干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

干式真空泵的好处有很多。深圳NEODRY 36E干式真空泵价格

日本KASHIYAMA SDE20M09X干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数：

二、 配置清单：

设备原产地：日本 

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。 南京SDL12E50干式真空泵代理商浚和（上海）仪器有限公司主营日本KASHIYAMA干式真空泵。

但是由于干式真空泵运行时内部存在苛刻的热条件，所以使用上述耐腐蚀材料来处理腐蚀性介质对无油干式真空泵是不适合的。此外使用铁剂金属高镀镍涂层材质，一旦出现细微的裂纹就会导致材料产生迅速的电化学腐蚀。那么是不是只要特殊设计能可靠地控制温度的设备把腐蚀性介质保持在气相状态，没有离子形式存在是不是就不存在腐蚀了？答案是肯定的。该泵应用其自身先进的冷却系统，可以调整泵腔内及转子的温度，使之没有离子形式存在，全都气化，从而避免腐蚀。所以此螺杆干式真空泵转子采用不锈钢，不做任何涂层，降低了成本，增加了安全性能。

KASHIYAMA Neodry7E真空泵技术参数

产品介绍：KASHIYAMA为客户降低真空泵使用成本付出长期不懈的努力，NeoDry Series小型空冷多级干式罗茨真空泵由此诞生。所抽气体为洁净空气或氮气时，维护周期长达三年。广泛应用于电子半导体、锂电池、医药生物、化学材料等领域。

主要参数：

1.  采用空冷式设计降温

2.  转子与内腔非接触式物理构造设计

3.  *Zui大排气速度110L/min

4.  极限真空泵5Pa(气镇阀关闭状态)

5.  选配气镇阀后，可排出水与有机溶液，Zui大水份处理量120g/hour

6.  *远程或联动输出端子

7.  电动机功率：0.4kW

8.  噪音小于65dB(A)

9.  吸气口径：NW25 排气口径：NW25

10. 重量 20KG

11. 电源电压 单相AC220V

12. 外尺寸：196W x 360L x 219Hmm

基本配置：

1.  主机 一台

2.  选程起动端子 一个

3.  电源线 1.5m 一根

4.  说明书 一本 樫山工业Neodry36E小型风冷干式真空泵成为等离子清洗机制造商的新宠。

两年的备品备件是标准的O型圈。从上至下的输送方式能可靠地处理夹带液体的湿气及粉尘，并且无需过滤器。比较好化的螺杆外形设计使功率消耗降到比较低，简单的设计可使泵腔在1小时内在现场全部解体，易于清洗维护。很多泵转子卡死的原因是吸入含有粉尘及结晶的物质、高温发生聚合的物质、热敏性物质的升华造成转子间的缝隙被堵死，另外一个原因是由于长期运转，转子会由于热胀冷缩而发生形变，造成泵的卡死。目前市面上的干泵多用夹套冷却水对转子进行冷却。 KASHIYAMA干式真空泵为日本原装进口干式真空泵。成都樫山干式真空泵

干式真空泵的各种系列应用领域还是不一样的。深圳NEODRY 36E干式真空泵价格

浚和(上海)仪器有限公司创立于2018-10-09，是一家贸易型公司。公司自成立以来，以质量为发展，让匠心弥散在每个细节，公司旗下真空泵，喷雾干燥机，培养箱，等离子清洗机深受客户的喜爱。公司注重以质量为中心，以服务为理念，秉持诚信为本的理念，打造仪器仪表质量品牌。在社会各界的鼎力支持下，持续创新，不断铸造***服务体验，为客户成功提供坚实有力的支持。