企业商机
干式真空泵基本参数
  • 产地
  • 日本
  • 品牌
  • KASHIYAMA
  • 型号
  • Neodry 36E
  • 是否定制
干式真空泵企业商机

干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。


干式真空泵的无油环保特点成为了他的一个重要因素。苏州NEODRY 60E干式真空泵

苏州NEODRY 60E干式真空泵,干式真空泵

型号

NeoDry7E

NeoDry15E

NeoDry30E

NeoDry36E

NeoDry60E

Zui大排气速度

120L/min

250L/min

500L/min

600L/min

1000L/min

电源式样 1

单相:200-240V/三相:200-240V

到达压力 

50Pa

1.0Pa

Zui大允许进气压力

大气压

Zui大水蒸气处理量 2

3 120g/h

250g/h 3

3 350 g/h

3 600g/h

使用电动机

0.4 kW

0.75kW

1.5W

进气口径

KF25(法兰接头)

KF40(法兰接头)

排气口径

KF25(法兰接头)

概略重量

19kg

23 kg

25 kg

54 kg

56kg

噪音(dB(A)

56

≤58

≤60

注1)如使用其他电源,请与我司联系。

注2)水分或凝性气体抽取时需使用气镇阀(选配)。

注3) 气镇阀(选配)全开时的Zui大水分处理量。但气镇阀全开时到达压力为10Pa左右。 常州MU180X干式真空泵维修点干式真空泵批发就找浚和(上海)仪器有限公司。


苏州NEODRY 60E干式真空泵,干式真空泵

日本KASHIYAMA MU1218X干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

MU1218X

MAX排气速度(L/min)

20000

达到压力(Pa)

0.5

电源电压

3相  AC200-220V

消费电力(KW)

O.9KW

外型尺寸WHL [mm]

870×380×751

质量【kg】

270kg


二、 配置清单:


序号

描述

数量

备注

1

MU1218X主机一台,电压AC三相200V

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含

设备原产地:日本 

干式真空泵的种类特征

螺杆

利用螺杆Rotor进行排气输送的容积移送式干式真空泵。

罗茨

3片式RotorCasing之间的空间运送气体的容积移送式干式真空泵。

复数的爪型Rotor以轴平行排列,进行相互逆回转来移送气体的干式真空泵。

涡旋

利用涡旋型的StageRotor的运动组合来进行排气的真空泵。

隔膜

藉由利用气缸内的隔膜的来回运动来进行排气的容积移送式真空泵。

活塞

利用气缸内的活塞的来回运动来进行排气压缩以及排气的容积移送式真空泵。

干式真空泵的多种系列总有一款是您满意。

苏州NEODRY 60E干式真空泵,干式真空泵

日本KASHIYAMA MU300P/H干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

MU300P/H

MAX排气速度(L/min)

5000

达到压力(Pa)

0.5

电源电压

3相  AC200-220V

消费电力(KW)

0.9KW

外型尺寸WHL [mm]

350×520×630

质量【kg】

110kg


二、 配置清单:


序号

描述

数量

备注

1

MU300P/H主机一台,电压AC三相200V

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含

设备原产地:日本 

 


浚和(上海)仪器有限公司的干式真空泵系列有Neodry系列、MU系列、SDE系列等。SDL12E50干式真空泵销售电话

浚和(上海)仪器有限公司的干式真空泵产品种类繁多。苏州NEODRY 60E干式真空泵

螺杆式干式真空泵的应用

  螺杆式干式真空泵广应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产***SMA的CVD制程。在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得;化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂,在脂肪酸生产中用来消除水污染,移除喷射器中的阻塞物;医药工业中用于回收药液及药品中间体,为人造组织生产提供清洁无菌条件,回收气体消毒剂;食品工业中用于香料、香精浓缩,食品包装等。应用范围极为广。具体如下:


  具体应用:干燥处理、真空蒸馏、分子蒸馏、溶剂的回收、油气回收、工厂普通真空、电子、真空镀膜、航空、核工业领域 能够抽除普通空气,易燃易爆气体、腐蚀性气体,尤其能满足对获得清洁真空要求较高的环境。 具体应用:真空镀膜、真空蒸馏、真空干燥、拉单晶、特气制造、离子刻蚀等。


  纺织、冶金等行业 在氨纶、芳纶、纤维、冶金等相关工艺中应用干式真空泵, 具体应用:真空脱泡、VOD真空吹氧脱碳法等。 苏州NEODRY 60E干式真空泵

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