福建高温无氧烘箱真空高温

C1-008 洁净厌氧高温气氛炉（YAMATO）

用途：光刻工艺后段，光刻胶固化。

●MAX工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下。

●程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。

●快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。

●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。

●全不锈钢材质。

●在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。

室温+30～360℃ 规格参数：

温度范围：室温+30～360℃

温度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

温度上升时间：60min（室温→360℃）

温度下降时间：90min（360℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

洁净度：100级

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

室温室温+50～500℃ 规格参数：

温度范围：室温+50～500℃

温度分布精度：±8.0℃（a500℃）

温度上升时间：90min（室温→500℃）

温度下降时间：120min（500℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

洁净度：100级

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓DNN460C厌氧高温气氛炉。福建高温无氧烘箱真空高温

三分钟掌握气氛炉的注意事项

       1、除了做实验外，不要停留在高温炉管区。

       2、实验工作完毕时，若无人继续使用，请关特殊气体，保留N2运动，炉管保持在standby温度，并查看是否有其它电源该关而没有关，如灯光、煮酸用的小电炉或其它，请随手关掉。

       3、处理氢氟酸时，请戴手套，如不小心碰到氢氟酸时，请立刻冲水，用葡萄酸钙加2%水，揉擦伤处15’。

       4、石英玻璃制品请小心使用，以免破裂，引起严重割伤。

       5、避免吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。

       6、**钾不可与酸类混置，因两者可产生剧毒之**钾气体。

       7、一旦发现有妨碍安全之事物时，请立即通知有关人员。

       8、操作气氛炉的时候，请节约纯水用量。

       9、破晶片、滤纸、棉花棒等，请匆掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板渍水。

       10、长短推杆之前端，在还没使用到时，请朝上以免污染。

       11、晶片进出炉口时，请匆碰触炉管口，以免污染炉管。 上海高温无氧烘箱特点及用途在气氛炉系统检漏时，除用泥糊堵外，也可用医用针管吸乙醚射至漏点处，观察真空表读数有无变化。

烘箱加热管的选择

       这边介绍主要用于烘箱的风道式加热器，可以采用碳钢材质、也可以采用不锈钢304材质或者316材质。可以根据客户烘烤的产品选择加热管的材质，正常情况下一般用碳钢材质或者不锈钢304材质，若客户烘烤产品带有弱酸碱性液体的，可以采用不锈钢316材质。若液体中有强酸的，就应该采用不锈钢316、聚四氟乙烯。

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无氧化烘箱的安全操作规程

       无氧化烘箱是一种新型厌氧电热真空干燥箱设备，其通过氮气孔注入氮气挤出箱内空气再加热从而形成真空无氧化环境下高温干燥的要求。我们来看看他的安全操作规程：

       1、无氧化烘箱通电前应检查电源线路绝缘应良好，不准有漏电。加热器电阻丝之间不得有碰触，以防短路。

       2、无氧化烘箱通电前应打开排气阀门。

       3、使用非防爆电烘箱，严禁带挥发性的物件进入烘箱内。

       4、随时观察并调整箱内温度，应符合烘件工艺要求的温度。

       5、无氧化烘箱要保持烘箱内清洁，检查和擦除烘箱内电阻丝旁的氧化皮。

       6、切断电源，关闭烘门。

  以上便是关于无氧化烘箱的的安全操作规程的分享了，希望对大家今后使用本设备能有帮助。

DNN630C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

1、方式：氮气置换+ 强制送风循环

2、性能：

①使用温度范围：室温+50～360℃

②温度调节精度：±0.5℃（at360℃）

③温度分布精度：±5.0℃（at360℃）

④MAX温度到达时间：约80分钟

⑤氧浓度：20ppm 以下

⑥氧浓度到达时间：≤ 25分（250L/min 氮气）

3、构成：

①内装：不锈钢板

②外装：冷轧钢板，表面耐药品性涂装

③断热材：硅酸铝棉

④加热方式：不锈钢加热管

⑤加热功率：主加热器9KW

⑥N2预热：1KW

⑦冷却机构：不锈钢冷却水换热器

4、控制器：

①温度控制方式：PID控制

②温度控制器：液晶触摸屏+PLC

③运行功能：手动定值运行、自动程序运行

④程序模式：程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展）

⑤附加功能：操作员等级认证

⑥加热器回路控制：SSR驱动

⑦传感器：K型热电偶（温度控制及过升防止器）

5、安全装置：门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等 俊和（上海）仪器有限公司YAMATO雅马拓正规代理。山东高温无氧烘箱工作温度

YAMATO洁净厌氧高温气氛炉应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。福建高温无氧烘箱真空高温

DNN630C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

规格：

内尺寸（宽×深×高mm）：660×500×660

外形尺寸（宽×深×高mm）：1300×1000×1750

内容积：216L

棚板层数/层间距：19层/30mm

排气口：40KF法兰

氮气入口：Rc1/2

冷却水入口：Rc3/4

热水出口：Rc3/4，2个

电源（50/60Hz）额定电流：3相AC380V 19A

重量：约1000kg

选购品：棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能

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