洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。 蔚亚作为洁净室检测第三方,针对洁净室检测项目不达标出现的常见问题以及产生的原因,在此与大家分享。浙江洁净室环境检测认真负责
噪声的检测
1一般情况下可只检测A声级的噪声,必要时可采用带倍频程分析仪的声级仪,按中心频率63、125、 250、 500、 1000、2000、40000 800Hz的倍频程检测,测点附近1m内不应有反射物。声级计的较小刻度不宜低于0. 2dB (A)。
2测点距地面高1. lm。面积在15m2以下的洁净室,可只测室中心1点,15m2 以上的洁净室除中心1点外,应再测对角4点, 距侧墙各1m,测点朝向各角。
3当为混合流洁净室时,应分别测定单向流区域、非单向流区域的噪声。
4 有条件时,宜测定空调净化系统停止运行后的本底噪声,室内噪声与本底噪声相差小于10dB (A)时,应对测点值进行修正:相差(6~9) dB (A)时减1dB (A),相差(4~5)dB(A)时减2dB(A),相差3dB(A)时减3dB,相差小于3dB(A)时测定值无效。 广东排风柜检测服务至上上海蔚亚科技专门洁净室环境检测。
空气净化方法
1 、整体净化:可分为层流型和湍流型。层流是指空气由一侧地以同速流向另一侧,使室内产生的尘粒或细菌不会向四周扩散而被平推出室外,而达到好的除菌效果。
⑴高效过滤除菌技术:空气洁净主要靠高效或超高效过滤设备,向特定的环境内输送洁净空气并能保持空气的洁净度。过滤洁净原理:①网截阻留;②筛孔阻留;③静电吸引阻留;④惯性碰撞和布朗运动阻留。因此,过滤洁净技术是一种综合作用的结果。
⑵滤材结构:生物洁净室所用滤材级别多数为高效或超高效滤材,所用滤材有:玻璃棉制滤材、高级纸浆制滤材、石棉纤维滤材、过氯乙烯纤维滤材等。高效滤材对空气中 0.5 μ m 的颗粒的阻留率能达到 90%~99% ,超高效滤材可阻留 0.3 μ m 的颗粒 99.9% 以上。
高效、超高效过滤器效率检测方法
(1)钠焰法。用雾化干燥的方法人工发生氯化的气溶胶气溶胶颗粒的中值粒径约为0.5 um将过逮器上下游的氯化钠气溶胶采集到燃烧器中并在氧气火焰中燃烧,将燃烧产生的纳焰光度(波长为589 mm的特征光)转变为电信号,并由光电测量仪器检测,电流值了氯化钠气溶胶的质量浓度,用测定的电流值即可求出过滤器的过滤效率。
(2)油雾法。尘源为油雾。用浊度计测量受试过速器前后的油雾浊度差来判断过滤器对油雾的过滤效率。
(3) DOP法。试验用尘源为0.3 um单分散相,以邻苯二甲酸二辛酯(DOP, di -0-ty- phthalate)液滴为气溶胶粒子来测量高效过滤器的效率。所用仪器为光度计或浊度计,测量的值是受试过滤器前后的浊度差,并由此确定过滤器对0. 3 μm粒径粉尘的过滤效率。
(4) MPPS效率。MPPS是Most Penetrable Particulate Size的缩写,可译为“**易穿透粒径”或“比较大穿透粒径”。 专业的洁净室环境检测。
用光度计法进行过滤器泄漏检测步骤相对简单,只要对将上游气溶胶浓度设置为基准,下游以不超过5 cm/s的扫描速度进行扫描。气溶胶光度计会根据下游测得的气溶胶浓度实时计算出被测高效过滤器渗透过率。一旦渗透过率超过高效过滤器限制值(通常为0.01%),则被判定为泄漏点。泄漏点可以进行修补后再进行检测。但如果单个泄漏点的面积过大(超过过滤器面积的1%),或者所有泄漏点面积之和过大(超过过滤器面积的5% ),则应该直接更换过滤器。蔚亚科技检测净化设备。辽宁实验室检测优化价格
静态:各种功能完备、设定安装妥当,可以按照设定使用或正在使用的洁净室,但是设施内没有操作人员。浙江洁净室环境检测认真负责
回风管道或回风口设计、调试不好
在设计方面的原因,有时因空间所限未能采用“顶送侧回”或者回风口数量不够,在设计方面的原因排除后,回风口的调试也是重要的工工环节。如果调试不好,回风口阻力过大,回风量小于送风量,也会造成洁净度不合格。另外在施工中,回风口离地面的高度对洁净度也有影响。
净化空调系统没有清扫干净
净化工程在施工过程中,整个净化空调系统,尤其是送、回风管道都不是一次完成,施工人员和工环境都会造成通风管道和过滤器的污染。如不清洁干净,将直接影响净化工程的检测结果。改进措施是,边施工边清洁,面前一段管道安装完成彻底清洁后,可用塑料薄膜密封,避免环境等造成的污染。 浙江洁净室环境检测认真负责
B.2.1.2计数效率测量U描述符所用体系的计数效率应落在图B.1的阴影之内[1]。该阴影区为性能达标区,其中心对应的选定粒径超微粒子的计数效率为50%,粒径示为U。超微粒径U的允差为土10%,见图B.1中的1.1U和0.9U。这一计数效率允差的规定,是基于对扩散元件透过率的计算,该扩散元件对粒径大于选定超微粒径10%的粒子的透过率不低于40%,对粒径小于选定超微粒径10%的粒子的透过率不高于60%。若离散粒子计数器(DPC)或凝聚核计数器(CNC)的计数效率曲线落在图B.1阴影区之外的右侧,则不能用其测量或验证U描述符。若曲线落在阴影区之外的左侧,则可使用B.2.1.3介绍的粒径限制器来降低...