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使用粒子计数器进行洁净室洁净度检测

操作准备

检测前应对洁净室及其空气净化系统进行彻底的清洁，应验证洁净室或洁净区白各方面设施都是完备的，而且运行正常，符合设计的技术性能要求。在洁净度检测自应先完成其他检测工作(一般包括送风量检测、压差检测、隔断结构气密性检测、品效过滤器完整性检测)。

操作步骤

步骤1采样点的确定

计算房间面积，根据规范确定采样点数量，并将采样点均匀分布在整个洁净室或洁净区内，并根据实际情况绘制采样点布置图。采样点一般布置在离地0.8m 的水平面上，若采样点在洁净工作台上，则- -般布置在工作台面上0.2m的水平面上。

步骤2仪器的安装

将仪器放置在采样点位置，拔下取样口的保护套，用皮管连接取样口和采样头，连通电源，按“电源键”开机。

步骤3自净

将自净器插在采集口上，点击采样图案，然后点击“开始”进行自净，直到仪器计数显示为0 (10 min之内)。

步骤4洁净度检测

自净完成后，将仪器放在1个点位，开始进行采集，直至第1个点所有次数全部检测完成，将仪器移至第二个点，重复直到***点的所有次数全部测完。 检测结束后，将仪器进行自净后再关机，自净操作和步骤三一致。  蔚亚科技第三方检测机构。江苏电子厂房环境检测认真负责

《电子工业洁净厂房设计规范》(GB 50472- 2008)。 本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:

1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室，检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。

2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时，应由里向外按顺序检测。

3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1 L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1 um (0.5 μm)的粒子，其浓度应大于3.5x10 pc/m'。微粒仪距离滤器表面20 ~30 mm处等速采样，并以5 ~ 20 mm/s速度移动。

4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO 14644基本相同。

5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度，且距吊顶、墙和地面不少于300 mm。

6)噪声的检测。每100m²设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m，距墙大于3 m。

7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度，宜距地面0. 85m,每25 m²设1个检测点。

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高效、超高效过滤器效率检测方法

(1)钠焰法。用雾化干燥的方法人工发生氯化的气溶胶气溶胶颗粒的中值粒径约为0.5 um将过逮器上下游的氯化钠气溶胶采集到燃烧器中并在氧气火焰中燃烧，将燃烧产生的纳焰光度(波长为589 mm的特征光)转变为电信号，并由光电测量仪器检测，电流值了氯化钠气溶胶的质量浓度，用测定的电流值即可求出过滤器的过滤效率。

(2)油雾法。尘源为油雾。用浊度计测量受试过速器前后的油雾浊度差来判断过滤器对油雾的过滤效率。

(3) DOP法。试验用尘源为0.3 um单分散相，以邻苯二甲酸二辛酯(DOP, di -0-ty- phthalate)液滴为气溶胶粒子来测量高效过滤器的效率。所用仪器为光度计或浊度计，测量的值是受试过滤器前后的浊度差，并由此确定过滤器对0. 3 μm粒径粉尘的过滤效率。

(4) MPPS效率。MPPS是Most Penetrable Particulate Size的缩写，可译为“**易穿透粒径”或“比较大穿透粒径”。

《洁净厂房设计规范》GB50073-2013规定：

洁净室（区）与周围的空间必须维持一定的压差，并应按工艺要求决定维持正压差或负压差。不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa，洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa，洁净区与室外的压差不应小于10Pa。

《医院洁净手术部建筑技术规范》GB50333-2013规定：

相互连通的不同洁净度级别的洁净用房之间，洁净度高的用房应对洁净度低的用房保持相对正压。比较低静压差应大于或等于5Pa，比较大静压差应小于20Pa，不应因压差而产生哨音或影响开门。

相互连通的相同洁净度级别的洁净用房之间，宜有适当压差，保持要求的气流方向。

洁净室以空气悬浮粒子浓度为主要控制对象。

洁净室压差检测要求

静压差的测定要求在洁净区内所有的门全部关闭的情况下进行。测洁净区与室外时，注意刮风和朝向的影响。在洁净室平面应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间。测压管周围要尽量密封。测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可，测管口面与气流流线平行。《洁净厂房设计规范》(GB 50073- 2013) 要求气压差的检测门应全部关闭;检测仪器灵敏度应小于1Pa。《电子工业洁净厂房设计规范》(CB 50472- -2008)要求检测静压差的时候应该关闭全部门窗;检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa;应由里向外按顺序检测。

在进行洁净室压差检测之前高效过滤器检漏和风量检测已结束，洁净室或洁净设施正常工作，应该关闭的门窗全部关闭的条件下，先检测送风量、回风量、排风量是否与规定风量相符，调整新风和回风的比例。在此前提下，再用仪器逐一检测封闭的各洁净室之间、洁净室和周围附属环境之间、洁净室走廊之间、周围附属环境与外部环境间的压差。如果洁净设施中包括多个洁净室，则应从里面的房间，通常也是洁净级别比较高的房间与其紧邻的房间之间压差测起，如此继续下去，直至测得**靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。

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洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排出，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。 江苏电子厂房环境检测认真负责