵的特点。广州SDE1220干式真空泵维修
干式真空泵的主要特点都有哪些呢?北京NEODRY 15E干式真空泵中国授权代理商
但是由于干式真空泵运行时内部存在苛刻的热条件,所以使用上述耐腐蚀材料来处理腐蚀性介质对无油干式真空泵是不适合的。此外使用铁剂金属高镀镍涂层材质,一旦出现细微的裂纹就会导致材料产生迅速的电化学腐蚀。那么是不是只要特殊设计能可靠地控制温度的设备把腐蚀性介质保持在气相状态,没有离子形式存在是不是就不存在腐蚀了?答案是肯定的。该泵应用其自身先进的冷却系统,可以调整泵腔内及转子的温度,使之没有离子形式存在,全都气化,从而避免腐蚀。所以此螺杆干式真空泵转子采用不锈钢,不做任何涂层,降低了成本,增加了安全性能。 北京NEODRY 15E干式真空泵中国授权代理商
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日本KASHIYAMAMU600P/H干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:MU600P/HMAX排气速度(L/min):10000达到压力(Pa):0.5电源电压:3相AC200-220V消费电力(KW):0.95KW外型尺寸WHL[mm]:350×520×630质量【kg】:130kg二、配 置清单:序号描述数量备注1MU600P/H主机一台,电压AC三相200V1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本浚和(上海)仪器科技有限公司力于提供干式真空泵 ,欢迎您的来电...