苏州樫山干式真空泵「浚和仪器供应」

干式真空泵基本参数

产地
日本
品牌
KASHIYAMA
型号
Neodry 36E
是否定制
否

干式真空泵企业商机

日本KASHIYAMA NEODRY 7E 技术参数以及配置清单

一、 NEODRY 7E技术参数：

式样	NEODRY 7E
MAX排气速度（L/min）	110
达到压力（Pa）	1
电源电压	单相AC200-220V
外型尺寸WHL [mm]	196×219×360
吸气口	KF40
噪声	≤60DB
排气口	KF25
质量【kg】	54kg

二、NEODRY7E 配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	NEODRY 7E主机一台，电压AC三相200V或者单相200V可选	1	标配
2	电源线	1	标配
3	产品合格证	1	标配
4	气振阀（选配）		未包含
5	消音器（选配）		未包含
6	入口过滤器（选配）		未包含买干式真空泵找浚和（上海）仪器有限公司。苏州樫山干式真空泵

原产地：日本

日本KASHIYAMA SDE303X干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	SDE303X
MAX排气速度（L/min）	5000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V，380-480V
消费电力（KW）	1.5KW
外型尺寸WHL [mm]	400×905×760

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDE303X主机一台	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。东莞NEODRY 15E干式真空泵维修浚和（上海）仪器有限公司的干式真空泵产品种类繁多。

KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介（包括对功能的基本介绍）：

① SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸： W:400×H:905×L:760ＭＭ，MAX排气速度10000L/min，立式螺杆设计排气线路短，不容易发生卡死。转子材质为镍合金，防腐蚀能力优越,使用时内部温度高，适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。

2、系统组成：

1) 罗茨泵 (SDE120TX) 1

2) 机械增压泵(KMB603) 1

3) 电源盒 1

4) 操作手柄1

5) 连接件 1

6) 消音器(SR-19) 1

樫山真空集中了经半导体，液晶行业等所研发的技术，针对一般工业应用

开发了长时间运行也不会发生性能退化的小型空冷干泵NeoDry系列。

Ⅱ，特征

ⅰ）采用多段ROOTS方式（抽气部分为非物理性接触构造），

不会因长时间的运行导致设备性能下降。

ⅱ）保养周期长，因需更换的零件少，可降低后期保养费用。

iii ) 通过选购气镇阀，使设备具有水汽排气性能。

浚和（上海）仪器有限公司就带您了解一下干式真空泵的特点。

ⅳ）采用空气冷却，不需要冷却水。

完全电子智能化设计，可以很方便地多方位与DCS系统联接，通过Modem联接可以实现就地和远程控制；辅助模块的模块化设计可以满足大量的乃至是苛刻的流程的应用；设计可以满足不同的压力要求：压力比可高达 100,000:1 (吸入压力< 0.01 mbar 绝压)；吸气量可达1,000 m3/h (更大吸气量的泵在开发中，目前可用机械的增压泵与干式泵组合来满足对大的吸气量的要求)；噪音水平低于75Db(A)（噪音低于好轿车内部分贝）维修方便，可以快速和方便地拆卸和更换泵的内件。整机通过欧洲ATEX防爆条例认证。半导体、液晶行业用干式真空泵-KASHIYAMA.东莞NEODRY 15E干式真空泵维修

干式真空泵的不同系列会有不同的优势。苏州樫山干式真空泵

日本KASHIYAMA SDE30N20干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	SDE30N20
MAX排气速度（L/min）	50000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V，380-480V
消费电力（KW）	3.3KW
外型尺寸WHL [mm]	450×950×1000

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDE30N20主机一台	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。苏州樫山干式真空泵

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