洁净室风速检测的意义
无论是洁净室还是其他任何受控环境,室内的风速检测都是重要的和必需的。只有准确测定风速、风速均匀性、送风量等气流参数,才能依据这此数据判断洁净室或其他受控环境的空调净化系统是否具备维持所要求的洁净度、温度、 湿度等技术参数的基本能力。
风速是指空气相对于地球某-固定 地点的运动速率, 常用单位是m/s.洁净室、洁净区的洁净度主要依靠送人足够量的洁净空气,以置换、稀释室内生成和散发的颗粒污染物。
单向流洁净室依靠洁净气流推挤、置换室内污染空气以维持洁净度,其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数,较高的、均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物。不均匀的气流组织达不到单向流的气流组织效果,影响洁净室的洁净度。非单向流洁净室靠送人室内的洁净空气来冲淡与稀释室内污染空气以维持洁净度,换气次数越大,气流流型越合理,稀释效果越明显。因此,洁净室的风速检测是洁净室检测的- 项重要工作。
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洁净室压差 与风量的关系
洁净室压差控制的基本原理是控制送风量、回风量和排风量。当维持送人洁净室内的空气量适当多于机械回风和机械排风量,可维持室内一定的正压值。但洁净空调系统过滤器积尘造成新风、送风管道用力增加影响风量,与楼道、室外相邻的治冲室也会因热压、凤压变化影响房间的正压,因此洁净室压差雷经常进行检测。
为防止污染物透过围护结构健腺侵人清净室,洁净室及洁净设施的围护结构应有良好的气密性,同时和不清洁的周边环境要维持一-定的正压差。 洁净室的正压是靠送风与回风和排风的差值实现的。
《洁净厂房设计规范》(CB 50073- -2013) 中对洁净室的压差控制规定:洁净室与周围的空间必须维持一定的压差, 并按生产工艺要求决定维持正压差或负压差;不同级别洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差应不小于5 Pa,洁净室与室外的压差应不小于10Pa。 北京洁净室检测规范性强蔚亚科技第三方检测专业可行,性价比佳。
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洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排出,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。 检测是验证洁净室是否达标的一个指标。
噪声的检测
1一般情况下可只检测A声级的噪声,必要时可采用带倍频程分析仪的声级仪,按中心频率63、125、 250、 500、 1000、2000、40000 800Hz的倍频程检测,测点附近1m内不应有反射物。声级计的较小刻度不宜低于0. 2dB (A)。
2测点距地面高1. lm。面积在15m2以下的洁净室,可只测室中心1点,15m2 以上的洁净室除中心1点外,应再测对角4点, 距侧墙各1m,测点朝向各角。
3当为混合流洁净室时,应分别测定单向流区域、非单向流区域的噪声。
4 有条件时,宜测定空调净化系统停止运行后的本底噪声,室内噪声与本底噪声相差小于10dB (A)时,应对测点值进行修正:相差(6~9) dB (A)时减1dB (A),相差(4~5)dB(A)时减2dB(A),相差3dB(A)时减3dB,相差小于3dB(A)时测定值无效。 蔚亚科技以先进的检测仪器和设备、雄厚的专业技术力量和完善的质量保证体系。浙江生物安全柜检测规范性强
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风量仪操作步骤
步骤1打开风量仪电源, 将风量仪倒扣在地板上,在无风地点进行风量仪校零工作,上方如有强烈气流需要进行遮挡。观察风量仪是否在零位。如不在零位则需要进行零位校准。
步骤2按屏幕 上的测量键进人待测房间号码的输入界面。输人完再次按测量键进人检测界面。
步骤3复零校准结束之后, 直接将风量仪的开口完全罩住过滤器或者散流器,并检查是否存在泄漏。风量仪的接触面应为平面,以防止气流旁通和读数不准确。
步骤4查看风量仪的读 数是否超过风量仪的比较大量程。如果超过量程则需要更换更大量程的风量仪。
步骤5稳定10s后即可读取风量仪上的数值,并记录。
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B.2.1.2计数效率测量U描述符所用体系的计数效率应落在图B.1的阴影之内[1]。该阴影区为性能达标区,其中心对应的选定粒径超微粒子的计数效率为50%,粒径示为U。超微粒径U的允差为土10%,见图B.1中的1.1U和0.9U。这一计数效率允差的规定,是基于对扩散元件透过率的计算,该扩散元件对粒径大于选定超微粒径10%的粒子的透过率不低于40%,对粒径小于选定超微粒径10%的粒子的透过率不高于60%。若离散粒子计数器(DPC)或凝聚核计数器(CNC)的计数效率曲线落在图B.1阴影区之外的右侧,则不能用其测量或验证U描述符。若曲线落在阴影区之外的左侧,则可使用B.2.1.3介绍的粒径限制器来降低...