干式螺杆真空泵选型

干式螺杆真空泵在其工作压力下，应能排走真空泵设备工艺过程中产生的全部气体量。

每种泵都有一定的工作压力范围，因而，泵的工作点应该选择在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。

干式螺杆真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。

选择真空机组：

了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸汽，有无颗粒灰尘、有无腐蚀性等。选择干式螺杆真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

干式螺杆真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响，若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

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有点真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的干式螺杆真空泵出口压力低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵，我们称之为真空泵机组，他能是真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵，由于不同的真空泵对抽除的气体要求 有不同的要求，例如：在一般情况下罗茨-旋片机组不适用于含有较多凝性气体的系统。无油涡旋真空泵选型。无油涡旋真空泵结构简单、具有较高的压缩比，在较宽的压力范围内有稳定的抽速，工作压力范围宽；动静涡旋盘之间间隙小、泄漏少，由于压缩腔容积的变化是连续的，因而驱动扭矩变化小，功率变化小,振动噪声低，可靠性高。这是其它类型的干式真空泵所不具备的。深圳NEODRY 60E干式真空泵维修浚和（上海）仪器有限公司为日本樫山工业干式真空泵中国区授权代理商。

日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单

一、 技术参数：

适合于一些比较苛刻的工艺，比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等

二、 配置清单：

KASHIYAMA Neodry7E真空泵技术参数

产品介绍：KASHIYAMA为客户降低真空泵使用成本付出长期不懈的努力，NeoDry Series小型空冷多级干式罗茨真空泵由此诞生。所抽气体为洁净空气或氮气时，维护周期长达三年。广泛应用于电子半导体、锂电池、医药生物、化学材料等领域。

主要参数：

1.  采用空冷式设计降温

2.  转子与内腔非接触式物理构造设计

3.  *Zui大排气速度110L/min

4.  极限真空泵5Pa(气镇阀关闭状态)

5.  选配气镇阀后，可排出水与有机溶液，Zui大水份处理量120g/hour

6.  *远程或联动输出端子

7.  电动机功率：0.4kW

8.  噪音小于65dB(A)

9.  吸气口径：NW25 排气口径：NW25

10. 重量 20KG

11. 电源电压 单相AC220V

12. 外尺寸：196W x 360L x 219Hmm

基本配置：

1.  主机 一台

2.  选程起动端子 一个

3.  电源线 1.5m 一根

4.  说明书 一本 Kashiyama Neodry36E小型风冷干式真空泵成为等离子清洗机制造商的新宠。

   干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

2013年止，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。 根据您的具体需求选择不同的干式真空泵系列。南京SDE1220干式真空泵维修

浚和（上海）仪器有限公司为KASHIYAMA干式真空泵中国地区客户提供现货。常州MU180X干式真空泵中国授权代理商

日本KASHIYAMA MU300X干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数：

二、 配置清单：

设备原产地：日本 

浚和(上海)仪器有限公司位于上海市，创立于2018-10-09。公司业务分为[ "真空泵", "喷雾干燥机", "培养箱", "等离子清洗机" ]等，目前不断进行创新和服务改进，为客户提供质量的产品和服务。公司从事仪器仪表多年，有着创新的设计、强大的技术，还有一批**的专业化的队伍，确保为客户提供质量的产品及服务。在社会各界的鼎力支持下，经过公司所有人员的努力，公司自2018-10-09成立以来，年营业额达到2000-3000万元。