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洁净室压差检测要求

静压差的测定要求在洁净区内所有的门全部关闭的情况下进行。测洁净区与室外时，注意刮风和朝向的影响。在洁净室平面应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间。测压管周围要尽量密封。测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可，测管口面与气流流线平行。《洁净厂房设计规范》(GB 50073- 2013) 要求气压差的检测门应全部关闭;检测仪器灵敏度应小于1Pa。《电子工业洁净厂房设计规范》(CB 50472- -2008)要求检测静压差的时候应该关闭全部门窗;检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa;应由里向外按顺序检测。

在进行洁净室压差检测之前高效过滤器检漏和风量检测已结束，洁净室或洁净设施正常工作，应该关闭的门窗全部关闭的条件下，先检测送风量、回风量、排风量是否与规定风量相符，调整新风和回风的比例。在此前提下，再用仪器逐一检测封闭的各洁净室之间、洁净室和周围附属环境之间、洁净室走廊之间、周围附属环境与外部环境间的压差。如果洁净设施中包括多个洁净室，则应从里面的房间，通常也是洁净级别比较高的房间与其紧邻的房间之间压差测起，如此继续下去，直至测得**靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。

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洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排出，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。 湖北洁净室环境检测上海蔚亚检测净化设备：洁净工作台。

洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素，一般洁净室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可阻止此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。

另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因素，均一气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度事实上很困难。

洁净室压差的基本概念及检测意义

洁净室的压差就是洁净室与周围空间必须维持的静压差，必要的压差是控制漏气方向的手段，是正常工作的基本条件。微电子行业的洁净室为了保证洁净度，不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄漏;菌落实验室或传染病房，不允许室内空气向室外泄漏。

为了控制区域之间的漏气方向，对于区域之间的气压差有较严格的要求。一般要求洁净室内的气压高于室外，或要求高级别洁净室的气压高于低级别的洁净室，或要求室内的气压低于室外。工业洁净室和般生物洁净室都采用维持正压。对于使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂或有高粉尘操作的洁净室，生物洁净室以及其他有特殊要求的生物洁净室需要维持负压。所以，测定宿净室的气压差很重要。

压差检测的目的是测定洁净室的静压差，它可以是正压或负压，以防止洁净室内(外)气流间被污染。当不同空气洁净度等级或产品生产I艺性质不同的房间之间按规定维持一定的静压差时，相邻洁净室之间如果静压差过大或因建造原因带来的缝隙，将会造成空气泄漏，严重时会使洁净室内的气流紊乱，所以洁净室之间的静压差范围一般为5~20Pa, 并应采取可行的技术措施控制洁净室之间的静压差。

空态：已经建造完成并可以投入使用的洁净室（设施）。它具备所有有关的服务和功能。

压差

这项检测的目的是验证完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力。这项检测适用于所有3种占用状态。需要定期进行这项检测。

压差的测试应在所有的门都关闭的条件下，由高压向低压、由平面布置上与外界较远的里间房间开始，依次向外测试;有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室(区)，其洞口处宜有合理的气流流向等等。

压差检测要求：

(1)静压差的测定要求在洁净区内的所有门全部关闭情况下进行。

(2)在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间。

(3)测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可，测管口面与气流流线平行。

(4)所测量记录的数据应精确到 1.0Pa。

压差检测步骤：

(1)先关闭所有的门。

(2)用微差压计测量各洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压差。

(3)记录所有数据。 蔚亚检测满足客户需要，专注于洁净室环境检测。河北实验室环境检测值得推荐

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高效、超高效过滤器效率检测方法

(1)钠焰法。用雾化干燥的方法人工发生氯化的气溶胶气溶胶颗粒的中值粒径约为0.5 um将过逮器上下游的氯化钠气溶胶采集到燃烧器中并在氧气火焰中燃烧，将燃烧产生的纳焰光度(波长为589 mm的特征光)转变为电信号，并由光电测量仪器检测，电流值了氯化钠气溶胶的质量浓度，用测定的电流值即可求出过滤器的过滤效率。

(2)油雾法。尘源为油雾。用浊度计测量受试过速器前后的油雾浊度差来判断过滤器对油雾的过滤效率。

(3) DOP法。试验用尘源为0.3 um单分散相，以邻苯二甲酸二辛酯(DOP, di -0-ty- phthalate)液滴为气溶胶粒子来测量高效过滤器的效率。所用仪器为光度计或浊度计，测量的值是受试过滤器前后的浊度差，并由此确定过滤器对0. 3 μm粒径粉尘的过滤效率。

(4) MPPS效率。MPPS是Most Penetrable Particulate Size的缩写，可译为“**易穿透粒径”或“比较大穿透粒径”。 辽宁口罩生产车间环境检测诚信推荐