洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。 洁净室气密性、紫外辐射照度测试——上海蔚亚科技。江苏洁净工作台检测技术好
洁净室风量及换气次数检测的意义
洁净室的洁净度主要是靠送人足够量的洁净空气,以置换、稀释室内在生产过程中所散发的颗粒污染物来实现。同时依靠洁净室的风量平衡维持洁净室正(负)压,以避免不同级别的洁净区域之间颗粒污染物的无组织渗透。因此,洁净室或洁净设施的风量检测十分必要。
洁净室利用送人洁净空气稀释室内空气污染物,或利用排风带出室内空气污染物,排风的同时,靠送风补充室内空气,形成换气。风量越大,污染物排除越快。当污染物排出速率高于产生速率时,空气中污染物浓度减少,洁净度提高;当污染物排出速率与产生速率相等时,空气中污染物浓度维持不变,洁净度不变;当污染物排出速率低于产生速率时,空气中污染物浓度增加,洁净度下降。所以,要达到一定的洁净度,就必须保证足够的送风量和排风量。但是,过大的风量会造成高效过滤器送风断面风速过高,过滤效率下降以及能源浪费等现象。
风量检测的目的是判断各个风口的送风量、回风量、排风量等是否满足设计要求。换气次数的检测目的则是判断洁净室是否达到了设计要求的换气次数。风量和换气次数检测的意义是为判断是否满足设计要求提供依据。 山东洁净室环境检测服务至上蔚亚科技提供科学、公正、具有法律效力的检测数据和报告。
1.洁净室围护结构
围护结构是由土建材料现场构筑或由工厂预制的构件构筑,包括洁净厂房的土建结构和在土建结构内分隔出洁净室的建筑装修部分。除了合理的平、剖面规划布置外,为满足洁净要求的建筑和装修构造节点的设计和制作也是重要的构成部分。
2.空气净化系统
除了要满足工艺要求的室内温湿度外,净化空调系统的明显特点是根据需要采用多级空气过滤器、保证足够的风量和有序的压力控制等。末级过滤器的性能对洁净室具有关键作用,末端高效过滤器安装的密封性不可忽视。
3.附属设备
为保证洁净室的使用,应有合理的人流物流路线和合格的人物净化设施,如空气吹淋、传递窗等。此外,还有为工艺需要所敷设的其他工艺管线、用于监测洁净室洁净度级别和压力的相关仪器等。
industryTemplate保持仪器设备满足预期要求。
使用粒子计数器进行洁净室洁净度检测
操作准备
检测前应对洁净室及其空气净化系统进行彻底的清洁,应验证洁净室或洁净区白各方面设施都是完备的,而且运行正常,符合设计的技术性能要求。在洁净度检测自应先完成其他检测工作(一般包括送风量检测、压差检测、隔断结构气密性检测、品效过滤器完整性检测)。
操作步骤
步骤1采样点的确定
计算房间面积,根据规范确定采样点数量,并将采样点均匀分布在整个洁净室或洁净区内,并根据实际情况绘制采样点布置图。采样点一般布置在离地0.8m 的水平面上,若采样点在洁净工作台上,则- -般布置在工作台面上0.2m的水平面上。
步骤2仪器的安装
将仪器放置在采样点位置,拔下取样口的保护套,用皮管连接取样口和采样头,连通电源,按“电源键”开机。
步骤3自净
将自净器插在采集口上,点击采样图案,然后点击“开始”进行自净,直到仪器计数显示为0 (10 min之内)。
步骤4洁净度检测
自净完成后,将仪器放在1个点位,开始进行采集,直至第1个点所有次数全部检测完成,将仪器移至第二个点,重复直到***点的所有次数全部测完。 检测结束后,将仪器进行自净后再关机,自净操作和步骤三一致。 洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气。浙江电子厂房环境检测服务至上
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空气净化方法
1 、整体净化:可分为层流型和湍流型。层流是指空气由一侧地以同速流向另一侧,使室内产生的尘粒或细菌不会向四周扩散而被平推出室外,而达到好的除菌效果。
⑴高效过滤除菌技术:空气洁净主要靠高效或超高效过滤设备,向特定的环境内输送洁净空气并能保持空气的洁净度。过滤洁净原理:①网截阻留;②筛孔阻留;③静电吸引阻留;④惯性碰撞和布朗运动阻留。因此,过滤洁净技术是一种综合作用的结果。
⑵滤材结构:生物洁净室所用滤材级别多数为高效或超高效滤材,所用滤材有:玻璃棉制滤材、高级纸浆制滤材、石棉纤维滤材、过氯乙烯纤维滤材等。高效滤材对空气中 0.5 μ m 的颗粒的阻留率能达到 90%~99% ,超高效滤材可阻留 0.3 μ m 的颗粒 99.9% 以上。 江苏洁净工作台检测技术好
B.2.1.2计数效率测量U描述符所用体系的计数效率应落在图B.1的阴影之内[1]。该阴影区为性能达标区,其中心对应的选定粒径超微粒子的计数效率为50%,粒径示为U。超微粒径U的允差为土10%,见图B.1中的1.1U和0.9U。这一计数效率允差的规定,是基于对扩散元件透过率的计算,该扩散元件对粒径大于选定超微粒径10%的粒子的透过率不低于40%,对粒径小于选定超微粒径10%的粒子的透过率不高于60%。若离散粒子计数器(DPC)或凝聚核计数器(CNC)的计数效率曲线落在图B.1阴影区之外的右侧,则不能用其测量或验证U描述符。若曲线落在阴影区之外的左侧,则可使用B.2.1.3介绍的粒径限制器来降低...