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《电子工业洁净厂房设计规范》(GB 50472- 2008)。 本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:

1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室,检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。

2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时,应由里向外按顺序检测。

3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1 L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1 um (0.5 μm)的粒子,其浓度应大于3.5x10 pc/m'。微粒仪距离滤器表面20 ~30 mm处等速采样,并以5 ~ 20 mm/s速度移动。

4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO 14644基本相同。

5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度,且距吊顶、墙和地面不少于300 mm。

6)噪声的检测。每100m2设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m,距墙大于3 m。

7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度,宜距地面0. 85m,每25 m2设1个检测点。


洁净度等级是指洁净空间单位体积空气中,以大于或等于被考虑粒径的粒子比较大浓度限值进行划分的等级标准。北京实验室环境检测哪家好

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工业洁净室的发展

工业洁净室(ICR, Idutra Clem Rom)以空气中的悬浮颗粒物为主要控制对家,主要为精密机械和电子产品等行业提供符合要求的生产环境。

与其他高科技一样, 洁净技术的诞生及起初应用是服务于目的的。第二次世界大战中一些炮、 战车、飞机等使用的仪器合格率低或经常发生故障。研制者认识到,仪器生产与装配环境空气中的悬浮颗粒物是罪魁祸首,于是工业洁净室诞生了。起初的工业洁净室是比较简陋的,随着原子武器研究和生化武器研究的发展,在20世纪40年代初高效空气过滤器研制成功并得到应用,20世纪60年代初又出现了“单向流”洁净室,这些设备与技术的诞生成为洁净技术发展的里程碑,奠定了现代洁净技术的基础。

微电子行业是现代工业洁净室应用的表现。主要产品是大规模集成电路和平板显示器。半个多世纪以来,集成电路得到迅猛发展。 上海实验室检测蔚亚作为洁净室检测第三方,针对洁净室检测项目不达标出现的常见问题以及产生的原因,在此与大家分享。

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洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。

粒子计数法

粒子计数法在欧洲通用,美国超高效过滤器检测方法也与之类似,这是目前国际上的主流检测方法。尘源为多分散相液滴,或确定粒径的固体粉尘。有时,过滤器厂商要按照用户的特殊要求,使用大气粉尘或其他特定粉尘。若检测中使用的是凝结核计数器,就必须使用粒径已知的单分散相检测尘源。主要检测仪器为大流量激光粒子计数器或凝结核计数器(CNC)。用计数器对过滤器的整个出风面进行扫描检测,计数器给出每点的粉尘个数,还可以比较各点的局部效率。 蔚亚科技洁净室环境检测检测能力高。

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(1)强制性国家标准

《洁净室施工及验收规范》(GB 50591- 2010)

《洁净厂房设计规范》(CB 50073- -2013)

《电子工业洁净厂房设计规范》(GB 50472- -2008 )

《医药工业洁净厂房设计规范》(GB 50457- -2008)

《生物安 全实验室建筑技术规范》 (GB50346- 2011)

《实验动物设施建筑技术规范》(GB 50447- 2008)

《医院洁净手术部建筑技术规范》(GB 50333- 2013)

《通风与空调工程施工质量验收规范》(GB 50243- -2016)

(2)推荐性国家标准

《医药工业洁净室(区)悬浮粒子的测试方法》( GB/T 16292- -2010)

《医药工业洁净室(区)浮游菌的测试方法》(GB/T 16293- 2010)

《医药工业洁净室(区)沉降菌的测试方法》(GB/T 16294- -2010)

《空气过滤器》( GB/T 14295- 2008 )

《高效空气过滤器》(GB/T 13554- 2008 )

《高效空气过滤器性能试验方法效率和阻力》 (GB/T 6165 -2008)《核级高效空气过滤器》(GB/T 17939- -2008)


在洁净室内,从送风口到回风口,气流流经途中的断面几乎没有什么变化。安徽实验室环境检测认真负责

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 空气洁净技术的发展历程

空气洁净技术(又称洁净技术或洁净室技术)初是指以控制室内空气中悬浮赖科浓度为目标的相关技术。悬浮颗粒物的浓度用单位体积空气中大于等于某一粒径的颗粒物的允许数量来表示,通常也称为空气的洁净度,并以此来划分洁净度等级。

初运用洁净技术是为了提高精密产品(如仪器仪表)的成品率或降低其故障率。随着科学技术的发展,各种工业产品特别是微电子产品的精密度越来越高,对生产环境的洁净度要求也越来越高,控制的对象也从单一的悬浮颗粒物扩 展到有害气体。洁净技术在控制空气中的悬浮颗粒物的同时,也有效地控制了空气中的细的和有害微生物,所以又逐步推广到医疗、制药、生物等领域,形成了当前比较完善的洁净技术体系。 北京实验室环境检测哪家好

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