浮游菌
至少采样点数目对应悬浮粒子采样点数,工作区测点位置离地0.8-1.2m左右,送风口测点位置离开送风面30cm左右,关键设备或关键工作活动范围处可增加测点,每个采样点一般采样一次。
全部采样结束后,将培养皿放于恒温培养箱中培养,时间不少于48小时,每批培养基应该有对照实验,检验培养基是否污染。
沉降菌
工作区测点位置离地0.8-1.2m左右,将已制备好的培养皿置于采样点,打开培养皿盖,使其暴露规定的时间,再将培养皿盖上,将培养皿放于恒温培养箱中培养,时间不少于48小时,每批培养基应该有对照实验,检验培养基是否污染。
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《电子工业洁净厂房设计规范》(GB 50472- 2008)。 本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:
1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室,检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。
2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时,应由里向外按顺序检测。
3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1 L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1 um (0.5 μm)的粒子,其浓度应大于3.5x10 pc/m'。微粒仪距离滤器表面20 ~30 mm处等速采样,并以5 ~ 20 mm/s速度移动。
4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO 14644基本相同。
5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度,且距吊顶、墙和地面不少于300 mm。
6)噪声的检测。每100m2设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m,距墙大于3 m。
7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度,宜距地面0. 85m,每25 m2设1个检测点。
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洁净室压差的基本概念及检测意义
洁净室的压差就是洁净室与周围空间必须维持的静压差,必要的压差是控制漏气方向的手段,是正常工作的基本条件。微电子行业的洁净室为了保证洁净度,不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄漏;菌落实验室或传染病房,不允许室内空气向室外泄漏。
为了控制区域之间的漏气方向,对于区域之间的气压差有较严格的要求。一般要求洁净室内的气压高于室外,或要求高级别洁净室的气压高于低级别的洁净室,或要求室内的气压低于室外。工业洁净室和般生物洁净室都采用维持正压。对于使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂或有高粉尘操作的洁净室,生物洁净室以及其他有特殊要求的生物洁净室需要维持负压。所以,测定宿净室的气压差很重要。
压差检测的目的是测定洁净室的静压差,它可以是正压或负压,以防止洁净室内(外)气流间被污染。当不同空气洁净度等级或产品生产I艺性质不同的房间之间按规定维持一定的静压差时,相邻洁净室之间如果静压差过大或因建造原因带来的缝隙,将会造成空气泄漏,严重时会使洁净室内的气流紊乱,所以洁净室之间的静压差范围一般为5~20Pa, 并应采取可行的技术措施控制洁净室之间的静压差。
洁净室换气次数的计算方法
洁净室的换气次数主要根据洁净室的送风量确定。婴计算洁净室的换气次数,需要先确定洁净室的送风量。
根据洁净室的气流组织不同以及洁净室的送回风形式不同,洁净室风量的检测也有很多种方法,目前工程上比较常用的有如下几种。
1.使用电子风量仪进行送风量检测。
2.采用风速仪检测风口截面的风速和出风口面积,计算风口的风量。
3.采用风速仪检测风管截面的风速和风管面积,计算风管的风量。
换气的作用是保证有足够的洁净空气稀释室内污染空气。换气次数计算公式为:
N=L/V
式中N-房间换气次数, 次/h;
L-洁净室的总送风量, m/h;
V-洁净室体积, m3。
洁净室房间体积应按洁净室建筑情况正确计算。例如,长方体的洁净室,内部有地板下部空间和天花吊顶上部空间,则其房间体积计算等于房间的长宽高乘积,其中房间高为净高,即房间原高减去地板高度和吊顶高度。 其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
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净室被习惯 地应用在对环境污染特别敏感的行业。湖南洁净室环境检测
洁净室风量及换气次数检测的意义
洁净室的洁净度主要是靠送人足够量的洁净空气,以置换、稀释室内在生产过程中所散发的颗粒污染物来实现。同时依靠洁净室的风量平衡维持洁净室正(负)压,以避免不同级别的洁净区域之间颗粒污染物的无组织渗透。因此,洁净室或洁净设施的风量检测十分必要。
洁净室利用送人洁净空气稀释室内空气污染物,或利用排风带出室内空气污染物,排风的同时,靠送风补充室内空气,形成换气。风量越大,污染物排除越快。当污染物排出速率高于产生速率时,空气中污染物浓度减少,洁净度提高;当污染物排出速率与产生速率相等时,空气中污染物浓度维持不变,洁净度不变;当污染物排出速率低于产生速率时,空气中污染物浓度增加,洁净度下降。所以,要达到一定的洁净度,就必须保证足够的送风量和排风量。但是,过大的风量会造成高效过滤器送风断面风速过高,过滤效率下降以及能源浪费等现象。
风量检测的目的是判断各个风口的送风量、回风量、排风量等是否满足设计要求。换气次数的检测目的则是判断洁净室是否达到了设计要求的换气次数。风量和换气次数检测的意义是为判断是否满足设计要求提供依据。 湖南洁净室环境检测
B.2.1.2计数效率测量U描述符所用体系的计数效率应落在图B.1的阴影之内[1]。该阴影区为性能达标区,其中心对应的选定粒径超微粒子的计数效率为50%,粒径示为U。超微粒径U的允差为土10%,见图B.1中的1.1U和0.9U。这一计数效率允差的规定,是基于对扩散元件透过率的计算,该扩散元件对粒径大于选定超微粒径10%的粒子的透过率不低于40%,对粒径小于选定超微粒径10%的粒子的透过率不高于60%。若离散粒子计数器(DPC)或凝聚核计数器(CNC)的计数效率曲线落在图B.1阴影区之外的右侧,则不能用其测量或验证U描述符。若曲线落在阴影区之外的左侧,则可使用B.2.1.3介绍的粒径限制器来降低...