日本KASHIYAMA SDE30N20干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE30N20 |
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MAX排气速度(L/min) |
50000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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消费电力(KW) |
3.3KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
450×950×1000 |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDE30N20主机一台 |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
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4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
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5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
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6 |
消音器(原厂件,选配) |
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未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
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未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 买日本KASHIYAMA干式真空泵选择浚和(上海)仪器有限公司。东莞KASHIYAMA干式真空泵中国授权代理商

日本KASHIYAMA SDE30M12TX干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE30M12TX |
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MAX排气速度(L/min) |
45000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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外型尺寸WHL [mm] |
500×960×1020 |
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE30M12TX主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
上海NEODRY 30E干式真空泵半导体、液晶行业用干式真空泵-KASHIYAMA.

日本KASHIYAMA SDE1220干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE1220 |
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MAX排气速度(L/min) |
20000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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外型尺寸WHL [mm] |
400×780×930 |
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE1220主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
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项 目 |
NeoDry Series Roots多段式干泵 |
涡旋式泵 |
||
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特 征 |
○ |
・采用多段Roots方式抽气部分无物理接触即使长时间运行也不会发生性能退化 |
△ |
・泵内滑动部的真空密封采用接触式的密封垫。因接触式密封会发生磨损。 |
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维护性 |
○ |
・基本免维护 |
△ |
・需要定期的密封垫O/H(每年) (根据具体使用,有需要频繁更换的可能。) |
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维护成本 |
○ |
・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。 ・更换部件很少,O / H费用便宜。 ・抽气部分无物理接触,无因磨损更换部件。 |
△ |
・每年需要维护。 ・密封垫贵 ・疏忽定期维护导致密封垫磨损加剧影响密封效果。另外回旋涡旋与固定涡旋接触,需要更换主要部件。 |
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水蒸气排气能力 |
○ |
・水蒸气排气能力高。 350g/hr/250g/hr (NeoDry36C/30C、15C) ・气镇阀对到达压力性能的影响小。 (有气镇阀时:2Pa以下) |
△ |
・泵结构上不适合水蒸气排气。 25g/day(1g/hr) 干式真空泵的优缺点您知道吗? |

日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
适合于一些比较苛刻的工艺,比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等
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式样 |
SDE120TX |
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ZUI大排气速度(L/min) |
1500 |
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达到压力(Pa) |
1.3 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
6.5KVA |
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吸气口 |
NW50 |
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排气口 |
NW40 |
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外型尺寸WHL [mm] |
280×299×550 |
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质量【kg】 |
151kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE120TX主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
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未包含 |
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日本KASHIYAMAMU600P/H干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:MU600P/HMAX排气速度(L/min):10000达到压力(Pa):0.5电源电压:3相AC200-220V消费电力(KW):0.95KW外型尺寸WHL[mm]:350×520×630质量【kg】:130kg二、配 置清单:序号描述数量备注1MU600P/H主机一台,电压AC三相200V1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本浚和(上海)仪器科技有限公司力于提供干式真空泵 ,欢迎您的来电...