干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
干式真空泵的无油环保特点成为了他的一个重要因素。苏州NEODRY 60E干式真空泵

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型号 |
NeoDry7E |
NeoDry15E |
NeoDry30E |
NeoDry36E |
NeoDry60E |
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Zui大排气速度 |
120L/min |
250L/min |
500L/min |
600L/min |
1000L/min |
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电源式样 注1) |
单相:200-240V/三相:200-240V |
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到达压力 |
5.0Pa |
1.0Pa |
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Zui大允许进气压力 |
大气压 |
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Zui大水蒸气处理量 注2) |
注3) 120g/h |
250g/h 注3) |
注3) 350 g/h |
注3) 600g/h |
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使用电动机 |
0.4 kW |
0.75kW |
1.5kW |
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进气口径 |
KF25(法兰接头) |
KF40(法兰接头) |
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排气口径 |
KF25(法兰接头) |
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概略重量 |
19kg |
23 kg |
25 kg |
54 kg |
56kg |
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噪音(dB(A)) |
≤56 |
≤58 |
≤60 |
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注1)如使用其他电源,请与我司联系。 注2)水分或凝性气体抽取时需使用气镇阀(选配)。 注3) 气镇阀(选配)全开时的Zui大水分处理量。但气镇阀全开时到达压力为10Pa左右。 常州MU180X干式真空泵维修点干式真空泵批发就找浚和(上海)仪器有限公司。 |
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日本KASHIYAMA MU1218X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU1218X |
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MAX排气速度(L/min) |
20000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
O.9KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
870×380×751 |
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质量【kg】 |
270kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
MU1218X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
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4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
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5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
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未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
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未包含 |
设备原产地:日本
干式真空泵的种类特征
螺杆式
利用螺杆型Rotor进行排气输送的容积移送式干式真空泵。
罗茨式
在3片式Rotor和Casing之间的空间运送气体的容积移送式干式真空泵。
爪式
复数的爪型Rotor以轴平行排列,进行相互逆回转来移送气体的干式真空泵。
涡旋式
利用涡旋型的Stage及Rotor的运动组合来进行排气的真空泵。
隔膜式
藉由利用气缸内的隔膜的来回运动来进行排气的容积移送式真空泵。
活塞式
利用气缸内的活塞的来回运动来进行排气压缩以及排气的容积移送式真空泵。
干式真空泵的多种系列总有一款是您满意。
日本KASHIYAMA MU300P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU300P/H |
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MAX排气速度(L/min) |
5000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
0.9KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
350×520×630 |
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质量【kg】 |
110kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
MU300P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
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未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
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未包含 |
设备原产地:日本
浚和(上海)仪器有限公司的干式真空泵系列有Neodry系列、MU系列、SDE系列等。SDL12E50干式真空泵销售电话
浚和(上海)仪器有限公司的干式真空泵产品种类繁多。苏州NEODRY 60E干式真空泵
螺杆式干式真空泵的应用
螺杆式干式真空泵广应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产***SMA的CVD制程。在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得;化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂,在脂肪酸生产中用来消除水污染,移除喷射器中的阻塞物;医药工业中用于回收药液及药品中间体,为人造组织生产提供清洁无菌条件,回收气体消毒剂;食品工业中用于香料、香精浓缩,食品包装等。应用范围极为广。具体如下:
具体应用:干燥处理、真空蒸馏、分子蒸馏、溶剂的回收、油气回收、工厂普通真空、电子、真空镀膜、航空、核工业领域 能够抽除普通空气,易燃易爆气体、腐蚀性气体,尤其能满足对获得清洁真空要求较高的环境。 具体应用:真空镀膜、真空蒸馏、真空干燥、拉单晶、特气制造、离子刻蚀等。
纺织、冶金等行业 在氨纶、芳纶、纤维、冶金等相关工艺中应用干式真空泵, 具体应用:真空脱泡、VOD真空吹氧脱碳法等。 苏州NEODRY 60E干式真空泵
浚和(上海)仪器有限公司致力于仪器仪表,是一家贸易型公司。公司业务分为真空泵,喷雾干燥机,培养箱,等离子清洗机等,目前不断进行创新和服务改进,为客户提供良好的产品和服务。公司秉持诚信为本的经营理念,在仪器仪表深耕多年,以技术为先导,以自主产品为重点,发挥人才优势,打造仪器仪表良好品牌。在社会各界的鼎力支持下,持续创新,不断铸造***服务体验,为客户成功提供坚实有力的支持。
日本KASHIYAMAMU600P/H干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:MU600P/HMAX排气速度(L/min):10000达到压力(Pa):0.5电源电压:3相AC200-220V消费电力(KW):0.95KW外型尺寸WHL[mm]:350×520×630质量【kg】:130kg二、配 置清单:序号描述数量备注1MU600P/H主机一台,电压AC三相200V1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本浚和(上海)仪器科技有限公司力于提供干式真空泵 ,欢迎您的来电...