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使用粒子计数器进行洁净室洁净度检测

操作准备

检测前应对洁净室及其空气净化系统进行彻底的清洁，应验证洁净室或洁净区白各方面设施都是完备的，而且运行正常，符合设计的技术性能要求。在洁净度检测自应先完成其他检测工作(一般包括送风量检测、压差检测、隔断结构气密性检测、品效过滤器完整性检测)。

操作步骤

步骤1采样点的确定

计算房间面积，根据规范确定采样点数量，并将采样点均匀分布在整个洁净室或洁净区内，并根据实际情况绘制采样点布置图。采样点一般布置在离地0.8m 的水平面上，若采样点在洁净工作台上，则- -般布置在工作台面上0.2m的水平面上。

步骤2仪器的安装

将仪器放置在采样点位置，拔下取样口的保护套，用皮管连接取样口和采样头，连通电源，按“电源键”开机。

步骤3自净

将自净器插在采集口上，点击采样图案，然后点击“开始”进行自净，直到仪器计数显示为0 (10 min之内)。

步骤4洁净度检测

自净完成后，将仪器放在1个点位，开始进行采集，直至第1个点所有次数全部检测完成，将仪器移至第二个点，重复直到***点的所有次数全部测完。 检测结束后，将仪器进行自净后再关机，自净操作和步骤三一致。  蔚亚科技第三方检测专业可行，性价比佳。北京排风柜检测哪家好

《电子工业洁净厂房设计规范》(GB 50472- 2008)。 本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:

1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室，检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。

2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时，应由里向外按顺序检测。

3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1 L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1 um (0.5 μm)的粒子，其浓度应大于3.5x10 pc/m'。微粒仪距离滤器表面20 ~30 mm处等速采样，并以5 ~ 20 mm/s速度移动。

4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO 14644基本相同。

5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度，且距吊顶、墙和地面不少于300 mm。

6)噪声的检测。每100m²设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m，距墙大于3 m。

7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度，宜距地面0. 85m,每25 m²设1个检测点。

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热球风速仪。热球风速仪也是基于散热与风速有关的原理制成的，分测头和指示仪表两部分。测头由电热线圈(或电热丝)和热电偶组成。当电热线圈通以额定电流时，它的温度升高，加热了玻璃球，因玻璃球体积很小，球体的温度可以认为与电热线圈的温度相同，通过电流时热电偶便产生热电势，指示仪表则指示出相应的热电势的大小。玻璃球的温度升降、热电势相应的大小与气流流速有关，气流流速大，球体散热快，温升越小;反之，气流流速小，球体散热慢，温升越大，热电势也就越大。按此原理，指示仪表可直接显示出风速。

1.洁净室的基本参数

(1)洁净度。洁净度是指单位体积的空气中不小于某一 粒径的微粒个数。洁净度等级分为1 ~9级。

(2)微生物浓度。微生物浓度是指单位体积的空气中微生物的个数。微生物包括***、细菌、***等，种类繁多。

(3)温度。温度方面要满足工作人员舒道性要求， 另一方面会影响加工的精响度，甚至会影响仪器的参数，从而造成检测误差。而且湿度过大会造成金属腐蚀、

(4)湿度。湿度也是影响工作人员舒适性的条件，电路短路、细菌滋生。

(5)风速与风量。足够的风速与风量是洁净度的保证;过大的风速与风量不仅浪费能量，而且有时会影响洁净室生产设备的正常工作。

(6)气压与压差。控制压差是控制**气方向的手段。般洁净室为 了保证洁净度，不允许低洁净度的空气向高洁净度区城泄涮。而***实验室或传染病房，为了安全考虑不允许室内空气向室外泄漏。

(7)照度。照度是满足正常生产工作的必要条件。

(8)噪声。噪声会影响人员的身体健康。

2.洁净室的特殊参数

(1)振动。振动-方面影响设备的加工精确度，另方面会影响仪器的检测精度。

(2)有害气体浓度。有害气体的种类繁多，有的会损害人体健康，有的会影响产品质量和产品的合格率。洁净室需要控制有害气体浓度。 静态：各种功能完备、设定安装妥当，可以按照设定使用或正在使用的洁净室，但是设施内没有操作人员。

风量仪操作步骤

步骤1打开风量仪电源， 将风量仪倒扣在地板上，在无风地点进行风量仪校零工作，上方如有强烈气流需要进行遮挡。观察风量仪是否在零位。如不在零位则需要进行零位校准。

步骤2按屏幕 上的测量键进人待测房间号码的输入界面。输人完再次按测量键进人检测界面。

步骤3复零校准结束之后， 直接将风量仪的开口完全罩住过滤器或者散流器，并检查是否存在泄漏。风量仪的接触面应为平面，以防止气流旁通和读数不准确。

步骤4查看风量仪的读 数是否超过风量仪的比较大量程。如果超过量程则需要更换更大量程的风量仪。

步骤5稳定10s后即可读取风量仪上的数值，并记录。

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洁净室压差检测要求

静压差的测定要求在洁净区内所有的门全部关闭的情况下进行。测洁净区与室外时，注意刮风和朝向的影响。在洁净室平面应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间。测压管周围要尽量密封。测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可，测管口面与气流流线平行。《洁净厂房设计规范》(GB 50073- 2013) 要求气压差的检测门应全部关闭;检测仪器灵敏度应小于1Pa。《电子工业洁净厂房设计规范》(CB 50472- -2008)要求检测静压差的时候应该关闭全部门窗;检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa;应由里向外按顺序检测。

在进行洁净室压差检测之前高效过滤器检漏和风量检测已结束，洁净室或洁净设施正常工作，应该关闭的门窗全部关闭的条件下，先检测送风量、回风量、排风量是否与规定风量相符，调整新风和回风的比例。在此前提下，再用仪器逐一检测封闭的各洁净室之间、洁净室和周围附属环境之间、洁净室走廊之间、周围附属环境与外部环境间的压差。如果洁净设施中包括多个洁净室，则应从里面的房间，通常也是洁净级别比较高的房间与其紧邻的房间之间压差测起，如此继续下去，直至测得**靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。

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